影响硅片倒角加工效率的工艺研究

康洪亮 陶术鹤 张伟才
一、引言
在半导体晶圆的加工工艺中,对晶圆边缘磨削是非常重要的一环。晶锭材料被切割成晶圆后会形成锐利边缘,有棱角、毛刺、崩边,甚至有小的裂缝或其它缺陷,边缘的表面也比较粗糙。而晶圆的构成材料如Si、Ge、InP、GaAs、SiC等均有脆性。通过对晶圆边缘进行倒角处理可将切割成的晶圆锐利边修整成圆弧形,防止晶圆边缘破裂及晶格缺陷产生,,增加晶圆边缘表面的机械强度,减少颗粒污染。同时也可以避免和减少后面的工序在加工、运输、检验等等工序时产生的崩边。倒角后的晶圆由于有了一个比较圆滑的边缘,不易再产生崩边,使后面工序加工的合格率大幅提高。在抛光工艺中,如果晶圆不被倒角,晶圆锋利的边缘将会给抛光布带来划伤,影响抛光布的使用寿命,同时也影响到产品的加工质量(如晶圆的划道)。如硅晶圆除用于太阳能电池制造还常用于制造集成电路。晶圆在制造集成电路的多个工序中,需要多次在 1000多度的高温中进行氧化、扩散和光刻。如果晶圆边缘不好,如有崩边、或边缘没有被倒角,升温和降温的过程中,晶圆的内应力得不到均匀的释放。在高温中晶圆非常容易碎裂或变形,最终使产品报废,造成较大的损失。由于晶圆边缘不好,掉下来的晶渣,如果粘在硅晶圆的表面,将会给光刻工艺的光刻版造成损坏,同时造成器件的表面有针孔和曝光不好,影响产品的成品率。同时,通过边缘倒角可以规范晶圆直径。通常晶圆的直径是由滚圆工序来控制的,由于滚圆设备的精度所限,表面的粗糙度和直径均无法达到客户的要求,倒角工序能很好的控制晶圆直径和边缘粗糙度。晶棒滚磨后,其表面十分粗糙,在后续的传递和切割过程中,边缘损伤会因为机械撞击向内延伸,晶圆切割成型后,边缘存在一圈微观的损伤区域[1]。
在今年的目标责任书中,今年产量比去年增加30%,此外,在今年的生产加工中,多次由于倒角设备故障及检修影响整个生产线的进度,在不增加设备的情况下,如何挖掘现有设备及人员的潜力,提高倒角加工效率,是个重要的研究课题。
二、实验原理
目前国内半导体材料加工厂家,大多使用的设备是日本东精精密产的W-GM系列倒角机和大途株式会社的WBM系列倒角机[2],普遍采用八英寸倒角砂轮。当前国内倒角机设备使用的磨轮从制造方法上分主要有两种类型:一种是电镀法的磨轮;一种是烧结法的磨轮。电镀法的磨轮主要是美国生产的Diamotec和Nifec等,烧结法的磨轮主要有日本的 Asahi(SUN)、KGW 等。
倒角工艺主要是根据倒角设备的情况和所使用的磨轮磨削材料的粒度选定合适的磨轮转速、硅片转速、硅片去除量、倒角圈数、磨轮型号、切削液类型、切削液流量等来生产出满足客户需求的产品。倒角机用于对晶圆边缘进行磨削,晶圆通常被真空吸附在承片台上旋转,通过控制晶圆运动,由带V型槽的砂轮高速旋转对晶圆边缘进行磨削[3]。
我们单位自动倒角机最多的是大途株式会社的WBM-2200倒角机,其加工步骤是:取片→测厚→对中→移载到倒角吸盘→倒角→移载到甩干吸盘→甩干→测直径对位→放回花栏。其中取片 测厚 对中 移载 等加工步骤时间是比较固定的,只有 倒角和甩干时间是可以进一步挖掘潜力的。所以我们从这两方面进行分析。为了实验方便 我们只选用带一个参考面的晶圆进行分析
