【又一国产芯逆袭之门!特斯拉带飞,国内多位大佬谈碳化硅 如何跑得更快更远 - 原创 ZeR0 芯东西 2022-7-04 发表于北京】

碳化硅SiC的春天,终于来了!
“双碳”战略开启了新能源转换黄金时代,也开启了功率半导体发展的黄金时代。这一趋势下,拥有优越性能的碳化硅,正成为功率器件的宠儿。用碳化硅器件全面替代硅器件做能量转换,能极大提高能量转化效率,大概会降低75%以上的能量损耗。其经济效益毋庸置疑是巨大的。
这个被特斯拉带飞的第三代半导体材料,正迎来爆发式增长。国家政策也在大力扶持:“十四五”规划和二〇三五远景目标纲要,明确指出“支持碳化硅、氮化镓等宽禁带半导体发展”。
随着新能源汽车、人工智能、光伏风能发电、大数据、5G通信等一系列新应用领域的出现,以碳化硅为代表的第三代半导体正呈现蓬勃之势。
相比硅和砷化镓等半导体材料,在碳化硅等第三代半导体领域,我国与国际巨头之间的整体技术差距相对更小,更有希望实现换道超车,降低国际供应链的风险。
但与此同时,国内碳化硅产业链发展仍面临重重挑战,任重道远。当下国内碳化硅半导体的单晶材料、衬底、器件研发面临哪些核心痛点?接下来产业链发展还需怎样的助力?
在6月26日举行的“2022中国·南沙国际集成电路产业论坛”宽禁带半导体论坛上,山东大学晶体材料实验室、南砂晶圆创始人兼首席科学家徐现刚教授,广东芯粤能CTO相奇,中电化合物董事潘尧波,上海瞻芯电子CTO陈俭等专家发表主题演讲,分享了来自产业一线的观察和思考。

1. 碳化硅爆发式增长新能源汽车成主战场

碳化硅材料有半绝缘型和导电型两种衬底。半绝缘型主要应用于以5G通信、国防军工、航空航天为代表的射频领域;导电型主要用于制造功率器件,用在以新能源汽车、“新基建”为代表的电力电子领域,这也是当前碳化硅的主赛道。
第一个吃螃蟹的是马斯克的特斯拉。特斯拉Model 3率先将意法(ST)的碳化硅MOSFET功率模块应用到负责控制电动机的主逆变器中,证明了碳化硅技术足够成熟,并具有显著优势。
上海瞻芯电子CTO陈俭将“特斯拉的Model 3”类比“2007年的iPhone 4”,这是他决心离开做了21年的硅、转向碳化硅行业的原因。他回忆道,2014~2015年的碳化硅模块,据称已经将功率提高10%、体积缩小57%、重量降低40%,而现在比当时做得还要好。

新能源汽车的爆发,引发了一波碳化硅的“上车潮”。
特斯拉、保时捷、比亚迪汉、现代等纷纷在上碳化硅,碳化硅逐渐成为了高端汽车的标配;国内小鹏、蔚来、理想等造车新势力,都已推出或宣布推出碳化硅模块;宇通客车、上汽、北汽也在做这方面的筹备工作,而且商用车领域更容易导入一些新技术。
据法国知名行业咨询机构Yole预测,2022年车用碳化硅器件占比达68.8%,到2025年碳化硅功率器件的市场规模有望增至25.62亿美元,复合年增长率约30%。碳化硅之所以适合做功率器件,根由在于其材料性能。
碳化硅的禁带宽度是硅的3倍,热导率是硅的3倍,电子饱和速率是硅的2倍,最重要的是临界击穿电场是硅的8-10倍。因此,碳化硅器件有耐高温、低导通电阻、开关速度快、耐高压等特点,使得碳化硅系统更小、更轻、能效更高、驱动力更强。
广东芯粤能CTO相奇分享了一组预测数据,到2030年,中国大陆年度用电总量将超过10.5万亿度,如果用碳化硅器件全面替代硅器件做能量转换,那么每年可以节约上万亿度的电,这一数目,相当于10个三峡大坝的年发电总量。
到2030年,新能源车的销售量将增长9倍,光伏的装机量将增长5倍,碳化硅将大有用武之地。再加上缺货浪潮的助推,如今进口材料供货紧俏、一再延期,倘若国内碳化硅材料供应商发力赶上,这将为国产材料的导入打开一个突破口。

