江西日报头版报道：我省深入推进发展和改革双“一号工程”综述
策马扬鞭再奋蹄
——我省深入推进发展和改革双“一号工程”综述
顺势而为、乘势而上、驭势而进，方能在高质量发展的赛道上赢得主动、占据先机。
虎年伊始，省委、省政府以“新春第一会”的形式，高规格召开全省深化发展和改革双“一号工程”推进大会，吹响了强力推动数字经济大发展、营商环境大提升的冲锋号角。全省上下以“起步就冲刺、开局就决战”的姿态，勠力同心、锐意进取，推动双“一号工程”取得实质性突破，数字经济“一号发展工程”蹄疾步稳，营商环境“一号改革工程”全面铺开，呈现高点起步、成效初显的良好局面。
既要看到成绩，也要保持清醒。当前，制约双“一号工程”深入推进的难点、堵点、痛点问题依然存在，全省上下要牢固树立“一盘棋”思维，瞄准一流的“坐标系”，拿出一流的“硬举措”，锚定既定目标，全力推进双“一号工程”落地见效，以数字经济大发展、营商环境大提升，激发高质量跨越式发展新动能新活力。
瞄准新赛道，抢抓新风口，蹄疾步稳推动数字经济大发展
数字经济浪潮汹涌而至，正成为重组要素资源、重塑经济结构、改变竞争格局的关键力量。
今年以来，我省准确把握数字经济发展趋势和规律，立足发展实际，聚焦发展目标及产业赛道、应用场景、集聚区、新型基础设施等重点领域，形成了“1+3+4”的政策体系，吹响了江西迈向数字经济做优做强新阶段的前进号角。
如何把“规划图”变成“施工图”，把“时间表”变成“计程表”？关键在于要跑出落实落地的“加速度”。全省上下以系统务实的举措，有力推动数字经济“一号发展工程”实现良好开局。全省数字经济发展呈现规模快速扩大、数字场景应用加快拓展、数字赋能加速壮大的良好态势。
项目是产业发展的根本和基石。各地各部门牢固树立“项目为王”理念，聚焦5G、工业互联网、人工智能、物联网等重点领域，推进实施一大批新型基础设施、重点产业平台、重点产业项目，聚多方之力打造一流数字生态。
一季度，省数字经济重点项目新开工18个、累计开工87个，完成投资249亿元、占年度计划的35.3%；新基建项目新开工62个、竣工8个，完成投资209.5亿元、占年度投资计划的39%，均超过序时进度。精准开展延链、补链、强链招商，全省利用省外项目中数字经济项目实际进资486.7亿元、占比23.2%；引进数字经济制造领域“5020”项目15个、投资额395.5亿元。
“努力使江西在全国数字经济版图中占得一席高地，关键要抢抓‘新风口’，在供需两端持续发力，实现换挡提速、变道超车。”省发改委有关负责人表示，在供给端，我省把产业赛道作为破题之举，研究提出了7条基础赛道、6条新兴赛道和7条融合赛道，“一道一策”努力寻求突破。在需求端，把应用场景作为关键一招，为更多市场主体创造迈上“新赛道”的机会。
产业赛道做深做细。我省紧盯前沿技术和产业风口，深化与顶级智库的合作研究，谋篇布局产业赛道。省发改委积极对接中国信通院、中科院深圳研究院等科研院所和有关风投机构，开展省级层面重点推进的产业赛道研究；省科技厅在硅基半导体、智能传感器等领域设立重大研发专项；九江市选择主攻工业互联网、人工智能等5条赛道，鹰潭市深耕传感器、网络安全等6条赛道等。
把应用场景作为关键一招，加快促进应用场景建设需求与数字技术产品有效对接，实现共赢发展。一季度，各地各部门申报的应用场景建设需求382个，数字技术新产品、新技术和新解决方案573个，覆盖生产制造、金融服务、公共安全等17个领域；通过遴选形成“机会清单”“产品清单”各200个。
以“数”为“翼”，江西产业蝶变新气象正在孕育。一季度，我省高新技术产业增加值增长16.3%，占规上工业增加值比重38.7%，同比提高2个百分点。全省规上数字经济核心产业实现营业收入1925亿元，同比增长20.5%。
啃下“硬骨头”，铲除“拦路虎”，以铁的决心推动营商环境大提升
3月1日，在景德镇市政务服务中心，景德镇武标瓷业有限公司的梅女士在企业开办服务专区窗口，收到一份手提的“惠企大礼包”，营业执照证书、免费刻制的印章、税控盘、发票、惠企政策汇编材料等一应俱全，让她颇为惊喜。
开办企业是创业者迈入市场的第一步，开办程序难不难、效能高不高，是衡量区域营商环境的重要因素。今年以来，我省聚焦市场主体和群众关切，持续提升企业开办便利度。目前，全省企业开办一个工作日办结率已达到95%，9个设区市和赣江新区全面实现企业开办零成本。
营商环境是企业生存发展的土壤，已日益成为影响一个地方发展的根本性因素。今年2月份，省委、省政府吹响营商环境大提升“一号工程”冲锋号角，先后出台“一号改革工程”意见和对标提升方案、“放管服”改革13条等配套文件，明确了优化营商环境的时间表、路线图、任务书。各地各部门深入贯彻省委、省政府决策部署，以啃下“硬骨头”、铲除“拦路虎”的决心，聚焦群众和企业反映强烈的热点、难点和堵点问题，出台一系列破题之策。
