淘宝类目专业术语100词归纳
一丶基础统计类
1丶浏览量(PV)：店铺各页面被查看的次数。用户多次打开或刷新同一个页面，该指标值累加。
2丶访客数(UV)：全店各页面的访问人数。所选时间段内，同一访客多次访问会进行去重计算。
3丶收藏量：用户访问店铺页面过程中，添加收藏的总次数(包括首页丶分类页和宝贝页的收藏次数)。
4丶浏览回头客：指前6天内访问过店铺当日又来访问的用户数，所选时间段内会进行去重计算。
5丶浏览回头率：浏览回头客占店铺总访客数的百分比。
6丶平均访问深度：访问深度，是指用户一次连续访问的店铺页面数(即每次会话浏览的页面数)，平均访问深度即用户平均每次连续访问浏览的店铺页面数。【月报-店铺经营概况】中，该指标是所选月份日数据的平均值。
7丶跳失率：表示顾客通过相应入口进入，只访问了一个页面就离开的访问次数占该入口总访问次数的比例。
8丶人均店内停留时间(秒)：所有访客的访问过程中，平均每次连续访问店铺的停留时间。
9丶宝贝页浏览量：店铺宝贝页面被查看的次数，用户每打开或刷新一个宝贝页面，该指标就会增加。
10丶宝贝页访客数：店铺宝贝页面的访问人数。所选时间段内，同一访客多次访问会进行去重计算。
11丶宝贝页收藏量：用户访问宝贝页面添加收藏的总次数。
12丶入店页面：单个用户每次浏览您的店铺时查看的第一个页面为入店页面。出店页面：单个用户每次浏览您店铺时所查看的最后一个页面为出店页面。
13丶入店人次：指从该页面进入店铺的人次。
14丶出店人次：指从该页面离开店铺的人次。
15丶进店时间：用户打开该页面的时间点，如果用户刷新页面，也会记录下来。
16丶停留时间：用户打开本店最后一个页面的时间点减去打开本店第一个页面的时间点(只访问一页的顾客停留时间暂无法获取，这种情况不统计在内，显示为“—”)。
17丶到达页浏览量：到达店铺的入口页面的浏览量。
18丶平均访问时间：打开该宝贝页面到打开下一个宝贝页面的平均时间间隔。(用户访问该宝贝页后，未点击该页其他链接的情况不统计在内，显示为“—”)
19丶全店宝贝查看总人次：指全部宝贝的查看人次之和。
20丶搜索次数：在店内搜索关键词或价格区间的次数。
二丶销售分析类
1丶拍下件数：宝贝被拍下的总件数。
2丶拍下笔数：宝贝被拍下的总次数(一次拍下多件宝贝，算拍下一笔)。
3丶拍下总金额：宝贝被拍下的总金额。
4丶成交用户数：成功拍下并完成支付宝付款的人数。所选时间段内同一用户发生多笔成交会进行去重计算。
5丶成交回头客：曾在店铺发生过交易，再次发生交易的用户称为成交回头客。所选时间段内会进行去重计算。
6丶支付宝成交件数：通过支付宝付款的宝贝总件数。
7丶支付宝成交笔数：通过支付宝付款的交易总次数(一次交易多件宝贝，算成交一笔)。
8丶支付宝成交金额：通过支付宝付款的金额。
9丶人均成交件数：平均每用户购买的宝贝件数，即人均成交件数=支付宝成交件数/成交用户数。
10丶人均成交笔数：平均每用户购买的交易次数，即人均成交笔数=支付宝成交笔数/成交用户数。
11丶当日拍下-付款件数：当日拍下丶且当日通过支付宝付款的宝贝件数。
12丶当日拍下-付款笔数：当日拍下丶且当日通过支付宝付款的交易次数。
13丶当日拍下-付款金额：当日拍下丶且当日通过支付宝付款的金额。
14丶客单价：客单价=支付宝成交金额/成交用户数。单日“客单价”指单日每成交用户产生的成交金额。
15丶客单价均值：指所选择的某个时间段，客单价日数据的平均值。如【月报】中，客单价均值=该月多天客单价之和/该月天数。
16丶支付率：支付宝成交笔数占拍下笔数的百分比，即支付率=支付宝成交笔数/拍下笔数。
17丶成交回头率：成交回头客占成交用户数的百分比。即成交回头率=成交回头客/成交用户数。
18丶全店成交转化率：全店成交转化率=成交用户数/访客数。单日“全店成交转化率”指单日成交用户数占访客数的百分比。
19丶全店转化率均值，指所选择的某个时间段，全店成交转化率日数据的平均值。如【月报】中，全店转化率均值=该月多天转化率之和/该月天数。
20丶促销成交用户数：参与宝贝促销活动的成交用户数。
21丶宝贝页(促销)成交转化率：参与宝贝促销活动的成交用户数占宝贝页访客数的百分比。“按月”丶“按周”查看报表时，该指标是所选时间段内日数据的平均值。
22丶支付宝(促销)成交件数：买家参与宝贝促销活动产生的支付宝成交件数。
23丶支付宝(促销)成交笔数：买家参与宝贝促销活动产生的支付宝成交笔数。
24丶支付宝(促销)成交金额：买家参与宝贝促销活动产生的支付宝成交金额。
25丶非促销成交用户数：未参与宝贝促销活动的成交用户数。
26丶支付宝(非促销)成交件数：买家未参与宝贝促销活动产生的支付宝成交件数。
27丶支付宝(非促销)成交笔数：买家未参与宝贝促销活动产生的支付宝成交笔数。
28丶支付宝(非促销)成交金额：买家未参与宝贝促销活动产生的支付宝成交金额。
三丶直通车数据类
1丶展现量：推广宝贝在淘宝直通车展示位上被买家看到的次数，不包括自然搜索。
2丶点击量：推广宝贝在淘宝直通车展示位上被点击的次数。
3丶点击率：推广宝贝展现后的被点击比率。(点击率=点击量/展现量)
4丶花费：推广宝贝被点击所花费用
5丶平均点击花费：推广宝贝每次被点击所花的平均费用(平均点击花费=花费/点击量)
6丶平均展现排名：推广宝贝每次被展现的平均排名。(平均展现排名=每次展现排名的加总/展现量)
7丶定向推广：继搜索推广之后的又一精准推广方式。利用淘宝网庞大的数据库，通过创新的多维度人群定向技术，锁定用户的目标买家，并将用户的推广信息展现在目标买家浏览的网页上。
8丶默认出价：对同一个宝贝的关键词和类目设置的统一的出价。