2. 8英寸时代到来但量产还要等三四年

碳化硅产业链覆盖从最上游的碳化硅粉,到晶锭、衬底、外延,再到晶圆,以及封装后的单管和模块,最后到交付应用。这种半导体材料的历史,最早可追溯至1885年,瑞典科学家发明了碳化硅生长装置,将核心原材料沙子和木炭加热到1500℃左右,通过导电,引发自蔓延反应,得到碳化硅单晶。但此前因材料技术和设备的限制,碳化硅长期没有发展起来。山东大学晶体材料实验室、南砂晶圆创始人兼首席科学家徐现刚教授介绍说,碳化硅单晶的研究可以分为三个阶段:第一阶段是90年代光电应用,碳化硅作为衬底,成功应用在光电领域;第二阶段是微波电子,我国做的已经不比国外差;第三阶段是功率电子应用,希望上下游通力合作,在这方面赶超国外。经过30多年的研发,国内碳化硅研究已具备一定条件,可以为器件研发提供衬底材料。
碳化硅衬底正不断向大尺寸方向发展,衬底尺寸越大,单位衬底可制造的芯片数量越多,单位芯片成本越低。目前业内主要量产产品集中在4英寸及6英寸,并演化向8英寸。国外在十年前突破了6英寸衬底技术,在“十三五”期间攻克了8英寸衬底技术。国际行业龙头科锐今年成功将8英寸衬底导入量产,全球首条8英寸晶圆工厂已经通线,很快就要建第二个8英寸碳化硅器件生产厂。在产业化方面,国内碳化硅企业已完成4-6英寸的升级。徐现刚教授谈道,目前国内已有8英寸碳化硅,与国际差距在2~3年之内,这个差距会越来越小。国内4英寸碳化硅晶体在2010年出现,从2017年4英寸导电衬底开始批量销售,中间间隔7年时间;国内6英寸批量销售是2019年,从研发开始也用了三四年。
中电化合物董事潘尧波判断,4寸的量会越来越少,6寸是当前主流,8寸是发展趋势,8英寸如果今年出来,按以往时间周期推演,需要等到2025年、2026年才能导入量产。
在他看来,“8英寸时代到来”还面临一些挑战,包括籽晶依赖于扩径、晶体良率、晶体质量、8英寸衬底加工、成本、生态等方面的问题,希望产业上下游紧密协同来解决问题。据他分析,根据中国电子材料协会统计数据,目前国内碳化硅规划投资300亿元,规划年产能200万片。2020年全国碳化硅产量约11万片,其中还包括很大一部分4英寸产量。规划的产能存在一定水分,规划的投资量偏大,实际落地的投资量有衰减,所以规划产能大于落地产能。从产能到产量,涉及到良率、成本、设备问题,据其统计,目前国内的长晶炉超过3000台,但实际供货量很少,今年6英寸的量大概率能超10万片,不过离需求情况还有很大的差距。汽车对材料有非常高的可靠性要求,这就引申到材料质量需要更高的要求,国内很多材料还在验证中,能满足车规级要求的占比不高。因此潘尧波判断,碳化硅材料,特别是车规级材料,会长期偏紧。他建议8英寸的扩展可以适当慢一点,如果材料供应不及却投了大量设备,这些产能则会空置,将导致产生很多投资的成本。

3.国内产业链面临的外忧与内患

目前碳化硅材料和功率器件都主要由海外企业垄断。器件方面,五家头部企业来自欧洲、日本、美国,合计市占率约90%;材料方面的垄断更加集中,Wolfspeed、Ⅱ-Ⅵ全面领先衬底市场,Wolfspeed和昭和电工两巨头几乎垄断外延片市场。国内碳化硅产业链则相对集中在长三角、京津冀和粤港澳大湾区。
相奇认为,国内碳化硅产业链面临着全面挑战:
1、碳化硅材料。
国内长晶技术和国际先进水平仍有距离,8英寸至少还需要2~3年才能追赶并突破,带动外延的发展。目前技术相对成熟,但设备还需要依赖于进口。
2、器件设计。
受限于制造工艺水平,材料优势没有被充分发挥,包括器件结构的优化创新,因为工艺能力的限制比较欠缺,生态也有待完善。
3、器件制造。
首先,衬底外延成本占比高,合资占比大概超过了50%;其次,器件良率受限于材料的缺陷及质量;其三,缺乏大规模的生产平台,过去碳化硅的规模相对较小,生产模式基本是实验室和小规模的小作坊模式;其四,专业设备还需要依赖于进口。
4、模组封装。
需找到更耐高温的封装材料,因为封装尺寸更小,散热及可靠性的要求更高。
5、汽车厂商。
问题是“缺芯”,尤其是“缺中国芯”。他总结道,国内碳化硅产业的强项是产业链较完整,弱项是现在成本还很高,尤其是在材料方面需要一些突破,其次是国产设备很少,专业设备还需依赖进口。我国的碳化硅产业链发展还需要平衡,才能与国外巨头进行竞争。