政策组合拳效应初显，营商环境便利度进一步提升。截至一季度末，我省一般不动产登记3个工作日、抵押登记1个工作日的办结率均达99%。工程建设项目并联审批率、联合验收率分别达到57.25%、42.64%，房建和市政项目全面实现联合图审。招投标全流程电子化率达96.2%。同时，涌现出赣州惠企政策免申即享、项目一站式审批，南昌9省10市跨省通办、用水用气报装“先通后补”，九江惠企政策“精准送、快速兑”“不动产登记+水电气网”一链办等改革亮点。
推动营商环境优化升级“一号改革工程”，就要想企业之所想，用心用情用力解决企业的急难愁盼问题。
针对当前部分市场主体面临的实际困难，我省相继出台降本增效“30条”、助企纾困“28条”等政策举措，真金白银，干货十足，既考虑当前，也顾及长远，给市场企业吃下了定心丸。同时，构建“线上+线下”政策兑现“快通道”，按照免申即享、即申即享、承诺兑现三种方式，推动惠企政策红利加快从“纸上”落到“账上”。
降本增效、助企纾困等政策的落地见效，让市场主体获得感进一步增强。一季度，全省累计为企业减负约353.9亿元，为企业办理税费缓缴65.2亿元，发放创业贷款45.1亿元。
环境如水，发展如鱼，海阔方可凭鱼跃。随着营商环境优化升级“一号改革工程”深入实施，形成了以“干部创先”推动“大众创业、万众创新”的生动局面。一季度，在重重压力之下，我省市场主体实现逆势高速增长，全省新登记各类市场主体25.5万户，同比增长52.6%。
担当作为，乘势而上，不断开创双“一号工程”建设新局面
形势喜人，形势也催人。一季度，我省经济运行总体平稳、稳中有进，实现强劲开局。然而，当前外部环境的复杂性、严峻性、不确定性上升，我省经济发展面临的困难和挑战增多。
发展和改革双“一号工程”，是我省高质量发展的长远之策、制胜之道，也是有效应对当前复杂经济形势的重要举措。面对新形势、新挑战，要以等不起的紧迫感、慢不得的危机感、坐不住的责任感，按下深入推进双“一号工程”的“快进键”，稳住和扩大来之不易的好势头。
毋庸置疑，今年以来，各地各部门坚持问题导向，攻坚克难，奋勇争先，推动双“一号工程”取得了实质性突破。同时，也要清醒地看到，当前制约数字经济大发展、营商环境大提升的难点、堵点、痛点问题仍然存在，各地推动双“一号工程”落实落地的进度有快有慢，效果参差不一——
在数字经济“一号发展工程”领域，我省产业能级有待增强，企业整体规模偏小、实力偏弱，赛道竞争力有待进一步提升，招商引资力度有待加大，应用场景需求有待挖掘。一季度，数字经济核心产业营业收入方面，九江市、宜春市、上饶市同比分别增长66.8%、41.2%、35.3%，而萍乡市、新余市增速较慢。
在营商环境“一号改革工程”领域，存在理念认识和责任传导还有差距、系统对接和数据归集仍有困难、经验做法提炼推广不够等问题。一季度，在“一照通办”改革事项覆盖率方面，新余市、南昌市、宜春市分别完成总许可事项数72.6%、30%、30%，而景德镇市、萍乡市、九江市则分别完成2.88%、3.32%、4.7%。
在全省一季度经济运行分析会暨“强攻二季度、确保双过半”动员会上，省委、省政府作出部署，要强攻双“一号工程”，因时而谋、因势而动，健全完善政策措施，持续做优做强数字经济，深入实施全面深化改革攻坚行动。
一分部署，九分落实。动员令已经发出，好政策更要真落实、硬落实。我省将坚持高位推进，实行清单管理，强化督促考核，进一步健全完善数字经济和营商环境评价体系，强化考核评价导向作用，做到以评促改、以评促建、以评促优。
行百里者半九十，咬定青山不放松。全省上下要以一往无前的奋斗姿态、风雨无阻的精神状态，深刻把握省委、省政府关于推进双“一号工程”的目标要求，瞄准方向、选准路径，抢占先机、乘势而上，加快实现数字经济大发展、营商环境大提升。
来源：江西日报
策马扬鞭再奋蹄
——我省深入推进发展和改革双“一号工程”综述
顺势而为、乘势而上、驭势而进，方能在高质量发展的赛道上赢得主动、占据先机。
虎年伊始，省委、省政府以“新春第一会”的形式，高规格召开全省深化发展和改革双“一号工程”推进大会，吹响了强力推动数字经济大发展、营商环境大提升的冲锋号角。全省上下以“起步就冲刺、开局就决战”的姿态，勠力同心、锐意进取，推动双“一号工程”取得实质性突破，数字经济“一号发展工程”蹄疾步稳，营商环境“一号改革工程”全面铺开，呈现高点起步、成效初显的良好局面。
既要看到成绩，也要保持清醒。当前，制约双“一号工程”深入推进的难点、堵点、痛点问题依然存在，全省上下要牢固树立“一盘棋”思维，瞄准一流的“坐标系”，拿出一流的“硬举措”，锚定既定目标，全力推进双“一号工程”落地见效，以数字经济大发展、营商环境大提升，激发高质量跨越式发展新动能新活力。
瞄准新赛道，抢抓新风口，蹄疾步稳推动数字经济大发展
数字经济浪潮汹涌而至，正成为重组要素资源、重塑经济结构、改变竞争格局的关键力量。
今年以来，我省准确把握数字经济发展趋势和规律，立足发展实际，聚焦发展目标及产业赛道、应用场景、集聚区、新型基础设施等重点领域，形成了“1+3+4”的政策体系，吹响了江西迈向数字经济做优做强新阶段的前进号角。