9丶类目出价：买家通过类目导航选择搜索到宝贝，并点击宝贝后，用户愿意支付的最高点击价格。
10丶质量得分：主要用于衡量关键词与宝贝推广信息和淘宝网用户搜索意向三者之间的相关性，其计算依据涉及多种因素。
11丶推广内容：指的是直通车的推广标题，是宝贝在直通车展示位上的标题。
12丶系统推荐词：系统根据宝贝相关性信息提取的关键词推荐。
13丶相关词查询：在搜索框中输入任意词，查询本词及相关词的流量等情况。如输入“毛衣”，系统会显示：毛衣丶韩版毛衣，女式毛衣等关键词及相关信息。
14丶正在使用的关键词：当前账户中其他宝贝的关键词。
15丶暂停：在淘宝直通车账户中处于上线的状态。
16丶推广中：在淘宝直通车账户中处于下线的状态。
17丶没有推广任何宝贝：推广计划中没有推广宝贝。
18丶所有宝贝暂停推广：推广计划中的所有宝贝暂停推广。
19丶推广中：宝贝在淘宝直通车账户中处于上线的状态。
20丶暂停：宝贝在淘宝直通车账户中处于下线的状态。
21丶审核下架：如果直通车上推广的宝贝或者关键词不符合直通车的推广规则或者淘宝网商品发布规则，会显示审核拒绝或者审核下架状态。
22丶淘宝下架：当前宝贝在店铺中是不正常出售状态，直通车无法将宝贝同步到直通车内。显示淘宝下架的宝贝不会在直通车展示位上展示，因此也不会产生点击。
23丶默认出价：对同一个宝贝的关键词和类目设置的统一的出价。
24丶总费用：一段时间内的推广总花费。
25丶平均点击费用：总花费/点击量。
26丶默认出价：对同一个宝贝的关键词和类目设置的统一的出价。
27丶宝贝创意：推广创意即宝贝的展现形式。在直通车推广位置上，用户的推广以宝贝主图丶推广内容的形式展现。
28丶默认出价：对同一个宝贝的关键词和类目设置的统一的出价。
29丶无展现词：目前无展现词为15天内无展现量的关键词。
30丶关键词相关：关键词的添加丶删除丶出价等关键词管理相关记录。
31丶宝贝相关：宝贝参与推广丶暂停推广丶设置类目出价丶修改默认出价等宝贝管理相关记录。
32丶账户相关：新建丶修改推广计划，日限额丶投放城市丶投放时间丶投放平台设置等推广计划管理记录。
33丶推广内容相关：宝贝推广标题的相关记录。
四丶来源分析类
1丶访客数(UV)：店铺各页面的访问人数。所选时间段内，同一访客多次访问会进行去重计算。
2丶到达页浏览量：通过该来源给店铺入口页面带来的查看次数。
3丶到达页浏览量占比：该来源的到达页浏览量占所有来源的到达页浏览量总和的比例。
4丶浏览量(PV)：店铺各页面被查看的次数。用户多次打开或刷新同一个页面，该指标值累加。
5丶浏览量占比：该来源的浏览量占所有来源的浏览量总和的比例。
6丶入店访问深度：该来源带来的访客每次入店后在店铺内的平均访问页面数。
7丶入店跳失率：该来源带来的访客入店后只访问了该店铺1个页面就离开的次数占该来源访客总入店次数的比例。
8丶新访客数：该来源在选定时间段内带来的访问人数中在前6天从未访问过店铺的用户数。
9丶新访客占比：该来源带来的新访客占该来源总访客数的比例。
一丶基础统计类
1丶浏览量(PV)：店铺各页面被查看的次数。用户多次打开或刷新同一个页面，该指标值累加。
2丶访客数(UV)：全店各页面的访问人数。所选时间段内，同一访客多次访问会进行去重计算。
3丶收藏量：用户访问店铺页面过程中，添加收藏的总次数(包括首页丶分类页和宝贝页的收藏次数)。
4丶浏览回头客：指前6天内访问过店铺当日又来访问的用户数，所选时间段内会进行去重计算。
5丶浏览回头率：浏览回头客占店铺总访客数的百分比。
6丶平均访问深度：访问深度，是指用户一次连续访问的店铺页面数(即每次会话浏览的页面数)，平均访问深度即用户平均每次连续访问浏览的店铺页面数。【月报-店铺经营概况】中，该指标是所选月份日数据的平均值。
7丶跳失率：表示顾客通过相应入口进入，只访问了一个页面就离开的访问次数占该入口总访问次数的比例。
8丶人均店内停留时间(秒)：所有访客的访问过程中，平均每次连续访问店铺的停留时间。
9丶宝贝页浏览量：店铺宝贝页面被查看的次数，用户每打开或刷新一个宝贝页面，该指标就会增加。
10丶宝贝页访客数：店铺宝贝页面的访问人数。所选时间段内，同一访客多次访问会进行去重计算。
11丶宝贝页收藏量：用户访问宝贝页面添加收藏的总次数。
12丶入店页面：单个用户每次浏览您的店铺时查看的第一个页面为入店页面。出店页面：单个用户每次浏览您店铺时所查看的最后一个页面为出店页面。
13丶入店人次：指从该页面进入店铺的人次。
14丶出店人次：指从该页面离开店铺的人次。
15丶进店时间：用户打开该页面的时间点，如果用户刷新页面，也会记录下来。
16丶停留时间：用户打开本店最后一个页面的时间点减去打开本店第一个页面的时间点(只访问一页的顾客停留时间暂无法获取，这种情况不统计在内，显示为“—”)。
17丶到达页浏览量：到达店铺的入口页面的浏览量。
18丶平均访问时间：打开该宝贝页面到打开下一个宝贝页面的平均时间间隔。(用户访问该宝贝页后，未点击该页其他链接的情况不统计在内，显示为“—”)
19丶全店宝贝查看总人次：指全部宝贝的查看人次之和。
20丶搜索次数：在店内搜索关键词或价格区间的次数。
二丶销售分析类
1丶拍下件数：宝贝被拍下的总件数。
2丶拍下笔数：宝贝被拍下的总次数(一次拍下多件宝贝，算拍下一笔)。
3丶拍下总金额：宝贝被拍下的总金额。
4丶成交用户数：成功拍下并完成支付宝付款的人数。所选时间段内同一用户发生多笔成交会进行去重计算。
5丶成交回头客：曾在店铺发生过交易，再次发生交易的用户称为成交回头客。所选时间段内会进行去重计算。
6丶支付宝成交件数：通过支付宝付款的宝贝总件数。
