气相二氧化硅与CMP化学机械抛光不能说的秘密(一)
CMP是由化学和机械作用协同进行的平坦化过程,优先除去表面上的凹凸部位,使之成为高低落差一致的表面,可以有效地获得超光滑表面,其抛光工艺已在微纳米量级,是一种成熟的加工工艺。
下图为CMP工作示意图:首先将待抛光材料固定在载样盘上,并且安装抛光垫。抛光盘和待抛光材料均以其自身的对称轴旋转。另外,将抛光液运送到抛光垫上面。通过抛光液和待抛光材料之间的化学反应、磨粒和待抛光材料之间的机械作用,使得材料去除并获得表面全局平坦化。
CMP仪器主要通过抛光盘、抛光垫、抛光液等组成。其中,抛光垫与抛光液占据绝对主要因素。
1.抛光垫
在CMP中,抛光垫是一种重要的损耗品,一般情况下,该垫是拥有适当机械性质和多孔吸水性质的材料。它是储存、输送抛光液的关键部件,在一定程度上对工件进行机械研磨,并起到运输抛光残渣的作用。
CMP是由化学和机械作用协同进行的平坦化过程,优先除去表面上的凹凸部位,使之成为高低落差一致的表面,可以有效地获得超光滑表面,其抛光工艺已在微纳米量级,是一种成熟的加工工艺。
下图为CMP工作示意图:首先将待抛光材料固定在载样盘上,并且安装抛光垫。抛光盘和待抛光材料均以其自身的对称轴旋转。另外,将抛光液运送到抛光垫上面。通过抛光液和待抛光材料之间的化学反应、磨粒和待抛光材料之间的机械作用,使得材料去除并获得表面全局平坦化。
CMP仪器主要通过抛光盘、抛光垫、抛光液等组成。其中,抛光垫与抛光液占据绝对主要因素。
1.抛光垫
在CMP中,抛光垫是一种重要的损耗品,一般情况下,该垫是拥有适当机械性质和多孔吸水性质的材料。它是储存、输送抛光液的关键部件,在一定程度上对工件进行机械研磨,并起到运输抛光残渣的作用。
电镀超声波清洗机工作原理及清洗特点
https://t.cn/R0jyYct
电镀超声波清洗机工作原理:
超声波清洗技术是能达到此要求的理想的解决方式,主要是利用超声波空化效应产生的冲击波、微射流等冲击表面,形成了剪切作用,使附着在零件表面的污物逐层除去,超声波空化在固体与液体界面上产生的高速微射流能增强搅拌作用,加速可溶性污垢的溶解,直到基体完全清洗干净为止。
电镀超声波清洗机清洗特点:
1.电镀超声波清洗机能快速、彻地清除工件表面上的各种污垢;
2.能清洗带有空腔、沟槽等形状复杂的精密零件;
3.对工件表面无损;
4.可采用各种清洗剂;
5.在室温或适当加温60℃即可进行清洗;
6.整机一体化结构便于移动;
7.节省溶剂、清洁纸、能源、工作场地和人工等;
8.不需人手接触清洗液,安全可靠。
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电镀超声波清洗机工作原理:
超声波清洗技术是能达到此要求的理想的解决方式,主要是利用超声波空化效应产生的冲击波、微射流等冲击表面,形成了剪切作用,使附着在零件表面的污物逐层除去,超声波空化在固体与液体界面上产生的高速微射流能增强搅拌作用,加速可溶性污垢的溶解,直到基体完全清洗干净为止。
电镀超声波清洗机清洗特点:
1.电镀超声波清洗机能快速、彻地清除工件表面上的各种污垢;
2.能清洗带有空腔、沟槽等形状复杂的精密零件;
3.对工件表面无损;
4.可采用各种清洗剂;
5.在室温或适当加温60℃即可进行清洗;
6.整机一体化结构便于移动;
7.节省溶剂、清洁纸、能源、工作场地和人工等;
8.不需人手接触清洗液,安全可靠。
【香菇蒸蛋】
食材:鸡蛋、香菇、盐、香油;
做法:
1、香菇用剪刀剪成条状,加入容器里;
2、鸡蛋打散,加入适量盐,加入2倍蛋液的清水拌匀用细致的漏勺过滤蛋液,倒入容器里;
3、用勺子把蛋液表面的气泡除去;
4、凉水放入蒸锅,大火,上汽后,蒸8分钟,吃的时候可以放点儿香油。#创意美食##厨艺教程##超能新星汇#
食材:鸡蛋、香菇、盐、香油;
做法:
1、香菇用剪刀剪成条状,加入容器里;
2、鸡蛋打散,加入适量盐,加入2倍蛋液的清水拌匀用细致的漏勺过滤蛋液,倒入容器里;
3、用勺子把蛋液表面的气泡除去;
4、凉水放入蒸锅,大火,上汽后,蒸8分钟,吃的时候可以放点儿香油。#创意美食##厨艺教程##超能新星汇#
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