如何把“规划图”变成“施工图”，把“时间表”变成“计程表”？关键在于要跑出落实落地的“加速度”。全省上下以系统务实的举措，有力推动数字经济“一号发展工程”实现良好开局。全省数字经济发展呈现规模快速扩大、数字场景应用加快拓展、数字赋能加速壮大的良好态势。
项目是产业发展的根本和基石。各地各部门牢固树立“项目为王”理念，聚焦5G、工业互联网、人工智能、物联网等重点领域，推进实施一大批新型基础设施、重点产业平台、重点产业项目，聚多方之力打造一流数字生态。
一季度，省数字经济重点项目新开工18个、累计开工87个，完成投资249亿元、占年度计划的35.3%；新基建项目新开工62个、竣工8个，完成投资209.5亿元、占年度投资计划的39%，均超过序时进度。精准开展延链、补链、强链招商，全省利用省外项目中数字经济项目实际进资486.7亿元、占比23.2%；引进数字经济制造领域“5020”项目15个、投资额395.5亿元。
“努力使江西在全国数字经济版图中占得一席高地，关键要抢抓‘新风口’，在供需两端持续发力，实现换挡提速、变道超车。”省发改委有关负责人表示，在供给端，我省把产业赛道作为破题之举，研究提出了7条基础赛道、6条新兴赛道和7条融合赛道，“一道一策”努力寻求突破。在需求端，把应用场景作为关键一招，为更多市场主体创造迈上“新赛道”的机会。
产业赛道做深做细。我省紧盯前沿技术和产业风口，深化与顶级智库的合作研究，谋篇布局产业赛道。省发改委积极对接中国信通院、中科院深圳研究院等科研院所和有关风投机构，开展省级层面重点推进的产业赛道研究；省科技厅在硅基半导体、智能传感器等领域设立重大研发专项；九江市选择主攻工业互联网、人工智能等5条赛道，鹰潭市深耕传感器、网络安全等6条赛道等。
把应用场景作为关键一招，加快促进应用场景建设需求与数字技术产品有效对接，实现共赢发展。一季度，各地各部门申报的应用场景建设需求382个，数字技术新产品、新技术和新解决方案573个，覆盖生产制造、金融服务、公共安全等17个领域；通过遴选形成“机会清单”“产品清单”各200个。
以“数”为“翼”，江西产业蝶变新气象正在孕育。一季度，我省高新技术产业增加值增长16.3%，占规上工业增加值比重38.7%，同比提高2个百分点。全省规上数字经济核心产业实现营业收入1925亿元，同比增长20.5%。
啃下“硬骨头”，铲除“拦路虎”，以铁的决心推动营商环境大提升
3月1日，在景德镇市政务服务中心，景德镇武标瓷业有限公司的梅女士在企业开办服务专区窗口，收到一份手提的“惠企大礼包”，营业执照证书、免费刻制的印章、税控盘、发票、惠企政策汇编材料等一应俱全，让她颇为惊喜。
开办企业是创业者迈入市场的第一步，开办程序难不难、效能高不高，是衡量区域营商环境的重要因素。今年以来，我省聚焦市场主体和群众关切，持续提升企业开办便利度。目前，全省企业开办一个工作日办结率已达到95%，9个设区市和赣江新区全面实现企业开办零成本。
营商环境是企业生存发展的土壤，已日益成为影响一个地方发展的根本性因素。今年2月份，省委、省政府吹响营商环境大提升“一号工程”冲锋号角，先后出台“一号改革工程”意见和对标提升方案、“放管服”改革13条等配套文件，明确了优化营商环境的时间表、路线图、任务书。各地各部门深入贯彻省委、省政府决策部署，以啃下“硬骨头”、铲除“拦路虎”的决心，聚焦群众和企业反映强烈的热点、难点和堵点问题，出台一系列破题之策。
政策组合拳效应初显，营商环境便利度进一步提升。截至一季度末，我省一般不动产登记3个工作日、抵押登记1个工作日的办结率均达99%。工程建设项目并联审批率、联合验收率分别达到57.25%、42.64%，房建和市政项目全面实现联合图审。招投标全流程电子化率达96.2%。同时，涌现出赣州惠企政策免申即享、项目一站式审批，南昌9省10市跨省通办、用水用气报装“先通后补”，九江惠企政策“精准送、快速兑”“不动产登记+水电气网”一链办等改革亮点。
推动营商环境优化升级“一号改革工程”，就要想企业之所想，用心用情用力解决企业的急难愁盼问题。
针对当前部分市场主体面临的实际困难，我省相继出台降本增效“30条”、助企纾困“28条”等政策举措，真金白银，干货十足，既考虑当前，也顾及长远，给市场企业吃下了定心丸。同时，构建“线上+线下”政策兑现“快通道”，按照免申即享、即申即享、承诺兑现三种方式，推动惠企政策红利加快从“纸上”落到“账上”。
降本增效、助企纾困等政策的落地见效，让市场主体获得感进一步增强。一季度，全省累计为企业减负约353.9亿元，为企业办理税费缓缴65.2亿元，发放创业贷款45.1亿元。
环境如水，发展如鱼，海阔方可凭鱼跃。随着营商环境优化升级“一号改革工程”深入实施，形成了以“干部创先”推动“大众创业、万众创新”的生动局面。一季度，在重重压力之下，我省市场主体实现逆势高速增长，全省新登记各类市场主体25.5万户，同比增长52.6%。
担当作为，乘势而上，不断开创双“一号工程”建设新局面
形势喜人，形势也催人。一季度，我省经济运行总体平稳、稳中有进，实现强劲开局。然而，当前外部环境的复杂性、严峻性、不确定性上升，我省经济发展面临的困难和挑战增多。