7丶支付宝成交笔数：通过支付宝付款的交易总次数(一次交易多件宝贝，算成交一笔)。
8丶支付宝成交金额：通过支付宝付款的金额。
9丶人均成交件数：平均每用户购买的宝贝件数，即人均成交件数=支付宝成交件数/成交用户数。
10丶人均成交笔数：平均每用户购买的交易次数，即人均成交笔数=支付宝成交笔数/成交用户数。
11丶当日拍下-付款件数：当日拍下丶且当日通过支付宝付款的宝贝件数。
12丶当日拍下-付款笔数：当日拍下丶且当日通过支付宝付款的交易次数。
13丶当日拍下-付款金额：当日拍下丶且当日通过支付宝付款的金额。
14丶客单价：客单价=支付宝成交金额/成交用户数。单日“客单价”指单日每成交用户产生的成交金额。
15丶客单价均值：指所选择的某个时间段，客单价日数据的平均值。如【月报】中，客单价均值=该月多天客单价之和/该月天数。
16丶支付率：支付宝成交笔数占拍下笔数的百分比，即支付率=支付宝成交笔数/拍下笔数。
17丶成交回头率：成交回头客占成交用户数的百分比。即成交回头率=成交回头客/成交用户数。
18丶全店成交转化率：全店成交转化率=成交用户数/访客数。单日“全店成交转化率”指单日成交用户数占访客数的百分比。
19丶全店转化率均值，指所选择的某个时间段，全店成交转化率日数据的平均值。如【月报】中，全店转化率均值=该月多天转化率之和/该月天数。
20丶促销成交用户数：参与宝贝促销活动的成交用户数。
21丶宝贝页(促销)成交转化率：参与宝贝促销活动的成交用户数占宝贝页访客数的百分比。“按月”丶“按周”查看报表时，该指标是所选时间段内日数据的平均值。
22丶支付宝(促销)成交件数：买家参与宝贝促销活动产生的支付宝成交件数。
23丶支付宝(促销)成交笔数：买家参与宝贝促销活动产生的支付宝成交笔数。
24丶支付宝(促销)成交金额：买家参与宝贝促销活动产生的支付宝成交金额。
25丶非促销成交用户数：未参与宝贝促销活动的成交用户数。
26丶支付宝(非促销)成交件数：买家未参与宝贝促销活动产生的支付宝成交件数。
27丶支付宝(非促销)成交笔数：买家未参与宝贝促销活动产生的支付宝成交笔数。
28丶支付宝(非促销)成交金额：买家未参与宝贝促销活动产生的支付宝成交金额。
三丶直通车数据类
1丶展现量：推广宝贝在淘宝直通车展示位上被买家看到的次数，不包括自然搜索。
2丶点击量：推广宝贝在淘宝直通车展示位上被点击的次数。
3丶点击率：推广宝贝展现后的被点击比率。(点击率=点击量/展现量)
4丶花费：推广宝贝被点击所花费用
5丶平均点击花费：推广宝贝每次被点击所花的平均费用(平均点击花费=花费/点击量)
6丶平均展现排名：推广宝贝每次被展现的平均排名。(平均展现排名=每次展现排名的加总/展现量)
7丶定向推广：继搜索推广之后的又一精准推广方式。利用淘宝网庞大的数据库，通过创新的多维度人群定向技术，锁定用户的目标买家，并将用户的推广信息展现在目标买家浏览的网页上。
8丶默认出价：对同一个宝贝的关键词和类目设置的统一的出价。
9丶类目出价：买家通过类目导航选择搜索到宝贝，并点击宝贝后，用户愿意支付的最高点击价格。
10丶质量得分：主要用于衡量关键词与宝贝推广信息和淘宝网用户搜索意向三者之间的相关性，其计算依据涉及多种因素。
11丶推广内容：指的是直通车的推广标题，是宝贝在直通车展示位上的标题。
12丶系统推荐词：系统根据宝贝相关性信息提取的关键词推荐。
13丶相关词查询：在搜索框中输入任意词，查询本词及相关词的流量等情况。如输入“毛衣”，系统会显示：毛衣丶韩版毛衣，女式毛衣等关键词及相关信息。
14丶正在使用的关键词：当前账户中其他宝贝的关键词。
15丶暂停：在淘宝直通车账户中处于上线的状态。
16丶推广中：在淘宝直通车账户中处于下线的状态。
17丶没有推广任何宝贝：推广计划中没有推广宝贝。
18丶所有宝贝暂停推广：推广计划中的所有宝贝暂停推广。
19丶推广中：宝贝在淘宝直通车账户中处于上线的状态。
20丶暂停：宝贝在淘宝直通车账户中处于下线的状态。
21丶审核下架：如果直通车上推广的宝贝或者关键词不符合直通车的推广规则或者淘宝网商品发布规则，会显示审核拒绝或者审核下架状态。
22丶淘宝下架：当前宝贝在店铺中是不正常出售状态，直通车无法将宝贝同步到直通车内。显示淘宝下架的宝贝不会在直通车展示位上展示，因此也不会产生点击。
23丶默认出价：对同一个宝贝的关键词和类目设置的统一的出价。
24丶总费用：一段时间内的推广总花费。
25丶平均点击费用：总花费/点击量。
26丶默认出价：对同一个宝贝的关键词和类目设置的统一的出价。
27丶宝贝创意：推广创意即宝贝的展现形式。在直通车推广位置上，用户的推广以宝贝主图丶推广内容的形式展现。
28丶默认出价：对同一个宝贝的关键词和类目设置的统一的出价。
29丶无展现词：目前无展现词为15天内无展现量的关键词。
30丶关键词相关：关键词的添加丶删除丶出价等关键词管理相关记录。
31丶宝贝相关：宝贝参与推广丶暂停推广丶设置类目出价丶修改默认出价等宝贝管理相关记录。
32丶账户相关：新建丶修改推广计划，日限额丶投放城市丶投放时间丶投放平台设置等推广计划管理记录。
33丶推广内容相关：宝贝推广标题的相关记录。
四丶来源分析类
1丶访客数(UV)：店铺各页面的访问人数。所选时间段内，同一访客多次访问会进行去重计算。
2丶到达页浏览量：通过该来源给店铺入口页面带来的查看次数。
3丶到达页浏览量占比：该来源的到达页浏览量占所有来源的到达页浏览量总和的比例。
4丶浏览量(PV)：店铺各页面被查看的次数。用户多次打开或刷新同一个页面，该指标值累加。