三、实验部分
3.1 设备和仪器
WBM-2200倒角机,秒表。
3.2 原材料
2、3、4、5英寸硅切割片,2寸晶圆主参16mm,3寸晶圆主参22mm,4寸晶圆主参32.5mm,5寸晶圆主参42mm,厚度260~620um,晶片TTV值不大于10um,Warp值不大于30um。
槽半径127um~228.6um(22。、11。)的金刚石倒角砂轮。
3.3 实验过程
利用不同尺寸的晶圆,不同的倒角吸盘转速,不同甩干程序对晶片进行倒角,并记录加工100片的总时间。
四、结果与讨论
4.1 在相同的倒角清洗甩干程序(即图2 所设程序)时,加工100片晶圆的实验数据为:
硅片尺寸(英寸)
吸盘转速(mm/s) 12 15 18
2寸(50.8) 3461 3458 3457
3寸(76.2) 3473 3464 3475
4寸(100) 3480 3476 3472
5寸(125) 4230 3492 3482
5寸精倒(11。) 9275 7820 6860
分析表一数据可知,在相同的清洗甩干程序下,2寸、3寸、4寸、5寸吸盘转速在15mm/s和18mm/s时,每百片加工时间基本一样。在5寸吸盘转速12mm/s时和加工5寸(11。)时才需较长时间。我们做了一下统计:
步骤1:机械手从甩干台取片→测直径→放回花栏→取下一片→测厚、对中 时间为21.6秒;
步骤2:机械手从对中取片到放到倒角吸盘时间 32.3秒;
步骤3:机械手从倒角吸盘取片放到清洗甩干台上 时间 28.6秒。
因此 只有在5寸吸盘转速12mm/s时和加工5寸(11。)时 平均每片倒角加工时间为42.3s 、92.75s、 78.2s、68.6s,此时均大于步骤1、2、3所需时间 此时提高吸盘转速,可提高加工效率。其他加工情况均不能提高加工效率
此外选用合适的磨轮转速,还需要全方面的考虑。在相同磨削量的情况下,提高磨轮转速,可以降低硅片在磨削时的受力,所以不仅提高了磨轮的使用寿命,也降低了磨削后在硅片上残余的机械应力和硅片磨削表面的粗糙度,但磨轮转速的提高,同样也增加了磨削时产生的热量,使磨削区的温度升高,而温度的升高,使硅材料的抗拉强度显著下降,也影响了单晶硅的组织结构,增加了磨削区域残余的热应力,且温度的升高,降低了磨轮金刚砂粒的硬度,也使磨粒与磨削材料之间产生扩散磨损和粘接磨损,使磨粒迅速钝化,降低了磨轮的使用寿命,也使磨削时磨削表面出现浅坑或沟痕,增加了表面粗糙度。同时磨轮转速的提高也降低了磨轮轴的使用寿命,且提高磨轮转速时若磨轮安装动平衡不好时磨轮轴在磨削时的轴向和径向跳动量也会增加,不利于加工出光滑的表面。所以,磨轮转速的选择原则是在保证磨削区域温度不影响硅片和磨粒性能和磨轮轴寿命的情况下尽可能选择高的转速。磨轮在一定转速下磨削区域的温度又与磨粒粒径、磨削量、磨削液流量有关系。
4.2 在相同的倒角吸盘转速时
从图二所示的倒角清洗程序中,清洗部吸盘干燥时间和加载晶圆后甩干(下面干燥 干燥时间)分别为9s和10s,再结合上面分析,若适当调整我们得到下面数据(以2寸晶圆加工)