发展和改革双“一号工程”，是我省高质量发展的长远之策、制胜之道，也是有效应对当前复杂经济形势的重要举措。面对新形势、新挑战，要以等不起的紧迫感、慢不得的危机感、坐不住的责任感，按下深入推进双“一号工程”的“快进键”，稳住和扩大来之不易的好势头。
毋庸置疑，今年以来，各地各部门坚持问题导向，攻坚克难，奋勇争先，推动双“一号工程”取得了实质性突破。同时，也要清醒地看到，当前制约数字经济大发展、营商环境大提升的难点、堵点、痛点问题仍然存在，各地推动双“一号工程”落实落地的进度有快有慢，效果参差不一——
在数字经济“一号发展工程”领域，我省产业能级有待增强，企业整体规模偏小、实力偏弱，赛道竞争力有待进一步提升，招商引资力度有待加大，应用场景需求有待挖掘。一季度，数字经济核心产业营业收入方面，九江市、宜春市、上饶市同比分别增长66.8%、41.2%、35.3%，而萍乡市、新余市增速较慢。
在营商环境“一号改革工程”领域，存在理念认识和责任传导还有差距、系统对接和数据归集仍有困难、经验做法提炼推广不够等问题。一季度，在“一照通办”改革事项覆盖率方面，新余市、南昌市、宜春市分别完成总许可事项数72.6%、30%、30%，而景德镇市、萍乡市、九江市则分别完成2.88%、3.32%、4.7%。
在全省一季度经济运行分析会暨“强攻二季度、确保双过半”动员会上，省委、省政府作出部署，要强攻双“一号工程”，因时而谋、因势而动，健全完善政策措施，持续做优做强数字经济，深入实施全面深化改革攻坚行动。
一分部署，九分落实。动员令已经发出，好政策更要真落实、硬落实。我省将坚持高位推进，实行清单管理，强化督促考核，进一步健全完善数字经济和营商环境评价体系，强化考核评价导向作用，做到以评促改、以评促建、以评促优。
行百里者半九十，咬定青山不放松。全省上下要以一往无前的奋斗姿态、风雨无阻的精神状态，深刻把握省委、省政府关于推进双“一号工程”的目标要求，瞄准方向、选准路径，抢占先机、乘势而上，加快实现数字经济大发展、营商环境大提升。
来源：江西日报
蚀刻掩模及蚀刻溶液对InP微加工形成V 型槽的影响
引言
p-i-n光电探测器封装中最具挑战性的任务之一是将光纤耦合到探测器。由于探测器和光纤的尺寸都非常小，精确和准确的对准非常关键。如今，在大多数情况下，这是通过耗时且成本高昂的主动对准技术来实现的，该技术涉及在二极管工作时单独调整每根光纤，以获得最大响应并进行固定。因此，需要开发无源自对准技术，其时间消耗更少、成本更低，并且同时可靠且合理有效。众所周知，半导体材料的微机械加工是精确的，具有极好的尺寸控制，它非常适合于实现精确的微结构，然后可以用于无源光纤自对准。因其晶面蚀刻速率不同而产生的单晶硅各向异性湿法化学蚀刻是一种成熟且受欢迎的技术。1该技术已用于制造各种高精度无源微结构，然后用于固定光纤和引导光线。然而，由于大多数光学器件是由直接带隙化合物半导体材料如InGaAs和InP制成的，所以这些器件必须通过倒装芯片技术安装在微机械加工的硅晶片上以进行光纤对准。
为了使光电子器件更容易单片集成，在像InP本身这样的衬底材料中实现精密微结构更方便。在过去的几年里，人们一直在积极研究开发各种技术，用于在InP(100)晶片中制造高度精确的对准沟槽。然而，InP的蚀刻在底切和由此产生的侧壁轮廓方面带来了许多问题。闪锌矿晶体如InP和GaAs具有两种不同类型的{111}面，它们可能在蚀刻时出现。其中，{111}A表面终止于III族原子，而{111}B表面终止于V族原子。{111}B表面具有更高的反应性，因为在该表面上每个原子有五个成键电子，相比之下，在{ 111 } B表面上每个原子有三个成键电子{ 111 }一个曲面。在蚀刻时，当掩模边缘沿[01-1]方向取向时，预期会出现具有{111}A刻面的V形槽。在[0-1-1]方向上，应该形成几乎垂直的侧壁。已经尝试了多种蚀刻掩模和蚀刻溶液实验证实这一点。2-5在一些情况下，然而，而不是当在HCl:H3PO4溶液中使用SiO2或Ti作为蚀刻掩模时，会出现{111}面、{211}面和{311}面。2-4此外，据报道，在HCl:H3PO4 (5:1)溶液中使用光刻胶掩模时会出现严重的底切。5另一方面，使用SiO2和Ti掩模的HBr基蚀刻系统会产生具有{ 111 }面的V形槽。
如上所述，有许多关于在InP中实现V形槽的公开文献。然而，大多数实验数据都是针对蚀刻深度小于25 m的情况公布的。Klocken- brink等人2讨论了蚀刻深度为120 m的V形槽，但他们的工作仅限于HCl:H3PO4蚀刻剂。在目前的工作中
V-针对要求蚀刻深度大于350 μm的特定应用进行凹槽蚀刻。这要求蚀刻更长的时间。蚀刻掩模现在起着更重要的作用，因为蚀刻剂与掩模材料的相互作用可能导致严重的底切。为了优化工艺，因此必须选择适合于这种长时间蚀刻的蚀刻剂和蚀刻掩模的最佳组合。为此，我们使用Ti、Cr和等离子体沉积的氮化硅蚀刻掩模对InP(100)衬底进行了湿法化学取向相关蚀刻(ODE)。还研究了这些掩模材料对底切程度的影响。HCl:H3PO4以及HBr:CH3COOH蚀刻系统已经用于研究蚀刻后的侧壁角度以及表面光洁度。然后根据底切的程度、表面光滑度和V形槽的角度来确定蚀刻剂和蚀刻掩模的最佳组合。