5丶浏览量占比：该来源的浏览量占所有来源的浏览量总和的比例。
6丶入店访问深度：该来源带来的访客每次入店后在店铺内的平均访问页面数。
7丶入店跳失率：该来源带来的访客入店后只访问了该店铺1个页面就离开的次数占该来源访客总入店次数的比例。
8丶新访客数：该来源在选定时间段内带来的访问人数中在前6天从未访问过店铺的用户数。
9丶新访客占比：该来源带来的新访客占该来源总访客数的比例。
给摩尔定律续命，EUV光刻暂难当大任
2019-12-17 17:54:16 来源: 科技日报 作者: 张蕴
近年来，在半导体行业，极紫外光刻（Extreme Ultra-Violet，以下简称EUV光刻）成为备受众多企业关注的光刻技术之一。
前段时间，台湾积体电路制造股份有限公司宣布，已采用7纳米EUV工艺。今年，三星公司正式发布了7纳米EUV芯片Exynos 9825，该公司称此芯片将晶体管性能提高了20%至30%，将功耗降低了30%至50%。
之所以备受关注，一个重要的原因是，有传闻称，EUV光刻有望成为摩尔定律的“救星”。
半个多世纪以来，半导体行业按照摩尔定律不断发展，由此驱动了一系列的科技创新。随着芯片尺寸越来越逼近物理极限，摩尔定律在未来是否依旧奏效，成为现在全行业都在关注的问题。
那么，这项技术能否为摩尔定律“续命”？它又是否已经到了最好的应用节点？针对上述问题，科技日报记者采访了业内专家。
将电路图和电子元件“刻”到“底片”上
在认识EUV光刻前，让我们先来认识一下光刻技术。
“其实，光刻技术跟照相技术差不多，照相是将镜头里的图画‘印’到底片上，而光刻是将电路图和电子元件‘刻’到‘底片’上。”北京理工大学材料学院副研究员常帅在接受科技日报记者采访时介绍道，在光刻工艺中，通常以涂满光敏胶的硅片作为“底片”，电路图案经光刻机，缩微投射到“底片”上。制造芯片，要重复几十遍这个过程。
“光刻技术的主要作用，就是把芯片上的线路与功能区做出来。”曾在半导体行业工作多年的北京理工大学材料学院博士生孟令海对科技日报记者表示，利用光刻机发出的光，通过带有图形的光罩，对涂有光刻胶的薄片进行曝光，光刻胶见光后会发生化学反应，从而使光罩上的图形印到薄片上，线路和功能区随之显现。
常帅表示，在芯片加工过程中，光刻是其中一个重要的步骤，其甚至被认为是集成电路制造中最为关键的步骤，决定着制造工艺的先进程度。
摩尔定律指出，芯片上可容纳的元器件数目每隔18个月翻1倍，同时芯片性能每隔18个月提高一倍，而价格下降一半。
“光刻技术的‘雕刻’精细度，直接决定了元器件、电路等在芯片上所占的体积。因而，光刻是决定芯片能否按照摩尔定律继续发展的一项重要技术，如果没有光刻技术的进步，芯片制造工艺就不可能从微米进入深亚微米再进入纳米时代。”常帅说。
孟令海向记者说，随着芯片制造工艺由微米级向纳米级发展，光刻机所采用的光波波长也从近紫外（NUV）区间的436纳米、365纳米，进入深紫外（DUV）区间的248纳米、193纳米。
EUV光源波长为主流光源的1/14
EUV光刻所用的光波，是波长为13.5纳米的极紫外光。相比当前主流光刻机所采用的193纳米光源，EUV光源的波长约为前者的1/14，这使其能在硅片上“刻”出更细的痕迹。
“业内形容EUV光刻的精细程度，常打的一个比方是，好比从地球上射出的一缕手电筒光，其能精准地照到月球上的一枚硬币。”孟令海说。
为满足摩尔定律的要求，技术人员一直在研究、开发新的芯片制造技术，来缩小线宽并增大芯片的容量。“线宽是指芯片上最小导线的宽度，是衡量芯片制作工艺先进性的重要指标之一。”常帅说。
“如今，芯片制造商大多使用波长为193纳米的光刻技术，用其在‘底片’上‘描绘’出精细的图案。但实际上，193纳米光刻目前已经达到了技术极限，只能支持80纳米的线宽工艺，无法在芯片上实现更小线宽。”常帅说，由于光源更细，EUV光刻技术可以满足22纳米及更小线宽的集成电路生产要求。
“可以说，EUV是目前距离实际生产最近的一种深亚微米光刻技术。如果采用该光刻技术，可在芯片上实现10纳米以内的线宽。”孟令海说。
摩尔定律不只对性能提出要求，另一个要求是成本的降低。所以，“救星”还必须承担起省钱的重任。EUV光刻技术恰好能符合这个要求。
常帅介绍道，光刻机在工作过程中，要频繁地进行曝光。简单来说，就是用光线照射硅片，让未受掩模遮挡部分的光刻胶发生化学反应，这样才能将石英掩模上的电路图显影到硅片上，以便后续进行刻蚀、去胶等一系列工序。
“目前，主流制造商生产1枚芯片，可能需要进行4次，甚至更多次的曝光。若采用EUV光刻技术，只需1次曝光就够了，这样就可大幅降低生产制造成本。”孟令海说，换句话说，EUV光刻技术不仅提升了刻录的精细程度，也能让芯片的价格更便宜，符合摩尔定律对成本的要求。
不仅如此，EUV光刻技术之所以受到各大集成电路生产厂商的关注，还因为该光刻技术是传统光刻技术的拓展，能使现有生产工艺得以延续。
让摩尔定律至少再延续10年
既然EUV光刻技术好处多多，这么看来，为摩尔定律“续命”的重任，可以放心交给它了。
然而，事实并非如此。
常帅和孟令海介绍，目前来看，EUV光刻技术进展比较缓慢。同时，极紫外光刻光学系统的设计和制造也极其复杂，尚存在许多未被解决的技术难题。
据孟令海分析，EUV光刻技术目前主要面临三大挑战。
“首先是光源效率，即每小时能‘刻’多少片，按照量产工艺要求，光刻效率要达到每小时250片，而现在EUV光刻效率尚难达到这一要求，因此还需进一步提高，但实现难度相当大。其次是光刻胶，EUV光刻机和普通光刻机的技术原理不同，普通光刻机采用投影进行光刻，而EUV光刻机则是利用反射光，需要借助反光镜，这使得光子和光刻胶的化学反应变得不可控，有时会出现差错。最后是光刻机保护层的透光材料，要提高光刻机的刻录精度，就需要在其上面增加一个保护层，但现有保护层材料质量欠佳、透光性比较差。”孟令海说。