吸盘干燥\加载晶圆后甩干(秒) 9\10 8\9 7\8 6\7 5\6 4\5
每百片加工(秒) 3458 3263 3085 3065 3081 3075
从表2可知 在清洗部吸盘干燥时间和加载晶圆后甩干(下面干燥 干燥时间)分别为7s和8s时(24h为2805片),6s和7s,5s和6s,4s和5s百片加工时间为3080秒左右(此时步骤1、2、3为限制加工效率的因素,均不可调,影响机器和轴承寿命),比清洗部吸盘干燥时间和加载晶圆后甩干时间分别为9s和10s(24h为2498片)时,缩短400秒,在一天(24小时)的加工中可提高300片,每月(30天)产量可提高7200片。此外在清洗部吸盘干燥时间和加载晶圆后甩干时间分别为4s和5s时,晶圆开始有机械手把晶圆放入花栏中失败和甩不干现象,不利于加工和检查。故应根据晶圆尺寸的大小和冷却水的情况适当调节清洗部吸盘干燥时间和加载晶圆后甩干时间,比如在加工4寸晶圆时可以把清洗部吸盘干燥时间和加载晶圆后甩干时间设为7s和8s。
五、总结

由以上分期可知,我们在实际加工中应根据晶圆的实际情况作合理的程序设定。此外,在我们实际工作中最最最重要的根本因素是人。我们研究设备最优的加工效率,归根结底是要解放人的双手,充分调动人的积极性,改变人的精神状态,只有同事们的热情得到了充分的发挥,我们的事业才会生机勃勃,大有可为。 
倒角工艺的制定需要考虑各个方面的因素,需要根据设备能达到的状态和客户需求来选择出最佳的工艺参数,也要根据设备状态选用合适的磨轮,以达到最佳的倒角效果。

参考文献
[1] 康自卫,王丽 《硅片加工技术》化学工业出版社2010;
[2] 张厥宗. 硅单晶抛光片的加工技术 [M]. 北京: 化学工业出版社,2005;
[3] 杨树文.倒角机磨削系统关键技术研究[D].华中科技大学,2006.
作者简介
康洪亮(1987-)毕业于河北工业大学,在中国电子科技集团公司第四十六研究所工作,主要研究硅、锗等半导体材料的加工。

#运城同城##运城事儿# 【稷山:男教师加班时用餐猝死 人社局四次认定不属工伤】

2017年,山西稷山县一90后男教师暑期加班吃午饭时猝死,工伤认定一波三折。今日(8月5日),新京报记者从稷山县人力资源和社会保障局(以下简称“稷山县人社局”)及死者家属处获知,该局三次不予认定工伤决定,分别被政府行政复议、临猗县法院和运城中院撤销,第四次依然认定不属工伤,理由为“非工作时间,未在岗位上遇故身亡”。校方称,需工伤认定,才能予以赔偿。

事发当日曾致电自己妻子“不舒服”

段晓康1990年出生,2014年7月,毕业于运城学院数学应用专业,本科文凭。2015年7月,他参加稷山县教育局教师招聘考试,成为一名在编教师,后被分配在稷山县太阳中心校董家庄学校工作。2016年9月,轮岗交流到稷山县城区中心校南街小学任教。

据临猗县法院2018年9月27日出具的行政判决书显示,2017年1月21日寒假期间,因均衡验收工作,稷山县城区中心校抽调段晓康等11名教师,到该单位加班。中午加班教师被安排在学校附近一家餐厅吃午餐,就餐过程中,段晓康于12时50分左右,突然发病倒地,随后120将段晓康送往稷山县人民医院急救,经抢救无效于当日死亡,死亡原因:心源性猝死。

稷山县城区中心校于事发后的2017年1月21日,曾向稷山县人社局申请认定“段晓康同志工伤事故”。

校方出具的申请书显示,为了按时完成学校工作,该校统一安排几位教师一起吃饭。到店约10分钟后,刚吃不久,同餐的三位教师发现段晓康突然面色不好,捂住肚子,急忙叫人,同行人员紧急上去扶住他,同时立即拨打120。在医院急诊室抢救治疗一个多小时,终因抢救无效死亡。