适当调整窗口尺寸，可以实现U形槽而不是V形槽(如图1所示)。当在暴露平面相遇之前遇到蚀刻停止层时，会发生这种情况。之后，InGaAs层必须通过选择性蚀刻剂去除，否则它将部分吸收来自光纤的光。这将导致凹槽的平滑底面，然后可以用抗反射涂层涂覆该底面，以最小化光纤的反射损失。还有n+层(p-i-n结构的)
厚度已经增加到大约2 μm，使得当
插入凹槽，不会刺穿和损坏探测器。根
V形槽的成功实现是(I)衬底的结晶据这一思想，在InP(100)上制作V形槽
衬底已被执行。的四个重要方面
完美，(ii)掩模图案在特定方向上的精确对准，(iii)掩模材料的良好粘附
和(iv)用于蚀刻InP的特定蚀刻溶液。这些因素影响V形槽的实际形状、蚀刻时底切的程度以及暴露面的表面光滑度，所有这些因素对于光纤与探测器的实际对准都是至关重要的。在目前的工作中，不同的蚀刻掩模材料以及各种蚀刻溶液已经被用于优化V形槽的制造。
讨论
使用HCl:H3PO4 (5:1)蚀刻系统(编号1)蚀刻剖面。—钛作为蚀刻掩模。使用钛作为蚀刻掩模，在[01-1]方向上(沿着524 μm边缘)形成V形槽。在[0-1-1]方向，形成垂直壁。V形槽壁光滑，并以35.3°的角度倾斜于(100)面，如图2所示。
2.这表明暴露的小平面不是像
{111}面与{100}面所成的角度应为54.7°。据报道，在InP {111}A中，HCl的作用不会产生表面。4从表面的倾斜角度来看，暴露的平面被推断为{211}平面。2，6在蚀刻15分钟后，V形槽平面相交于185 m的深度，对应的蚀刻速率约为12 m/min。掩模边缘的底切小到可以忽略不计。
铬作为蚀刻掩模。—铬不能承受这种蚀刻溶液超过2分钟，因此不适合用作1号ES的掩模。
因此，窗口不再被很好地定义。蚀刻14分钟后，窗口的200米边变宽到375米(几乎是其尺寸的两倍)。这可能是由于铬与InP的粘附性差造成的。先前的研究人员已经观察到光致抗蚀剂掩模的底切现象，这通常是由于表面天然氧化物和蚀刻剂之间的反应导致涂覆的光致抗蚀剂和InP衬底之间的粘附力损失。6天然氧化物与HCl的反应速率比与HBr的反应速率快。这可能解释了为什么Cr不能耐受含有HCl的第一蚀刻剂(ES)。使用第二种蚀刻剂(ES no. 2)时，粘附力的损失没有完全去除掩模那么剧烈。然而，底切仍然是值得考虑的。在ES no. 2中，底切与使用Cr掩模的蚀刻深度之比约为0.6。不同蚀刻时间的底切程度如图6所示。
为了进一步研究HBr浓度对底切的影响，蚀刻溶液的组成改变为HBr:CH3COOHo1:1。由于该溶液中HBr的浓度较低，蚀刻速率降低至约7.5 m/min。然而，如图6所示，底切仍然相当高，并且几乎随蚀刻时间线性增加。在该溶液中蚀刻35分钟后，在[0-1-1]方向上每个掩模边缘处的底切为128 m。在该点处的蚀刻深度为260 m。在这种情况下，底切与蚀刻深度的比率降低至0.49。这证明了我们的论点
底切的程度与天然氧化物和蚀刻溶液的反应有关，因为发现降低蚀刻溶液中HBr的浓度会减少底切的程度。
结论
发展了一种简单的自动对准光纤和光电探测器的技术。三种不同的蚀刻掩模材料，即Ti、Cr和SiN用于在InP衬底中蚀刻V形槽，通过该槽可以插入光纤并精确定位。使用两种不同的蚀刻溶液来蚀刻InP。第一种蚀刻溶液(ES 1号)含有HCl∶h3po 4(5∶1)，另一种(ES 2号)含有HBr∶ch 3c ooh(3∶2)。已经发现，虽然蚀刻溶液的选择决定了V形槽的角度以及表面光洁度，但是掩模材料和沉积方法决定了底切的量。发现Ti作为掩模材料以最小的底切给出最好的结果。在两种蚀刻溶液中，编号为2的蚀刻溶液是优选的，因为V形槽与表面的倾斜角较大(54.7°)，因此，对于给定的窗口尺寸，可以蚀刻出相对较深的槽。暴露墙壁的表面光滑度通过以下方式得到改善。#如何看待割小麦做青贮饲料# #你期待周杰伦的新歌吗# #阴阳师神堕八岐大蛇#
引言
p-i-n光电探测器封装中最具挑战性的任务之一是将光纤耦合到探测器。由于探测器和光纤的尺寸都非常小，精确和准确的对准非常关键。如今，在大多数情况下，这是通过耗时且成本高昂的主动对准技术来实现的，该技术涉及在二极管工作时单独调整每根光纤，以获得最大响应并进行固定。因此，需要开发无源自对准技术，其时间消耗更少、成本更低，并且同时可靠且合理有效。众所周知，半导体材料的微机械加工是精确的，具有极好的尺寸控制，它非常适合于实现精确的微结构，然后可以用于无源光纤自对准。因其晶面蚀刻速率不同而产生的单晶硅各向异性湿法化学蚀刻是一种成熟且受欢迎的技术。1该技术已用于制造各种高精度无源微结构，然后用于固定光纤和引导光线。然而，由于大多数光学器件是由直接带隙化合物半导体材料如InGaAs和InP制成的，所以这些器件必须通过倒装芯片技术安装在微机械加工的硅晶片上以进行光纤对准。