为什么碳化硅这么贵?
潘尧波解释说,碳化硅的成本很高,晶体存在质量、尺寸、厚度、良率、成本等痛点,且部分石墨依赖进口,供应紧张。碳化硅是硬脆材料,硬度仅次于金刚石,加工难度较大。
简单的衬底加工工序是从晶锭出来,做多线切割,做倒角,然后做研磨、CMP、清洗、检验,最后出货。其中切碳化硅,6英寸切一刀需要120小时左右,8英寸切一刀需要200小时左右,中间不能出任何差错,否则对切的质量会造成很大的影响。
相对于衬底,碳化硅外延技术门槛低一点,但也存在4个主要痛点:
1、进口外延设备交期长。
全球有4家进口主流供应商,国内主要采用的是3家,目前交期很长,有的甚至要60个月,即需五年时间。现在做碳化硅外延设备的有六七家,有的设备经过了批量销售,接下来国产化外延设备会进入产业主流。
2、外延的三个核心参数(缺陷、浓度、厚度)等检测设备依赖进口,交期长。目前国内缺陷领域有一家在demo过程中。
3、外延设备的单台产能低,每月仅300片左右,这个数量很低,可能会有新的设备和路线出来。
4、备件耗材寿命短,成本高。
外延过程经常要做保养,备件过程中会沉淀一些碳化硅颗粒,对碳化硅外延缺陷造成很大影响,所以备件耗材的生命比较短,一定程度上影响了碳化硅的产量。

在碳化硅器件方面,相奇分享了他观察到的一些趋势:
首先,沟槽MOSFET结构创新备受关注,已有多款沟槽器件产业化、商品化,且沟槽器件结构变化多端,创新空间变化也很大;
再者界面质量导致迁移率低,亟待技术突破,碳化硅器件的优势还没完全发挥出来,需利用新技术、新材料,提高界面质量和迁移率,提高可靠性。
除此之外,万伏千安智能电网需要超高压器件,所以超高压的MOSFET和超高压的IGBT也是器件研发的另一个方向。
有了大规模量产的平台、众多设计公司后,器件设计和制造生态系统则呼之欲出,从而提供一个桥梁,使得设计公司和量产平台能更好、更有效地合作。

4. “最根本的,是要做产业链的创新”

最后,陈俭分享了他看到的碳化硅产业潜力。
首先看定位。Yole数据显示,碳化硅从“三高”(高端、高频、高压)打入,慢慢蚕食硅IGBT市场。“我觉得这是「城市进入农村」的方式,做降维打击,成本做好,它是具有品牌效应的,这是势无可挡的应用。”陈俭说。
其次,上下游要协调好关系。下游车厂希望客户交货更快,现在有的周期要一年的时间,快则要6-7个月,太长了。
其三,价格要低,质量好,配合好。随叫随到是本土化优势,但质量还有待提高。上游会担心投资有没有希望、定价是否合理、付款方式好不好等问题。
至于上下游怎么协调?
陈俭认为,首先,下游需要明确的态度,要拓展应用,把市场做大,这是共赢之选;第二,上游要加大投资,给下游确保能供货且价格合理的信心;第三,有了技术,资金和人才才会加入。
在上游,现在SBD在充电桩领域的应用,市场不是红海了,是血海,卖的成本非常低,所以自己做器件、材料的厂商,要把碳化硅MOSFET的应用拓展起来。
只要有技术,碳化硅MOSFET做得好,市场还是很大的,SDB要区分于市场来做,价格要慢慢回归市场。技术进步需要时间,两三年之内很难做出很大的改善。
因此他们初步判断,大概在2024年前,衬底都是比较紧张的,外延则可能好一点,到2025年可能会缓解,但真正落实要到2026年,市场也可能会比预想得快,到时候又有一轮紧张。
在陈俭看来,最根本的,是要做产业链的创新,包括衬底技术、外延技术、Fab工艺、封装、碳化硅专用设备以及应用端的创新。
此外,他认为还需对创新者予以保护。首先做好专利布局;其次实现利益共享,定价机制要合理;第三,创新方要换位思考,要引入资金和推动标准建立;第四,尊重知识产权,抵制反授权,从法律层面保护创新者;第五,建立像IMEC一样的第三方合作开发平台。

