蚀刻掩模及蚀刻溶液对InP微加工形成V 型槽的影响

引言

p-i-n光电探测器封装中最具挑战性的任务之一是将光纤耦合到探测器。由于探测器和光纤的尺寸都非常小,精确和准确的对准非常关键。如今,在大多数情况下,这是通过耗时且成本高昂的主动对准技术来实现的,该技术涉及在二极管工作时单独调整每根光纤,以获得最大响应并进行固定。因此,需要开发无源自对准技术,其时间消耗更少、成本更低,并且同时可靠且合理有效。众所周知,半导体材料的微机械加工是精确的,具有极好的尺寸控制,它非常适合于实现精确的微结构,然后可以用于无源光纤自对准。因其晶面蚀刻速率不同而产生的单晶硅各向异性湿法化学蚀刻是一种成熟且受欢迎的技术。1该技术已用于制造各种高精度无源微结构,然后用于固定光纤和引导光线。然而,由于大多数光学器件是由直接带隙化合物半导体材料如InGaAs和InP制成的,所以这些器件必须通过倒装芯片技术安装在微机械加工的硅晶片上以进行光纤对准。

为了使光电子器件更容易单片集成,在像InP本身这样的衬底材料中实现精密微结构更方便。在过去的几年里,人们一直在积极研究开发各种技术,用于在InP(100)晶片中制造高度精确的对准沟槽。然而,InP的蚀刻在底切和由此产生的侧壁轮廓方面带来了许多问题。闪锌矿晶体如InP和GaAs具有两种不同类型的{111}面,它们可能在蚀刻时出现。其中,{111}A表面终止于III族原子,而{111}B表面终止于V族原子。{111}B表面具有更高的反应性,因为在该表面上每个原子有五个成键电子,相比之下,在{ 111 } B表面上每个原子有三个成键电子{ 111 }一个曲面。在蚀刻时,当掩模边缘沿[01-1]方向取向时,预期会出现具有{111}A刻面的V形槽。在[0-1-1]方向上,应该形成几乎垂直的侧壁。已经尝试了多种蚀刻掩模和蚀刻溶液实验证实这一点。2-5在一些情况下,然而,而不是当在HCl:H3PO4溶液中使用SiO2或Ti作为蚀刻掩模时,会出现{111}面、{211}面和{311}面。2-4此外,据报道,在HCl:H3PO4 (5:1)溶液中使用光刻胶掩模时会出现严重的底切。5另一方面,使用SiO2和Ti掩模的HBr基蚀刻系统会产生具有{ 111 }面的V形槽。

如上所述,有许多关于在InP中实现V形槽的公开文献。然而,大多数实验数据都是针对蚀刻深度小于25 m的情况公布的。Klocken- brink等人2讨论了蚀刻深度为120 m的V形槽,但他们的工作仅限于HCl:H3PO4蚀刻剂。在目前的工作中

V-针对要求蚀刻深度大于350 μm的特定应用进行凹槽蚀刻。这要求蚀刻更长的时间。蚀刻掩模现在起着更重要的作用,因为蚀刻剂与掩模材料的相互作用可能导致严重的底切。为了优化工艺,因此必须选择适合于这种长时间蚀刻的蚀刻剂和蚀刻掩模的最佳组合。为此,我们使用Ti、Cr和等离子体沉积的氮化硅蚀刻掩模对InP(100)衬底进行了湿法化学取向相关蚀刻(ODE)。还研究了这些掩模材料对底切程度的影响。HCl:H3PO4以及HBr:CH3COOH蚀刻系统已经用于研究蚀刻后的侧壁角度以及表面光洁度。然后根据底切的程度、表面光滑度和V形槽的角度来确定蚀刻剂和蚀刻掩模的最佳组合。

适当调整窗口尺寸,可以实现U形槽而不是V形槽(如图1所示)。当在暴露平面相遇之前遇到蚀刻停止层时,会发生这种情况。之后,InGaAs层必须通过选择性蚀刻剂去除,否则它将部分吸收来自光纤的光。这将导致凹槽的平滑底面,然后可以用抗反射涂层涂覆该底面,以最小化光纤的反射损失。还有n+层(p-i-n结构的)