此外，据常帅分析，EUV光刻工艺的良品率也是阻碍EUV光刻发展的“绊脚石”。目前，采用一般光刻机生产的芯片，其良品率约为95%，而EUV光刻机的良品率仅为70%至80%。
“要想解决这些问题，关键是要提升市场订单数量，只有订单多了，厂商用得多了，才能吸引更多光源、材料等上下游企业共同参与研发，进而完善EUV光刻产业链。”常帅说。
即使在技术上达到要求，收益缺乏足够的吸引力，也很难让制造企业产生应用新技术的动力。目前看来，采用EUV光刻技术的生产成本十分高昂。
资料显示，最新的EUV光刻机价格或超过1亿欧元，是常规193纳米光刻机价格的2倍多。此外，由于功率极高，EUV光刻设备在生产时消耗的电量也远超现有同类机器。
那么，目前来看，EUV光刻技术能为摩尔定律的延续，起到哪些作用呢？
孟令海表示，在光刻线条宽度为5纳米及以下生产工艺中，EUV光刻技术具有不可替代性，在未来较长一段时间内，EUV光刻技术都可能成为延续摩尔定律发展的重要力量。“因此，如果解决了工艺技术和制造成本等难题，EUV光刻设备将是7纳米以下工艺的最佳选择，它可让摩尔定律至少再延续10年时间。”孟令海说。
2019-12-17 17:54:16 来源: 科技日报 作者: 张蕴
近年来，在半导体行业，极紫外光刻（Extreme Ultra-Violet，以下简称EUV光刻）成为备受众多企业关注的光刻技术之一。
前段时间，台湾积体电路制造股份有限公司宣布，已采用7纳米EUV工艺。今年，三星公司正式发布了7纳米EUV芯片Exynos 9825，该公司称此芯片将晶体管性能提高了20%至30%，将功耗降低了30%至50%。
之所以备受关注，一个重要的原因是，有传闻称，EUV光刻有望成为摩尔定律的“救星”。
半个多世纪以来，半导体行业按照摩尔定律不断发展，由此驱动了一系列的科技创新。随着芯片尺寸越来越逼近物理极限，摩尔定律在未来是否依旧奏效，成为现在全行业都在关注的问题。
那么，这项技术能否为摩尔定律“续命”？它又是否已经到了最好的应用节点？针对上述问题，科技日报记者采访了业内专家。
将电路图和电子元件“刻”到“底片”上
在认识EUV光刻前，让我们先来认识一下光刻技术。
“其实，光刻技术跟照相技术差不多，照相是将镜头里的图画‘印’到底片上，而光刻是将电路图和电子元件‘刻’到‘底片’上。”北京理工大学材料学院副研究员常帅在接受科技日报记者采访时介绍道，在光刻工艺中，通常以涂满光敏胶的硅片作为“底片”，电路图案经光刻机，缩微投射到“底片”上。制造芯片，要重复几十遍这个过程。
“光刻技术的主要作用，就是把芯片上的线路与功能区做出来。”曾在半导体行业工作多年的北京理工大学材料学院博士生孟令海对科技日报记者表示，利用光刻机发出的光，通过带有图形的光罩，对涂有光刻胶的薄片进行曝光，光刻胶见光后会发生化学反应，从而使光罩上的图形印到薄片上，线路和功能区随之显现。
常帅表示，在芯片加工过程中，光刻是其中一个重要的步骤，其甚至被认为是集成电路制造中最为关键的步骤，决定着制造工艺的先进程度。
摩尔定律指出，芯片上可容纳的元器件数目每隔18个月翻1倍，同时芯片性能每隔18个月提高一倍，而价格下降一半。
“光刻技术的‘雕刻’精细度，直接决定了元器件、电路等在芯片上所占的体积。因而，光刻是决定芯片能否按照摩尔定律继续发展的一项重要技术，如果没有光刻技术的进步，芯片制造工艺就不可能从微米进入深亚微米再进入纳米时代。”常帅说。
孟令海向记者说，随着芯片制造工艺由微米级向纳米级发展，光刻机所采用的光波波长也从近紫外（NUV）区间的436纳米、365纳米，进入深紫外（DUV）区间的248纳米、193纳米。
EUV光源波长为主流光源的1/14
EUV光刻所用的光波，是波长为13.5纳米的极紫外光。相比当前主流光刻机所采用的193纳米光源，EUV光源的波长约为前者的1/14，这使其能在硅片上“刻”出更细的痕迹。
“业内形容EUV光刻的精细程度，常打的一个比方是，好比从地球上射出的一缕手电筒光，其能精准地照到月球上的一枚硬币。”孟令海说。
为满足摩尔定律的要求，技术人员一直在研究、开发新的芯片制造技术，来缩小线宽并增大芯片的容量。“线宽是指芯片上最小导线的宽度，是衡量芯片制作工艺先进性的重要指标之一。”常帅说。
“如今，芯片制造商大多使用波长为193纳米的光刻技术，用其在‘底片’上‘描绘’出精细的图案。但实际上，193纳米光刻目前已经达到了技术极限，只能支持80纳米的线宽工艺，无法在芯片上实现更小线宽。”常帅说，由于光源更细，EUV光刻技术可以满足22纳米及更小线宽的集成电路生产要求。
“可以说，EUV是目前距离实际生产最近的一种深亚微米光刻技术。如果采用该光刻技术，可在芯片上实现10纳米以内的线宽。”孟令海说。
摩尔定律不只对性能提出要求，另一个要求是成本的降低。所以，“救星”还必须承担起省钱的重任。EUV光刻技术恰好能符合这个要求。
常帅介绍道，光刻机在工作过程中，要频繁地进行曝光。简单来说，就是用光线照射硅片，让未受掩模遮挡部分的光刻胶发生化学反应，这样才能将石英掩模上的电路图显影到硅片上，以便后续进行刻蚀、去胶等一系列工序。
“目前，主流制造商生产1枚芯片，可能需要进行4次，甚至更多次的曝光。若采用EUV光刻技术，只需1次曝光就够了，这样就可大幅降低生产制造成本。”孟令海说，换句话说，EUV光刻技术不仅提升了刻录的精细程度，也能让芯片的价格更便宜，符合摩尔定律对成本的要求。