为了使光电子器件更容易单片集成，在像InP本身这样的衬底材料中实现精密微结构更方便。在过去的几年里，人们一直在积极研究开发各种技术，用于在InP(100)晶片中制造高度精确的对准沟槽。然而，InP的蚀刻在底切和由此产生的侧壁轮廓方面带来了许多问题。闪锌矿晶体如InP和GaAs具有两种不同类型的{111}面，它们可能在蚀刻时出现。其中，{111}A表面终止于III族原子，而{111}B表面终止于V族原子。{111}B表面具有更高的反应性，因为在该表面上每个原子有五个成键电子，相比之下，在{ 111 } B表面上每个原子有三个成键电子{ 111 }一个曲面。在蚀刻时，当掩模边缘沿[01-1]方向取向时，预期会出现具有{111}A刻面的V形槽。在[0-1-1]方向上，应该形成几乎垂直的侧壁。已经尝试了多种蚀刻掩模和蚀刻溶液实验证实这一点。2-5在一些情况下，然而，而不是当在HCl:H3PO4溶液中使用SiO2或Ti作为蚀刻掩模时，会出现{111}面、{211}面和{311}面。2-4此外，据报道，在HCl:H3PO4 (5:1)溶液中使用光刻胶掩模时会出现严重的底切。5另一方面，使用SiO2和Ti掩模的HBr基蚀刻系统会产生具有{ 111 }面的V形槽。
如上所述，有许多关于在InP中实现V形槽的公开文献。然而，大多数实验数据都是针对蚀刻深度小于25 m的情况公布的。Klocken- brink等人2讨论了蚀刻深度为120 m的V形槽，但他们的工作仅限于HCl:H3PO4蚀刻剂。在目前的工作中
V-针对要求蚀刻深度大于350 μm的特定应用进行凹槽蚀刻。这要求蚀刻更长的时间。蚀刻掩模现在起着更重要的作用，因为蚀刻剂与掩模材料的相互作用可能导致严重的底切。为了优化工艺，因此必须选择适合于这种长时间蚀刻的蚀刻剂和蚀刻掩模的最佳组合。为此，我们使用Ti、Cr和等离子体沉积的氮化硅蚀刻掩模对InP(100)衬底进行了湿法化学取向相关蚀刻(ODE)。还研究了这些掩模材料对底切程度的影响。HCl:H3PO4以及HBr:CH3COOH蚀刻系统已经用于研究蚀刻后的侧壁角度以及表面光洁度。然后根据底切的程度、表面光滑度和V形槽的角度来确定蚀刻剂和蚀刻掩模的最佳组合。
适当调整窗口尺寸，可以实现U形槽而不是V形槽(如图1所示)。当在暴露平面相遇之前遇到蚀刻停止层时，会发生这种情况。之后，InGaAs层必须通过选择性蚀刻剂去除，否则它将部分吸收来自光纤的光。这将导致凹槽的平滑底面，然后可以用抗反射涂层涂覆该底面，以最小化光纤的反射损失。还有n+层(p-i-n结构的)
厚度已经增加到大约2 μm，使得当
插入凹槽，不会刺穿和损坏探测器。根
V形槽的成功实现是(I)衬底的结晶据这一思想，在InP(100)上制作V形槽
衬底已被执行。的四个重要方面
完美，(ii)掩模图案在特定方向上的精确对准，(iii)掩模材料的良好粘附
和(iv)用于蚀刻InP的特定蚀刻溶液。这些因素影响V形槽的实际形状、蚀刻时底切的程度以及暴露面的表面光滑度，所有这些因素对于光纤与探测器的实际对准都是至关重要的。在目前的工作中，不同的蚀刻掩模材料以及各种蚀刻溶液已经被用于优化V形槽的制造。
讨论
使用HCl:H3PO4 (5:1)蚀刻系统(编号1)蚀刻剖面。—钛作为蚀刻掩模。使用钛作为蚀刻掩模，在[01-1]方向上(沿着524 μm边缘)形成V形槽。在[0-1-1]方向，形成垂直壁。V形槽壁光滑，并以35.3°的角度倾斜于(100)面，如图2所示。
2.这表明暴露的小平面不是像
{111}面与{100}面所成的角度应为54.7°。据报道，在InP {111}A中，HCl的作用不会产生表面。4从表面的倾斜角度来看，暴露的平面被推断为{211}平面。2，6在蚀刻15分钟后，V形槽平面相交于185 m的深度，对应的蚀刻速率约为12 m/min。掩模边缘的底切小到可以忽略不计。
铬作为蚀刻掩模。—铬不能承受这种蚀刻溶液超过2分钟，因此不适合用作1号ES的掩模。
因此，窗口不再被很好地定义。蚀刻14分钟后，窗口的200米边变宽到375米(几乎是其尺寸的两倍)。这可能是由于铬与InP的粘附性差造成的。先前的研究人员已经观察到光致抗蚀剂掩模的底切现象，这通常是由于表面天然氧化物和蚀刻剂之间的反应导致涂覆的光致抗蚀剂和InP衬底之间的粘附力损失。6天然氧化物与HCl的反应速率比与HBr的反应速率快。这可能解释了为什么Cr不能耐受含有HCl的第一蚀刻剂(ES)。使用第二种蚀刻剂(ES no. 2)时，粘附力的损失没有完全去除掩模那么剧烈。然而，底切仍然是值得考虑的。在ES no. 2中，底切与使用Cr掩模的蚀刻深度之比约为0.6。不同蚀刻时间的底切程度如图6所示。
为了进一步研究HBr浓度对底切的影响，蚀刻溶液的组成改变为HBr:CH3COOHo1:1。由于该溶液中HBr的浓度较低，蚀刻速率降低至约7.5 m/min。然而，如图6所示，底切仍然相当高，并且几乎随蚀刻时间线性增加。在该溶液中蚀刻35分钟后，在[0-1-1]方向上每个掩模边缘处的底切为128 m。在该点处的蚀刻深度为260 m。在这种情况下，底切与蚀刻深度的比率降低至0.49。这证明了我们的论点