厚度已经增加到大约2 μm,使得当

插入凹槽,不会刺穿和损坏探测器。根

V形槽的成功实现是(I)衬底的结晶据这一思想,在InP(100)上制作V形槽

衬底已被执行。的四个重要方面

完美,(ii)掩模图案在特定方向上的精确对准,(iii)掩模材料的良好粘附

和(iv)用于蚀刻InP的特定蚀刻溶液。这些因素影响V形槽的实际形状、蚀刻时底切的程度以及暴露面的表面光滑度,所有这些因素对于光纤与探测器的实际对准都是至关重要的。在目前的工作中,不同的蚀刻掩模材料以及各种蚀刻溶液已经被用于优化V形槽的制造。

讨论

使用HCl:H3PO4 (5:1)蚀刻系统(编号1)蚀刻剖面。—钛作为蚀刻掩模。使用钛作为蚀刻掩模,在[01-1]方向上(沿着524 μm边缘)形成V形槽。在[0-1-1]方向,形成垂直壁。V形槽壁光滑,并以35.3°的角度倾斜于(100)面,如图2所示。

2.这表明暴露的小平面不是像

{111}面与{100}面所成的角度应为54.7°。据报道,在InP {111}A中,HCl的作用不会产生表面。4从表面的倾斜角度来看,暴露的平面被推断为{211}平面。2,6在蚀刻15分钟后,V形槽平面相交于185 m的深度,对应的蚀刻速率约为12 m/min。掩模边缘的底切小到可以忽略不计。

铬作为蚀刻掩模。—铬不能承受这种蚀刻溶液超过2分钟,因此不适合用作1号ES的掩模。

因此,窗口不再被很好地定义。蚀刻14分钟后,窗口的200米边变宽到375米(几乎是其尺寸的两倍)。这可能是由于铬与InP的粘附性差造成的。先前的研究人员已经观察到光致抗蚀剂掩模的底切现象,这通常是由于表面天然氧化物和蚀刻剂之间的反应导致涂覆的光致抗蚀剂和InP衬底之间的粘附力损失。6天然氧化物与HCl的反应速率比与HBr的反应速率快。这可能解释了为什么Cr不能耐受含有HCl的第一蚀刻剂(ES)。使用第二种蚀刻剂(ES no. 2)时,粘附力的损失没有完全去除掩模那么剧烈。然而,底切仍然是值得考虑的。在ES no. 2中,底切与使用Cr掩模的蚀刻深度之比约为0.6。不同蚀刻时间的底切程度如图6所示。

为了进一步研究HBr浓度对底切的影响,蚀刻溶液的组成改变为HBr:CH3COOHo1:1。由于该溶液中HBr的浓度较低,蚀刻速率降低至约7.5 m/min。然而,如图6所示,底切仍然相当高,并且几乎随蚀刻时间线性增加。在该溶液中蚀刻35分钟后,在[0-1-1]方向上每个掩模边缘处的底切为128 m。在该点处的蚀刻深度为260 m。在这种情况下,底切与蚀刻深度的比率降低至0.49。这证明了我们的论点

底切的程度与天然氧化物和蚀刻溶液的反应有关,因为发现降低蚀刻溶液中HBr的浓度会减少底切的程度。

结论

发展了一种简单的自动对准光纤和光电探测器的技术。三种不同的蚀刻掩模材料,即Ti、Cr和SiN用于在InP衬底中蚀刻V形槽,通过该槽可以插入光纤并精确定位。使用两种不同的蚀刻溶液来蚀刻InP。第一种蚀刻溶液(ES 1号)含有HCl∶h3po 4(5∶1),另一种(ES 2号)含有HBr∶ch 3c ooh(3∶2)。已经发现,虽然蚀刻溶液的选择决定了V形槽的角度以及表面光洁度,但是掩模材料和沉积方法决定了底切的量。发现Ti作为掩模材料以最小的底切给出最好的结果。在两种蚀刻溶液中,编号为2的蚀刻溶液是优选的,因为V形槽与表面的倾斜角较大(54.7°),因此,对于给定的窗口尺寸,可以蚀刻出相对较深的槽。暴露墙壁的表面光滑度通过以下方式得到改善。#如何看待割小麦做青贮饲料# #你期待周杰伦的新歌吗# #阴阳师神堕八岐大蛇#