今日,家属告诉新京报记者,其实放假前,段晓康就曾向妻子表明自己过累,身体状况欠佳。

家属提供的一份通话记录单显示,事发当天,段晓康曾给妻子打过电话,说感觉不舒服。判决书显示,此外,亦有短信证明段晓康死亡与加班有关。手机用户信息两份证明,手机号所有人系段晓康及妻子。

2017年1月26日,稷山县人社局出具了不予认定工伤决定书,称经调查核实,段晓康突发疾病死亡情形不符合《工伤保险条例》第十五条第一项之规定,不属于工伤认定视同工伤范围,所以不予认定为视同工伤。
人社局三次不予认定工伤 均被撤销

段晓康的表哥李凯峰(化名)告诉新京报记者,表弟段晓康是舅舅家的孩子,姐弟姊妹三人,父母都是农民。27岁去世时,段晓康刚工作两年,刚结婚不久。

事故发生后,段晓康家属向稷山县人社局申请进行工伤鉴定,希望获得赔偿,但稷山县人社局先后三次分别作出了不予认定工伤决定。

“人家认定了,才能赔偿”,上周五(8月2日),段晓康轮岗执教的小学——稷山县城区中心校所辖南街小学一工作人员称,段晓康原学校与轮岗执教的学校在事发后都很配合,认同段晓康是因工伤去世,但要进行赔偿,需要人社部门进行工伤认定。

新京报记者梳理三次不予认定工伤决定书发现,此案的争议焦点主要围绕在段晓康是不是因工作原因、在工作时间、工作岗位突发疾病死亡,死亡情形是否属于工伤。

庭审时,稷山县人社局辩称,因加班时间是在8时至12时、14时至18时,下班后段晓康等人到餐馆吃饭,因此段晓康不是在工作时间、工作岗位突发疾病死亡;人社局还认为,吃饭与履行工作职责没有任何关系,而且段晓康死亡原因是突发疾病而不是受到伤害。

临猗县法院判决书显示,前两次不予认定后,分别被临猗县法院和稷山县政府以“事实不清、证据不足”为由,予以撤销。

法院认为,稷山县人社局第三次理应依法履责,查明事实,依照法定程序,做出公平、公正的决定,但从家属提起诉讼到庭审结束,人社局没有提交任何重新调查后关于段晓康加班、吃饭、死亡一系列事实方面的相关证据,及第三人和段晓康家属为段晓康申请工伤的相关证据材料。人社局仅提供了三份关于报销加班餐餐费的相关证据。

判决书指出,人社局第三次出具的不予认定工伤决定书,均未对事实进行查明,亦未提交相关证据。最终,撤销了稷山县人社局作出的相关行政认定,责令该局对段晓康死亡情况是否属于工伤重新作出认定。
运城中院于今年2月28日二审驳回了稷山县人社局的上诉,维持临猗县法院的判决。受访者供图

二审驳回人社局上诉 第四次不予认定

2018年9月27日,临猗县法院撤销了稷山县人社局第三次作出的不予认定决定书。经过三次撤销,段晓康的家属以为人社局会履行判决,但让他们没想到的是,稷山县人社局就该判决结果,提出上诉。

至此,此案进入二审程序。今年2月28日,运城市中级法院作出二审行政判决,该院认为,《工伤保险条例》第十四条规定:“职工在工作时间和工作场所内,因工作原因受到事故伤害的,应当认定为工伤。”但人社局第三次工伤认定,未查明因工作原因的事实,亦未提交证据,故该行政行为,认定事实不清,证据不足。

最终,运城中院二审驳回了稷山县人社局的上诉,维持临猗县法院的判决。诉讼费由人社局负担。2019年6月17日,稷山县人社局又作出不予认定工伤决定书(2019? 0001号)。