不仅如此，EUV光刻技术之所以受到各大集成电路生产厂商的关注，还因为该光刻技术是传统光刻技术的拓展，能使现有生产工艺得以延续。
让摩尔定律至少再延续10年
既然EUV光刻技术好处多多，这么看来，为摩尔定律“续命”的重任，可以放心交给它了。
然而，事实并非如此。
常帅和孟令海介绍，目前来看，EUV光刻技术进展比较缓慢。同时，极紫外光刻光学系统的设计和制造也极其复杂，尚存在许多未被解决的技术难题。
据孟令海分析，EUV光刻技术目前主要面临三大挑战。
“首先是光源效率，即每小时能‘刻’多少片，按照量产工艺要求，光刻效率要达到每小时250片，而现在EUV光刻效率尚难达到这一要求，因此还需进一步提高，但实现难度相当大。其次是光刻胶，EUV光刻机和普通光刻机的技术原理不同，普通光刻机采用投影进行光刻，而EUV光刻机则是利用反射光，需要借助反光镜，这使得光子和光刻胶的化学反应变得不可控，有时会出现差错。最后是光刻机保护层的透光材料，要提高光刻机的刻录精度，就需要在其上面增加一个保护层，但现有保护层材料质量欠佳、透光性比较差。”孟令海说。
此外，据常帅分析，EUV光刻工艺的良品率也是阻碍EUV光刻发展的“绊脚石”。目前，采用一般光刻机生产的芯片，其良品率约为95%，而EUV光刻机的良品率仅为70%至80%。
“要想解决这些问题，关键是要提升市场订单数量，只有订单多了，厂商用得多了，才能吸引更多光源、材料等上下游企业共同参与研发，进而完善EUV光刻产业链。”常帅说。
即使在技术上达到要求，收益缺乏足够的吸引力，也很难让制造企业产生应用新技术的动力。目前看来，采用EUV光刻技术的生产成本十分高昂。
资料显示，最新的EUV光刻机价格或超过1亿欧元，是常规193纳米光刻机价格的2倍多。此外，由于功率极高，EUV光刻设备在生产时消耗的电量也远超现有同类机器。
那么，目前来看，EUV光刻技术能为摩尔定律的延续，起到哪些作用呢？
孟令海表示，在光刻线条宽度为5纳米及以下生产工艺中，EUV光刻技术具有不可替代性，在未来较长一段时间内，EUV光刻技术都可能成为延续摩尔定律发展的重要力量。“因此，如果解决了工艺技术和制造成本等难题，EUV光刻设备将是7纳米以下工艺的最佳选择，它可让摩尔定律至少再延续10年时间。”孟令海说。
#眉山新闻# 【优化营商“软环境” 筑牢发展“硬支撑”】注册一个公司一般需要一个月，现在在眉山有专人进行窗口指导和代办协调，我们只用了一个星期就注册好了，办事效率很高。”关于眉山的“吸引力”，入驻眉山联想叠云创新科技园的联想新视界（北京）科技有限公司总经理闵忠有着深切的感受。在眉山，不仅有独特的区位优势、产业基础、人才优势、政府服务，更有优良的投资环境。
和闵忠一样，德国通内斯集团首席执行官安德烈斯·鲁夫也看中了眉山的“环境”。一份份投资协议的签署，一个个项目的落地建设，“环境”愈发成为企业落户的重要指标。在这背后，正是我市不断优化营商环境的真实写照。近年来，我市在营商“软环境”上下功夫，通过建设优质高效的政务环境、公平诚信的市场环境、公正有序的法治环境，打造更优的营商环境，以高质量服务推动高质量发展。
“硬联通”加速 筑牢立体交通网络
11月20日，环天府新区快速通道（仁寿段）项目现场一派热火朝天景象。挖掘机、推土机来回穿梭，施工人员专心致志工作，掀起了抢抓工期最后冲刺的热潮。据了解，环天府新区快速通道工程起于眉山市彭山区青龙镇工业大道，途经仁寿县视高镇、文宫镇，止于仁寿县观寺镇接三岔湖旅游环线，全长48.65公里。
“该快速通道全线通车后，将打通青龙、视高两地交通瓶颈，联通眉山工业大道、国道245线、滨江大道、岷东大道、天府大道等多条纵向通道，构建起天府新区眉山区域内通外畅的交通网络，打通‘环天府新区经济带’东西向交通大动脉，增强对眉山的辐射和带动作用。”环天府新区快速通道（仁寿段）项目现场负责人表示。
作为营商环境的硬件组成，便利的交通不可或缺。环天府新区快速通道的修建只是眉山市加速“硬联通”，在交通硬件上下功夫的一个缩影。
去年8月，眉山开通从视高到兴隆湖的全省首条跨市公交线，现已累计运送乘客70万人次，两地通勤费用缩减近八成。
今年1月13日，天府大道仁寿段（除二峨山段外）全线建成通车。据介绍，这条北接德阳，南抵仁寿，全长150公里的快速通道是目前全球最长的城市中轴线，长度超过了伦敦、纽约、东京等大都市。
近年来，眉山加快步伐，融入成都，在成眉同城发展上率先突破。目前，成眉间现已有4条高速公路、2条一级公路相连，成眉间公路车程已缩短至40分钟以内，同时成乐高速扩容、成宜高速、天府大道眉山段、环天府新区快速通道、红星路南延线、丹蒲快速通道等项目正快速推进，高快速通道不断增加，高快速路网不断完善；国道213线、国道245线、省道104线等连接眉山与成都的国省干线均达到二级及以上标准，成眉间国省干线已实现高等级化。
同时，成眉间常态化日发行动车现已达到24对、48列（上行24列、下行24列），较去年同期增长5.5对、11列；周末及节假日高峰时段27对、54列（上行26列、下行28列），较去年同期增长6.5对、13列，实现平均每20分钟就有1列动车停靠眉山东站。眉山东站日均动车运输旅客人数1.3万人次以上，较去年同期增长29.6%。
“临空临港”“高速高铁”“成眉一体化”……阡陌纵横的交通网络，构成了眉山引以为傲的立体交通，同时串联起星罗棋布的丰富资源，也为眉山打开了想象的空间。
“软环境”支撑 营造国际化营商环境
11月22日，走进彭山区党务政务服务中心，智能排号系统、服务导视系统映入眼帘，不少办事市民在此自主排号、查询办理流程。在旁边的“一窗通办”办理窗口，工作人员正忙着为客户登记。