2021年投放独立站Facebook广告的一点点心得

没有看错,确实是2022年的心得,不是2021年的心得,说实话2021年是独立站不可复制的一年,各种爆款各种出现,但是到了下半年大家基本也是吃到了自己种的苦果。
我身边很多做独立站的都回家过年了,主要迷茫在封号封户太严重,而且不知道应该投放什么产品了,做了那么久的独立站反而迷茫了,这点大家都没有想到。
但是我的广告一直在投放,基本没有断过,虽然说也被影响了很多,手里好多站点直接放弃了,实在抢救不过来。
到了2021年还在做选品和广告的大家应该都有感觉,选品不好选了,第三方的选品软件基本是废了,adspy里面都没有产品可以选择,只能自己来开发自己来做产品。
所以我来分享一下进入2021年之后FB广告投放的一点点心得,我自己观察到的一些东西,希望对大家有用。
1、选品偏向于垂直站,不允许过度宣传的存在。杂货站现在真的是不好做,虽然说出单也是正常出单,但是素材很难做,稍微有点夸张的宣传就被警告封号,一点都不客气,反而那些客观展现产品的素材开始被推送的越来越多,所以我直接建立了好几个垂直站,趋势是这样了;
2、广告账户的监管更加严格。以前投放的时候如果出现广告被驳回,顶多就是警告一些,然后修改一下素材就完事了,但是现在不一样了,直接封户,一点商量都没有,只能开通账户人工沟通渠道去申请解封,提交材料得三天,审核最少三天,一来一回一个星期没了,非常耽误时间。
3、FB本身对广告的优化能力加强了。这个加强是在于对时间的缩短上,去年做FB广告如果要等平台自己去优化的话,最起码要等一天的时间,烧掉多少预算就不说了,一般人肯定是扛不住的,但是今年的投放让我感觉FB似乎是在优化这个时间,花费超过三十刀就开始进行优化,这个时间就缩短了很多,我做过一个测试,一个广告组直接给了一百美金的预算,三十刀以内的数据情况和三十刀以外的数据情况有很大的差别,去年的这个节点一般是在五十刀以上才会有,所以很少会有人用到平台自己的优化,但是今年似乎可以,这对新手来说是个好消息。
4、数据比去年便宜了一些,根据我做FB广告的感觉,广告费用的排序大概是2019>2020>2021,现在的cpm一般都是在20左右,优化一下可以优化到6刀,这在以前根本就不敢想,我的判断是当前投放广告的玩家数量大幅度下降,导致了降价,如果后期继续进来很多玩家的话,竞价肯定会再度上去的。
5、垂直站是今年的主流,不雅问我为什么,原因很复杂,但是今年的市场大趋势就是这样,未来三年内,只要是做跨境的不管是不是做平台的,必然人手一个独立站;做独立站的,必然人手一个垂直站,不然的话就等着被大市场淘汰吧。
基本就是以上五点了,很多东西实操上可以表现出来,文字没办法表现,都是自己观察来的,准不准目前有待验证,只是作为一个简单的分享。
V=dzsw2021yy

来了来了永夏咖啡团来了!!!
是流淌在消肿人基因里的血液!!!
减肥没人不懂黑咖啡的妙,如果你
想消水肿——永夏咖啡
便便通畅——永夏咖啡
口感好喝——永夏咖啡

作为老咖啡人,就算不接受纯美式为了消肿不犯困也是每天两杯打底,但又挑剔不接受太甜…
不喜欢甜是真,但不爱喝纯美式也是真
原因就是怕酸怕苦

空腹美式胃里会糙,喝多也会不舒服
所以之前对于速溶咖啡的偏见更是认为加工过剩有心理负担,宁愿多花点钱去店里买,永夏是真的对比那么多咖啡后 每一个点都完全戳中我的[赞]

咖啡的气味是真的很香,即使对于不爱喝酸苦美式的我,也不得不服气永夏的意式入口是香醇的

说说我爱的原因[好喜欢]
1⃣️方便携带 省事
出门小小一个放包里不占地,且它真‘速溶’速度快不结块,冷热水都能搞定,又拥有其他速溶无法比拟的口感 真的好喝!!
2⃣️ 口感好
水直接泡开就是美式(但不酸)
你加椰乳就get生椰拿铁同款的味道https://t.cn/A66nqom7
我非常爱冰滴兑奶的顺滑感所以会更倾向冰滴!!!在风味选择要求高的,永夏也绝不逊色
3⃣️性价比高
现磨口感好意味着价格高,就算每天喝一杯一个月也快1k(我每天两杯)永夏是在优质和性价比中平衡都很好
4⃣️便便通畅
我之前喝其他咖啡也是为了通便https://t.cn/A66nqomv
喝多心慌口感啥就更不会在意,永夏好喝还能顺畅拉,等于 性价比➕口感➕方便➕便便顺畅

另外!!减肥女孩都会喝黑咖来辅助
不能说喝黑咖啡一定会让你瘦
但永夏能让你减肥好好排便不便秘
对我也非常能抑制食欲的https://t.cn/A66nqomP

对于需要天天喝咖啡的人,不馋不饿不因为减肥心慌,早起空腹喝也不难受,喝过的姐妹都会夸夸
喝过永夏的姐妹们快来反馈!!!