稷山县政府亦曾就人社局不予认定结果,作出行政复议。决定书中提到,根据《最高法院关于审理工伤保险行政案件若干问题的规定》第五条,在因加班用工作餐时间突发疾病身亡也属于“三工”(指工作时间、工作场所、工作原因)的合理延伸范围,将该情形认定为工伤,有利于维护职工及其亲属的合法利益。段晓康等人是在放假期间加班加点工作,作息时间并不像正常工作条件下稳定有序,学校安排加班教师吃工作餐是因工作原因而延伸的工作行为。

李凯峰告诉新京报记者,针对第四次不予认定的决定,“我们有两个月内可以申请行政复议,六个月内可以重新起诉,现在没有勇气继续耗下去,一家人很苦恼。”via:新京报 https://t.cn/R2WxSE3

《山海经》中的10个美丽传说,你听过几个?

在中国古代浩如烟海的文化典籍中,《山海经》一直是令人痴迷的存在,它记述了上古时期中华大地上的山川、动物、植物、矿物、历史、风俗、神话传说等内容,为我们了解上古历史提供了丰富的资料,堪称一部“上古文化的百科全书”。在《山海经》中,有许多有趣的故事,被历代文人取材加工,成为流传甚广的神话传说,还有一些直接进入到现代影视剧中,为艺术创作提供源源不断的灵感。今天,就让我们一起来看看那些耳熟能详的故事,在《山海经》中是如何被记载的吧。

一、青丘之狐

又东三百里,曰青丘之山。其阳多玉,其阴多青䨼。有兽焉,其状如狐而九尾,其音如婴儿,能食人,食者不蛊。

译文:再向东三百里是青丘山,山的阳面有很多玉,山的阴面有很多可作青色颜料的矿物。山中有一种兽,它的形状像狐狸,有九条尾巴,叫声像婴儿啼哭,会吃人,人吃了它的肉后就不会受毒热恶气的侵袭。

——《山海经·南山经》

二、瑞鸟凤凰

又东五百里,曰丹穴之山,其上多金玉。丹水出焉,而南流注于渤海。有鸟焉,其状如鸡,五采而文,名曰凤凰,首文曰德,翼文曰义,背文曰礼,膺文曰仁,腹文曰信。是鸟也,饮食自然,自歌自舞,见则天下安宁。

译文:再向东五百里是丹穴山,山上有很多金和玉。丹水发源于丹穴山,向南流入南海。有一种鸟,它的形状像鸡,身上的羽毛色彩斑驳,花纹像文字的形状,它的名字叫凤凰,它头部的花纹像“德”字,翅膀上的花纹像“义”字,背部的花纹像“仁”字,腹部的花纹像“信”字。这种鸟,自如的进食,自由自在的歌唱、跳舞,当它出现时,天下就会安宁太平。

——《山海经·南山经》

三、精卫填海

又北二百里,曰发鸠之山,其上多柘木,有鸟焉,其状如乌,文首,白喙,赤足,名曰:“精卫”,其鸣自詨。是炎帝之少女,名曰女娃。女娃游于东海,溺而不返,故为精卫,常衔西山之木石,以堙音于东海。

译文:再向北二百里是发鸠山,山上长着很多柘树。山中有一种鸟,形状像乌鸦,头上有花纹,白色的嘴,红色的脚爪,名字叫精卫,它的鸣叫声像在喊自己的名字。精卫本是炎帝的小女儿,名字叫女娃。女娃有一次去东海边游玩,不慎落入海中,再也没有回来,所以就化身为精卫,常常衔着西山上的树枝和石块,想要把东海填平。

——《山海经·北山经》

四、比翼鸟

比翼鸟在其东,其为鸟青、赤两鸟比翼。

译文:比翼鸟栖息的地方在南山的东边,这种鸟是一青一红两只鸟的翅膀并在一起。

——《山海经·海外南经》

五、夸父逐日

夸父与日逐走,入日。渴欲得饮,饮于河渭;河渭不足,北饮大泽。未至,道渴而死。弃其杖,化为邓林。

译文:夸父追着太阳跑,离太阳越来越近。这时,他口中干渴,想要喝水,便去喝黄河和渭河的水,把黄河和渭河的水都喝干了,他还是觉得渴,便想去喝北边的大泽中的水。但是还没赶到大泽,他便在路上渴死了。夸父临死前扔掉了手中的手杖,这根手杖变成了邓林。