5. 结语:碳化硅春天已至国产供应链迎新机遇

陈俭认为:碳化硅的春天来了,当前第三代半导体的碳化硅和氮化镓则比较火热,成长速度远超硅基功率器件。但还有很多挑战,要上下游共同共勉,以创新制胜,知识产权也要保驾护航。
徐现刚教授看来,碳化硅取得了新机遇,这么重要的材料,要降低国际供应链的风险性,对于进入国产和试用是非常好的机遇。
潘尧波亦判断:碳化硅产业处于成长期,在光伏、LED、硅产业等产业,新玩家会不断涌入,新技术会不断出现,这将给后来企业很多新机会。

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今天分享一组适合新手入门的自重训练,在家也能消耗多余脂肪,强化身体肌群,让身材慢慢瘦下来。

动作一:开合跳 30-45秒,重复2组
双手握住在身前,然后交替开合双腿,手臂跟随着摆动起来,动作坚持30秒以上。

动作二:简化波比跳 坚持15次,重复4组
站立状态,慢慢下蹲,然后双手撑地,双腿向后,呈现俯卧支撑状态,然后再收回双腿,恢复站姿,然后向上跳跃。

动作三:交替侧弓步 坚持15次,重复4组
保持身体平衡,下蹲的时候膝盖不要超过脚尖,可以锻炼大腿内侧肌群,左右各进行一次为一组。

动作四:转体深蹲跳 坚持15次,重复4组
深蹲结合转体跳的动作,收紧腹部肌群,下蹲的时候膝盖不要内扣,站立的时候转体,可以提升下肢爆发力。

动作五、高抬腿 坚持30秒,重复4组
挺直腰背,目视前方,尽可能的高抬双腿,可以刺激腹部肌群,消耗腰臀腿脂肪。

动作六、跪姿俯卧撑 坚持15次,重复4组
手掌位于胸侧的位置,大臂跟身体夹角为45-60度左右,上腿跪姿交叉进行训练。

动作七、交替平板支撑 坚持30秒,重复4组
动作要保持在一条直线上,不要撅屁股。

【泉州:海丝名城 环湾向海】以产业经济著称的泉州,对于品质的追求从不曾停歇。

党的十八大以来,泉州市传承弘扬“晋江经验”,认真处理好工业化和城市化的关系,坚持“强产业、兴城市”双轮驱动,聚力推进城市环湾向湾集聚发展,奋力建设居者自豪、来者依恋、闻者向往的“海丝名城、智造强市、品质泉州”。

十年间,随着GDP从4814亿元增加到11304亿元,跻身万亿GDP城市行列,品质泉州建设亦驶入“快车道”。十年来,泉州市坚持将超七成五的财力投入民生,突出“惠民生补短板”,开展“四心工程”“民生XIN行动”,致力建设宜居宜业美好家园。

新城崛起 宜居宜业

泉州县域经济发达,特别是环泉州湾的晋江、石狮、南安、惠安等县市都是全国百强县,经过多年发展,“一湾两翼三带”的环泉州湾城市一体化几近成型。

环湾向海,是泉州的城市未来。泉州环湾中心的东海片区,如今已是泉州的新行政中心。从地处郊区的荒凉渔港,到如今的泉州城市中心,东海片区在本世纪初用了10年完成了繁华蜕变。

在产业加快转型升级的近10年,东海片区正在“聚湾强心”加速生长。2022年,丰泽区将繁荣发展中央商务区作为“1号工程”,成立指挥部,大力实施“五大工程”——高端产业集聚工程、生活商业配套工程、教育医疗扩容工程、文旅氛围营造工程、社区服务拓展工程,提升商气、人气、烟火气。