当天来办理餐饮公司营业执照的朱先生说，第一次来这里办理手续有些不知所措，但“一窗通办”服务让他吃下了“定心丸”。等待期间，朱先生表示：“今天一次性把所有材料准备齐全，办理好手续，差不多一周后就能拿证。”在他看来，“一窗通办”的效率确实提高了不少。
据了解，彭山区党务政务服务中心每个综合窗口都具备受理800余项行政许可、公共服务的能力，申请人办一件事只需找一个窗口。而在“一窗通办”改革启动之前，各个部门事权在握，群众办事有时需要跑多个“窗”才能办成一件事，“门难进、脸难看、事难办”——成为当时群众对行政审批服务效能不高的普遍槽点和痛点。
彭山区审批便民服务工作效率提升的背后，是我市大力深化改革，不断优化营商环境的真实写照。为积极对标国内最好水平、最高标准，近年来，眉山市不断结合实际，精准施策，优化提升营商环境，进一步打造环成都经济圈营商环境高地。
具体而言，眉山市在深化坚持“红色代办”服务机制基础上，进一步创新特色服务，在全市各区县全面推行周六弹性工作制度，为市民提供延时、错峰服务。同时，推进重大项目提速增效，对部分暂未取得土地使用权但主体相对明确的重大投资项目，激活“模拟审批”模式，采取“容缺预审”“并联审批”“多评合一”“多图联审”方式统筹办理。
“此外，我们还将全面落实省委、省政府‘营商环境提升年’工作部署，围绕‘审批时限最短、群众跑路最少、服务质量最优’目标，大力倡导‘店小二’服务精神，做细‘一站通办’品牌、做亮‘随时可办’品牌、做响‘随处可办’名牌。”市政务服务管理局相关负责人表示。不仅如此，眉山市还将以企业需求为导向，以企业满意为标准，全力推动眉山优化营商环境政策及促进“民营经济发展20条”“工业发展10条”措施落实落地，帮助民营企业破解融资、用地、用工、环保等问题。
“软环境”不断提升，企业有着直观的感受。“我们公司计划把在深圳的云电脑工厂整体搬迁过来，计划明年春节投产，因此用地和用工方面需求很急切。天府新区眉山管委会对我们公司的支持非常大，一方面帮助我们解决土地问题，一方面采用高校定向委培的方式为我们准备了充足的人力资源。”闵忠表示。
营商环境持续优化，吸引了无数投资兴业者的目光。今年1—9月，眉山市完成招商引资到位资金553.08亿元，外商实际投资11279万美元，新设外商投资企业8家。全市新签约项目107个、合同金额1793.64亿元；其中，引进世界500强、中国500强、中国民营企业500强投资或投资额5亿元及以上重大项目43个、履约重大项目33个。
城市品质提升 增强魅力眉山竞争力
位于眉山城区的东坡城市湿地公园两岸绿树成荫，湖清景美，是市民闲暇之余的好去处。每天，总有不少市民沿东坡湖散步，听鸟语闻花香。“这里环境很美，道路很整洁，不管是工作还是生活都很舒适。”从重庆来眉经商的李女士对眉山的城市环境十分满意。
大美眉山，是一座生态宜居之城。11月15日，眉山被全国绿化委员会、国家林业和草原局正式授予“国家森林城市”称号。绿色正成为眉山的最美底色，生态环境是眉山最大的财富。
2012年起，实施“绿海明珠、千湖之城、百园之市”三大生态工程；2018年，提出建设全域公园城市……近年来，我市始终坚持生态优先、绿色发展理念不动摇，将生态环境保护纳入国民经济和社会发展大局来谋划，坚定不移地扛起生态文明建设和生态环境保护的大旗，加快建设天更蓝、地更绿、水更清的美丽眉山。“截至目前，全市现已累计投入资金约161.79亿元，建成各类公园144个，在建公园21个。预计到2030年，眉山全域将建设各类公园260多个。”市相关部门负责人表示。
生态越来越好、环境越来越美，更有实实在在的数据佐证：截至目前，全市森林面积530万亩，森林覆盖率49.49%；2018年，全市环境空气质量优良率78.1%；岷江干流眉山出境断面水质由2017年Ⅳ类改善为Ⅲ类……
不仅如此，我市还以创建全国文明城市、国家卫生城市为抓手，对垃圾乱扔、广告乱贴、摊位物品乱摆、车辆乱停、工地乱象等重点和顽症下猛药、出重拳，“文明火种”在眉州大地生根发芽：一个个老旧小区旧貌换新颜，一个个农贸市场越来越干净整洁，一条条城市道路更加井然有序……一点一滴的变化，正在深刻地改变着这座城市。
整洁的市容环境、精细的城市管理、优美的城市形象，不仅是一座城市靓丽的名片，更直接关系到城市的吸引力、竞争力和影响力。站在新起点，面向新未来。眉山正以崭新的面貌和开放的姿态，迎接更多投资者的到来。
和闵忠一样，德国通内斯集团首席执行官安德烈斯·鲁夫也看中了眉山的“环境”。一份份投资协议的签署，一个个项目的落地建设，“环境”愈发成为企业落户的重要指标。在这背后，正是我市不断优化营商环境的真实写照。近年来，我市在营商“软环境”上下功夫，通过建设优质高效的政务环境、公平诚信的市场环境、公正有序的法治环境，打造更优的营商环境，以高质量服务推动高质量发展。
“硬联通”加速 筑牢立体交通网络
11月20日，环天府新区快速通道（仁寿段）项目现场一派热火朝天景象。挖掘机、推土机来回穿梭，施工人员专心致志工作，掀起了抢抓工期最后冲刺的热潮。据了解，环天府新区快速通道工程起于眉山市彭山区青龙镇工业大道，途经仁寿县视高镇、文宫镇，止于仁寿县观寺镇接三岔湖旅游环线，全长48.65公里。
“该快速通道全线通车后，将打通青龙、视高两地交通瓶颈，联通眉山工业大道、国道245线、滨江大道、岷东大道、天府大道等多条纵向通道，构建起天府新区眉山区域内通外畅的交通网络，打通‘环天府新区经济带’东西向交通大动脉，增强对眉山的辐射和带动作用。”环天府新区快速通道（仁寿段）项目现场负责人表示。
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去年8月，眉山开通从视高到兴隆湖的全省首条跨市公交线，现已累计运送乘客70万人次，两地通勤费用缩减近八成。