机制看图9 ping论 晒单/订单号里啾2个宝贝
送(1盒咖啡➕1马克杯)


发布     👍 0 举报 写留言 🖊   
✋热门推荐
  •  Lumen云边缘产品管理副总裁克里斯·麦克雷诺兹在一份声明中说:“我们可以帮助我们的客户优化体验,提高应用程序性能,并提高安全性和控制能力——通过让他们在预建
  • 曾经有位朋友在大学期间严格控制自己的饮食之后,身材真的是瘦下来了,但是内分泌紊乱失调,月经可是长达了半年都没有来哦,对于女孩子来说月经不来是非常伤身的,具体的危
  • 在配合住房城乡建设部门推动城镇污水处理设施恢复重建的同时,重点做好农村污水处理设施的重建工作。在配合住房城乡建设部门推动城镇污水处理设施恢复重建的同时,重点做好
  •   水瓶座:三十次  水瓶座实在是太挑了的一个人,所以在相亲路上,他们每见一个都对对方特别的不满意,总觉得跟自己心目中的最完美形象相差甚远,所以要三十次他们降低
  • 生命永远不是一个人的战场,只有团结别人的力量,才能以此获取良好合作的结果,所以尊重别人,最后获益的自然也是自己的人生。但是殊不知,自己连一些小的问题都不能包容,
  • 因为在我们这个行业,你会每天遇见各种各样的事情,你面对的就是别人不能处理的问题,你需要针对这些不了解法律的人,建立起自信心,同时给自己建立自信。例如:改变你的穿
  • 三、周边配套在楼盘周边配套这一部分,我们重点对比商业、教育和医疗这三大与生活紧密相关的配套设施(一)商业配套小区附近都有中小型超市,满足日常购物需求并不难,我们
  • @微博抽奖平台 “我很有钱,无论头脑还是手腕,都算得上是个了不起的人物,长相的话不输给元彬也不输给赵寅成,然而有天完美的我却变成了一个疯子。) #玄彬[超话]
  • 我还想等着中年以后,移民到欧洲[飞机],那种生活慢悠悠的国家[猪头],每天出门就是田野[水稻],小木屋[北辙南辕],弯路都是花园[桃花],骑车可以去看海,无拘无
  • ??
  • 这庄园里的好景致,总是太耐人追寻。是派江吻海、山水相依?
  •  导致我们分开的原因可能会有很多,但让我们继续爱下去的理由,只要一个就够了。导致我们分开的原因可能会有很多,但让我们继续爱下去的理由,只要一个就够了。
  • 致我们终将逝去的爱情文:亦清我想和你一起生活每天安静地看着你在一起 秉烛夜聊不仅仅是在八月的某一天阴雨天那些我们一起看过的电影锦瑟年华那些为爱付出的代价很多年了
  • 可是她那时候听我说完这个愿望好像就没说什么了,以她(打人不挑日子)的性格要是觉得这个提议不现实就会立刻痛斥她的无辜好友,沉默或许是有在想该怎么画? 啊,难受[吐
  • 很多人格,做人,做事的风格是需要时间来检验的,时间长了,他人自会知晓。人格要建立在自己身上,你自己内心真正的诚与不诚,你会有自知。
  • #不甜的水果含糖量都很低吗#?这就是为什么,很多同学减肥吃水果也长胖的原因!
  • 那些要去的地方都是素未谋面的故乡。最好的时光在路上,一路向阳。
  • 镂空隐约又有点小透的小性感,轻柔又奢软,通勤很提精至度和髙级感,时髦小姐姐,要入秋冬羊绒套装裙的,需得入这么高品质高品味的,不可争辩的大美物!哈哈哈哈哈,虽然在
  • 且有机会获得大牌口红及iphone工作学生机百分百真实有效七夕 定制惊喜礼盒型盲盒99获取专属七夕礼盒发正装3-6款且不重复!七夕 定制惊喜礼盒型盲盒177“热
  • 事实上,这一天出生的人经常是别人倾诉的对象,因为他们相当了解别人的痛苦,而且时常抱持着悲天悯人的态度。不过经常困扰他们的不一定始终都是梦境或幻想,也可能是活生生