“我们去年12月份正式入驻,中央商务区提供了包括人才政策、十九条政策、房租优惠等支持。”首批入驻泉州丝路法务区中心园的仰格律师事务所的运营总监黄丹芳说,城市形象面貌的更新,让更多年轻人更愿意选择到泉州安居乐业,这是她这一两年招聘时的突出感受。

据介绍,泉州中央商务区以打造法律服务高地和服务产业标杆为目标,建成了泉州首个法务共享平台——泉州丝路法务区中心园。目前已吸引了10余家来自北上广深的顶尖法律服务机构入驻。在这里,可以实现法律服务“一站式”解决,更好地服务赋能企业转型升级。

“仅今年上半年,中央商务区就有新注册企业116家、增长36%,税收增长30%,新进驻白领办公1000多人。”丰泽区委副书记林清伏说,泉州中央商务区定位为“省内领先、国内一流”,目标是建成泉州乃至全省的高端服务业聚集区,服务产业转型升级和消费升级。目前,已引入泉州银行、农商行、农发行等市级银行和超过20家的金融机构,泉州市行政服务中心、泉州公共文化中心年接待人流量超200万人次。

中央商务区的崛起,是泉州抓城建提品质的一个缩影。十年来,泉州坚持集聚发展,致力建设宜居宜业美好家园。按照“一湾两翼三带”总体空间布局,突出“强湾聚心”,全面提升城市能级中心市区支撑力、带动力、辐射力,梯次实施城建项目5000多个,完成投资4600多亿元,城市建成区面积从161.5平方公里拓展至240平方公里,城镇化率从59.5%提高到69.1%。

环绕蓝蓝泉州湾畔,“四朵花瓣”、晋江第二体育中心、滨江“水线”公园等新地标投用,一座座总部区大厦和商务办公楼在东海片区拔地而起……成长中的新城,产业社区活力待发,城市颜值不断刷新。

活态保护 古城提质

新城集聚成长,古城提质活化。去年7月25日,“泉州:宋元中国的世界海洋商贸中心”成功列入《世界遗产名录》,成为泉州的高光时刻。

泉州拥有5个世界级、36个国家级“非遗”名录,全国重点文物保护单位44处,位居全省第一、全国前列,是首批国家级文化生态保护区。“我们坚持传承发展,致力擦亮古城活态保护品牌。”泉州市住建局局长张志铭说。十年来,泉州市对22处行政建筑、雕像遗址和宗教建筑等遗产点进行综合整治提升,助力成功申遗。对古城“一轴三片”154条街巷,采用微更新、微扰动的方式,分批进行综合提升,努力把6.41平方公里的泉州古城打造成为留人留形留乡愁、见人见物见生活的“活样本”。

金鱼巷、中山路等项目修故如故,再现“古早味”,被住建部评为全国历史文化保护与传承街区示范案例。共传承保护历史文化街区8处、历史文化名镇名村21个、传统村落108个、历史建筑1589处,古城泉州的“烟火气”在全市人民共同推动下,显得格外动人、美好。

申遗成功一年来,泉州活态呈现的世界遗产、城市文脉、乡愁记忆吸引了众多文化名人、影视明星频频“打卡”,这座新晋世遗之城的“流量密码”被进一步激活。不断“出圈”的泉州,也吸引了越来越多年轻人的关注。

泉州古城保留下的独特格局和烟火之气,不仅得到完整保护,还在慢慢地发生蜕变。闽南骑楼、红砖古厝、300多条巷子、千年石构杰作东西塔、生生不息的信俗,以及年轻人来这里开的各种好玩的文创小店,将历史与时代有机融合,创造着属于自己的生活节奏,成为当代年轻人想要的生活质感。近日,中国社会科学院社会学研究所青少年与教育社会学研究室课题组、小红书、DT财经联合发布《蹲个城市——年轻人选择城市新需求洞察报告》,“2022年热门宜居城市TOP20”出炉,泉州排名第16,成为全国年轻人的理想城市之一。

泉州,这座爱拼敢赢的城市,品质建设也在悄然逆袭。十年间,环湾战略下,泉州新城崛起新生;入列世遗后,泉州古城活化提质。一座兼具古典与现代的城市焕发气蕴,频频“出圈”,成为年轻人心中的“理想之城”。https://t.cn/A6Sws0u6


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