今年1月13日，天府大道仁寿段（除二峨山段外）全线建成通车。据介绍，这条北接德阳，南抵仁寿，全长150公里的快速通道是目前全球最长的城市中轴线，长度超过了伦敦、纽约、东京等大都市。
近年来，眉山加快步伐，融入成都，在成眉同城发展上率先突破。目前，成眉间现已有4条高速公路、2条一级公路相连，成眉间公路车程已缩短至40分钟以内，同时成乐高速扩容、成宜高速、天府大道眉山段、环天府新区快速通道、红星路南延线、丹蒲快速通道等项目正快速推进，高快速通道不断增加，高快速路网不断完善；国道213线、国道245线、省道104线等连接眉山与成都的国省干线均达到二级及以上标准，成眉间国省干线已实现高等级化。
同时，成眉间常态化日发行动车现已达到24对、48列（上行24列、下行24列），较去年同期增长5.5对、11列；周末及节假日高峰时段27对、54列（上行26列、下行28列），较去年同期增长6.5对、13列，实现平均每20分钟就有1列动车停靠眉山东站。眉山东站日均动车运输旅客人数1.3万人次以上，较去年同期增长29.6%。
“临空临港”“高速高铁”“成眉一体化”……阡陌纵横的交通网络，构成了眉山引以为傲的立体交通，同时串联起星罗棋布的丰富资源，也为眉山打开了想象的空间。
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11月22日，走进彭山区党务政务服务中心，智能排号系统、服务导视系统映入眼帘，不少办事市民在此自主排号、查询办理流程。在旁边的“一窗通办”办理窗口，工作人员正忙着为客户登记。
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据了解，彭山区党务政务服务中心每个综合窗口都具备受理800余项行政许可、公共服务的能力，申请人办一件事只需找一个窗口。而在“一窗通办”改革启动之前，各个部门事权在握，群众办事有时需要跑多个“窗”才能办成一件事，“门难进、脸难看、事难办”——成为当时群众对行政审批服务效能不高的普遍槽点和痛点。
彭山区审批便民服务工作效率提升的背后，是我市大力深化改革，不断优化营商环境的真实写照。为积极对标国内最好水平、最高标准，近年来，眉山市不断结合实际，精准施策，优化提升营商环境，进一步打造环成都经济圈营商环境高地。
具体而言，眉山市在深化坚持“红色代办”服务机制基础上，进一步创新特色服务，在全市各区县全面推行周六弹性工作制度，为市民提供延时、错峰服务。同时，推进重大项目提速增效，对部分暂未取得土地使用权但主体相对明确的重大投资项目，激活“模拟审批”模式，采取“容缺预审”“并联审批”“多评合一”“多图联审”方式统筹办理。
“此外，我们还将全面落实省委、省政府‘营商环境提升年’工作部署，围绕‘审批时限最短、群众跑路最少、服务质量最优’目标，大力倡导‘店小二’服务精神，做细‘一站通办’品牌、做亮‘随时可办’品牌、做响‘随处可办’名牌。”市政务服务管理局相关负责人表示。不仅如此，眉山市还将以企业需求为导向，以企业满意为标准，全力推动眉山优化营商环境政策及促进“民营经济发展20条”“工业发展10条”措施落实落地，帮助民营企业破解融资、用地、用工、环保等问题。
“软环境”不断提升，企业有着直观的感受。“我们公司计划把在深圳的云电脑工厂整体搬迁过来，计划明年春节投产，因此用地和用工方面需求很急切。天府新区眉山管委会对我们公司的支持非常大，一方面帮助我们解决土地问题，一方面采用高校定向委培的方式为我们准备了充足的人力资源。”闵忠表示。
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城市品质提升 增强魅力眉山竞争力
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大美眉山，是一座生态宜居之城。11月15日，眉山被全国绿化委员会、国家林业和草原局正式授予“国家森林城市”称号。绿色正成为眉山的最美底色，生态环境是眉山最大的财富。
2012年起，实施“绿海明珠、千湖之城、百园之市”三大生态工程；2018年，提出建设全域公园城市……近年来，我市始终坚持生态优先、绿色发展理念不动摇，将生态环境保护纳入国民经济和社会发展大局来谋划，坚定不移地扛起生态文明建设和生态环境保护的大旗，加快建设天更蓝、地更绿、水更清的美丽眉山。“截至目前，全市现已累计投入资金约161.79亿元，建成各类公园144个，在建公园21个。预计到2030年，眉山全域将建设各类公园260多个。”市相关部门负责人表示。
生态越来越好、环境越来越美，更有实实在在的数据佐证：截至目前，全市森林面积530万亩，森林覆盖率49.49%；2018年，全市环境空气质量优良率78.1%；岷江干流眉山出境断面水质由2017年Ⅳ类改善为Ⅲ类……
不仅如此，我市还以创建全国文明城市、国家卫生城市为抓手，对垃圾乱扔、广告乱贴、摊位物品乱摆、车辆乱停、工地乱象等重点和顽症下猛药、出重拳，“文明火种”在眉州大地生根发芽：一个个老旧小区旧貌换新颜，一个个农贸市场越来越干净整洁，一条条城市道路更加井然有序……一点一滴的变化，正在深刻地改变着这座城市。
整洁的市容环境、精细的城市管理、优美的城市形象，不仅是一座城市靓丽的名片，更直接关系到城市的吸引力、竞争力和影响力。站在新起点，面向新未来。眉山正以崭新的面貌和开放的姿态，迎接更多投资者的到来。
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