底切的程度与天然氧化物和蚀刻溶液的反应有关，因为发现降低蚀刻溶液中HBr的浓度会减少底切的程度。
结论
发展了一种简单的自动对准光纤和光电探测器的技术。三种不同的蚀刻掩模材料，即Ti、Cr和SiN用于在InP衬底中蚀刻V形槽，通过该槽可以插入光纤并精确定位。使用两种不同的蚀刻溶液来蚀刻InP。第一种蚀刻溶液(ES 1号)含有HCl∶h3po 4(5∶1)，另一种(ES 2号)含有HBr∶ch 3c ooh(3∶2)。已经发现，虽然蚀刻溶液的选择决定了V形槽的角度以及表面光洁度，但是掩模材料和沉积方法决定了底切的量。发现Ti作为掩模材料以最小的底切给出最好的结果。在两种蚀刻溶液中，编号为2的蚀刻溶液是优选的，因为V形槽与表面的倾斜角较大(54.7°)，因此，对于给定的窗口尺寸，可以蚀刻出相对较深的槽。暴露墙壁的表面光滑度通过以下方式得到改善。#如何看待割小麦做青贮饲料# #你期待周杰伦的新歌吗# #阴阳师神堕八岐大蛇#
跨境电商｜独立站的架构设计与财税合规，与亚马逊卖家有什么不一样？
谈到跨境电商财税合规转型，大家第一反应通常是：亚马逊、店群、私户流水、买单出口、无票等等。诚然，这些是行业的普遍存在的问题，我们在此前的一系列文章中，从思维框架、方法论和案例，已经提供了全面的论述。（相关专栏，请见文末尾链接）
但是对于独立站而言，在考虑财税合规转型时，需要特别注意不能单一聚焦“合规”，否则可能局限了关于转型的思考深度，在战略层面对公司发展造成约束。
一、独立站：不仅仅是“跨境电商”
相对于大部分亚马逊卖家而言，独立站公司在商业模式上往往更加丰满，体现在几个方面：
1、业务特点方面。独立站在产品研发、供应链管控、流量运营、品牌建设、售后服务等方面，要求更加全面的能力和资源。
2、随着业务的成熟，独立站的公司价值，更具备长期的想象空间和发展前景。但这意味着，发展过程中可能面临着更多的摸索过程，缺乏成熟可借鉴的经营模式，需要更多的创新和突破。
3、独立站公司流程更加复杂，人员素质普遍更高、团队能力更加综合、组织架构更加复杂，相应的收入结构、成本分布和资源配置更加复杂。
4、独立站的发展过程，通常会和资本产生交集，一方面需要考虑业务发展，另一方面也需要考虑融资、投资人关系、股权激励等深层次问题。
综合上述特征，我们认为：独立站从商业模式上，更类似于如入日中天的新消费公司和新科技公司，而非典型意义上的跨境电商或者外贸企业。 不同之处在于，面向全球市场的独立站，需要在业务模式上，引入跨境合规和监管考量。
二、财税合规：标准化方案的潜在影响
合规转型，通常会对业务流、资金流、税务流、核算要求作出调整和改变。很多时候，也需要对公司组织架构、股权结构作出一定的变动和安排。
我们看到，市场上存在诸多标准化合规方案（“财税合规1.0”、“财税合规2.0”、“香港公司架构”、“1039方案”……），专注于解决当下的合规困境。
但是，对于独立站而言，如果单一聚焦“财税合规”本身，容易造成“大脚适应小鞋”，使中长期战略规划向当下合规诉求做妥协。导致公司的商业模式进化、经营风格养成受到限制。长期来看，公司的业务越具有独特性，与标准化方案形成战略冲突的几率越大。
对于独立站而言，独特性和差异化，恰恰是公司的精髓和价值所在。我们不应忘记，我们的追求并非合规本身，而是在合规框架下的长期发展。
因此，独立站的合规转型，需要更加注重方案的弹性和成长性，需要将当下静态合规举措，转化成为容纳长期发展变化的动态合规框架。
三、新的视野：究竟需要着眼哪些问题？
如果暂时搁置“跨境电商”和“财务合规”的标签，来看待独立站的合规转型。那么，我们将能够具备更全面的视野和更深度的思考：
1、公司的核心竞争力是什么，是产品能力、研发能力、还是市场能力？这些核心价值应当在整个业务链条中如何加以保护和突出？
2、生产、研发、运营等业务流程，应当全部放在一个主体，还是应当拆分为不同主体？
3、不同性质的分支主体，哪些适合注册在境内，哪些注册在境外？
4、公司旗下的专利、品牌、店铺、库存商品，应当分别放在哪些主体更加合适？
5、公司的收入和利润，应当全部体现为产品销售，还是通过关联交易进行分解，并分配到不同的主体？
6、各个主体之间的关联交易，哪些应安排在境内，哪些安排在境外？如何定价？
7、如果公司的产品，也向其他第三方卖家供货，此类供货交易应当由旗下哪家主体执行，应该在中国境内供货还是境外供货？公司如果也向第三方采购，采购交易如何安排？
8、库存占款越来越大的情况下，如何进行汇率风险管理，是否考虑引入汇率风险对冲工具？
9、研发、生产和销售运营的角色不同、激励机制如何安排？不同的团队，安排在哪个主体进行激励？
10、如果未来引入资本，那么由哪个主体进行承接？公司的核心价值/商业模式应当如何描述？业务架构、财务模型和激励配套，是否能与公司的商业模式相匹配？如何提前规划未来的股权退出税负？
11、未来公司的业务模式如果有所变化，当前的架构，是否具备容纳新变化的弹性和空间？
......