——《山海经·海外北经》

六、扶桑树

下有汤谷,汤谷上有扶桑,十日所浴,在黑齿北。居水中,有大木,九日居下枝,一日居上枝。

译文:黑齿国的下面是汤谷,汤谷上有一颗扶桑树,那里是十个太阳洗浴的地方,位于黑齿国的北边。在水中有一棵大树,下面的树枝上住着九个太阳,上面的树枝上住着一个太阳。

——《山海经·海外东经》

七、开明兽

昆仑南渊深三百仞。开明兽身大类虎而九首,皆人面,东向立昆仑上。

译文:昆仑山南边的深渊深达三百仞。开明兽的大小与虎相似,有九个脑袋,每个脑袋上都长着人一样的脸,面向东站立在昆仑山上。

——《山海经·海内西经》

八、常羲浴月

有女子方浴月。帝俊妻常羲,生月十有二,此始浴之。

译文:有一位女子,正在给月亮洗澡。帝俊的妻子常羲生了十二个月亮,这是她刚开始给他们洗澡。

——《山海经·大荒西经》

九、黄帝战蚩尤

有系昆之山者,有共工之台,射者不敢北乡。有人衣青衣,名曰黄帝女魃。蚩尤作兵伐黄帝,黄帝乃令应龙攻之冀州之野。应龙畜水,蚩尤请风伯、雨师,纵大风雨。黄帝乃下天女曰魃,雨止,遂杀蚩尤。魃不得复上,所居不雨。叔均言之帝,后置之赤水之北。叔均乃为田祖。魃时亡之,所欲逐之者,令曰:“神北行!”先除水道,决通沟渎。

译文:有一座系昆山,有一个共工台,射箭的人不敢向共工台所处的北方而射。有一个人,穿着青色的衣服,名叫黄帝女魃。蚩尤制作出金属兵器后去攻打黄帝,黄帝命令应龙在冀州的原野上与蚩尤作战。应龙把水蓄起来,蚩尤请来风伯和雨师,刮起了大风,下起了大雨。黄帝于是把一名叫魃的天女从天上请了下来,魃从天上下来后,雨就停止了,于是杀了蚩尤。魃再也不能回到天上了,凡是她所居住的地方就不会下雨。叔均把这件事告诉了黄帝,黄帝让她居住在赤水的北边。叔均被任命为主管田地的官。魃常常跑到别的地方去,人们想要把她赶走,就要说“请魃往北走吧!”并要清理水道,疏浚沟渠。

——《山海经·大荒北经》

十、鲧禹治水

洪水滔天,鲧窃帝之息壤以堙洪水,不待帝命。帝令祝融杀鲧于羽郊。鲧复生禹,帝乃命禹卒布土,以定九州。

译文:大地上洪水滔天,鲧未经天帝同意,偷了天帝的息壤来堵塞洪水。天帝命令祝融把鲧杀死在羽山之郊。鲧死以后,从腹中诞生了禹。天帝于是命令禹治理洪水,禹最终区分规划了疆土,并划定了九州。

——《山海经·海内经》

纵观古今,没有任何一本书像《山海经》般全面的记录了上古时期的地理博物乃至风俗民情,既客观真实又充满瑰丽想象,没有一本书让历代学者穷其一生难以窥得真境,没有任何一本书拥有如此巨大的生命张力,历经千年,仍令读者神往不已。

想要读懂这本“奇书”,就必须返璞归真,回到起点,认真阅读文本本身,系统把握文本内在的结构和体例,倾听文本自身的讯息,唯有如此,《山海经》的秘密才会在不经意间栩栩然地呈现出来。


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