思考并回答上述问题，本质上是对商业模式的深度梳理，也是架构设计的过程。事实上，这个梳理过程，不仅对跨境电商适用，对各类新经济公司，都具备方法论层面的普适性。
四、思路：独立站合规转型的正确姿势
那么，上述问题和财税合规转型，有什么关联？独立站应持有怎样的转型思路？答案是：
1、合规转型必然会对公司的商业模式与架构产生影响。对于独立站公司而言，以“合规转型”为契机，推动商业模式和公司架构的总体升级，是最优选项。
2、在总体升级过程中，合规（包括税务筹划）应作为“外部约束”和“安全边界”，融入公司商业模式和架构设计。而非喧兵夺主，以商业和战略的的妥协，适应标准化的财税合规方案。
谈到跨境电商财税合规转型，大家第一反应通常是：亚马逊、店群、私户流水、买单出口、无票等等。诚然，这些是行业的普遍存在的问题，我们在此前的一系列文章中，从思维框架、方法论和案例，已经提供了全面的论述。（相关专栏，请见文末尾链接）
但是对于独立站而言，在考虑财税合规转型时，需要特别注意不能单一聚焦“合规”，否则可能局限了关于转型的思考深度，在战略层面对公司发展造成约束。
一、独立站：不仅仅是“跨境电商”
相对于大部分亚马逊卖家而言，独立站公司在商业模式上往往更加丰满，体现在几个方面：
1、业务特点方面。独立站在产品研发、供应链管控、流量运营、品牌建设、售后服务等方面，要求更加全面的能力和资源。
2、随着业务的成熟，独立站的公司价值，更具备长期的想象空间和发展前景。但这意味着，发展过程中可能面临着更多的摸索过程，缺乏成熟可借鉴的经营模式，需要更多的创新和突破。
3、独立站公司流程更加复杂，人员素质普遍更高、团队能力更加综合、组织架构更加复杂，相应的收入结构、成本分布和资源配置更加复杂。
4、独立站的发展过程，通常会和资本产生交集，一方面需要考虑业务发展，另一方面也需要考虑融资、投资人关系、股权激励等深层次问题。
综合上述特征，我们认为：独立站从商业模式上，更类似于如入日中天的新消费公司和新科技公司，而非典型意义上的跨境电商或者外贸企业。 不同之处在于，面向全球市场的独立站，需要在业务模式上，引入跨境合规和监管考量。
二、财税合规：标准化方案的潜在影响
合规转型，通常会对业务流、资金流、税务流、核算要求作出调整和改变。很多时候，也需要对公司组织架构、股权结构作出一定的变动和安排。
我们看到，市场上存在诸多标准化合规方案（“财税合规1.0”、“财税合规2.0”、“香港公司架构”、“1039方案”……），专注于解决当下的合规困境。
但是，对于独立站而言，如果单一聚焦“财税合规”本身，容易造成“大脚适应小鞋”，使中长期战略规划向当下合规诉求做妥协。导致公司的商业模式进化、经营风格养成受到限制。长期来看，公司的业务越具有独特性，与标准化方案形成战略冲突的几率越大。
对于独立站而言，独特性和差异化，恰恰是公司的精髓和价值所在。我们不应忘记，我们的追求并非合规本身，而是在合规框架下的长期发展。
因此，独立站的合规转型，需要更加注重方案的弹性和成长性，需要将当下静态合规举措，转化成为容纳长期发展变化的动态合规框架。
三、新的视野：究竟需要着眼哪些问题？
如果暂时搁置“跨境电商”和“财务合规”的标签，来看待独立站的合规转型。那么，我们将能够具备更全面的视野和更深度的思考：
1、公司的核心竞争力是什么，是产品能力、研发能力、还是市场能力？这些核心价值应当在整个业务链条中如何加以保护和突出？
2、生产、研发、运营等业务流程，应当全部放在一个主体，还是应当拆分为不同主体？
3、不同性质的分支主体，哪些适合注册在境内，哪些注册在境外？
4、公司旗下的专利、品牌、店铺、库存商品，应当分别放在哪些主体更加合适？
5、公司的收入和利润，应当全部体现为产品销售，还是通过关联交易进行分解，并分配到不同的主体？
6、各个主体之间的关联交易，哪些应安排在境内，哪些安排在境外？如何定价？
7、如果公司的产品，也向其他第三方卖家供货，此类供货交易应当由旗下哪家主体执行，应该在中国境内供货还是境外供货？公司如果也向第三方采购，采购交易如何安排？
8、库存占款越来越大的情况下，如何进行汇率风险管理，是否考虑引入汇率风险对冲工具？
9、研发、生产和销售运营的角色不同、激励机制如何安排？不同的团队，安排在哪个主体进行激励？
10、如果未来引入资本，那么由哪个主体进行承接？公司的核心价值/商业模式应当如何描述？业务架构、财务模型和激励配套，是否能与公司的商业模式相匹配？如何提前规划未来的股权退出税负？
11、未来公司的业务模式如果有所变化，当前的架构，是否具备容纳新变化的弹性和空间？
......
思考并回答上述问题，本质上是对商业模式的深度梳理，也是架构设计的过程。事实上，这个梳理过程，不仅对跨境电商适用，对各类新经济公司，都具备方法论层面的普适性。
四、思路：独立站合规转型的正确姿势
那么，上述问题和财税合规转型，有什么关联？独立站应持有怎样的转型思路？答案是：
1、合规转型必然会对公司的商业模式与架构产生影响。对于独立站公司而言，以“合规转型”为契机，推动商业模式和公司架构的总体升级，是最优选项。
2、在总体升级过程中，合规（包括税务筹划）应作为“外部约束”和“安全边界”，融入公司商业模式和架构设计。而非喧兵夺主，以商业和战略的的妥协，适应标准化的财税合规方案。
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