【应材推出全新Ioniq™ PVD系统助力解决二维微缩下布线电阻难题 】应用材料公司宣布推出一种全新系统,可改进晶体管布线沉积工艺,从而大幅降低电阻,突破了芯片在性能提升和功率降低两方面所面临的重大瓶颈。Endura® Ioniq™ PVD系统是应用材料公司在解决二维微缩布线电阻难题方面所取得的最新突破。Ioniq系统是一种集成材料解决方案™(IMS™),可将表面制备、PVD和CVD工艺同时集中到同一个高真空系统中
芯片制造商正在利用光刻领域的先进技术将芯片制程缩小至3纳米及以下节点。但随着互连线变细,电阻呈现指数级上升,这不仅降低了芯片性能,还增大了功耗。如果该问题无法得到解决,更为先进的晶体管带来的益处将被指数级上升的布线电阻完全抵消。
芯片布线一般指沉积金属在介电材料上被刻蚀出的沟槽和通孔内的过程。在传统工艺中,布线沉积使用的金属叠层通常由以下几部分构成:阻挡层用于防止金属与介电材料扩散;衬垫层用于提升粘附力;种子层用于促进金属填充;以及导电金属,例如钨或钴用于晶体管触点,铜用于互连线。因为阻挡层和衬垫层很难微缩,所以当沟槽和通孔尺寸减小时,可用于导电材料的空间比例随之降低——互连线越小,电阻越高。
Ioniq PVD system是一种集成材料解决方案™(IMS™),可将表面制备、PVD和CVD工艺同时集中到同一个高真空系统中。Ioniq PVD给芯片制造商提供了用低阻值的纯钨PVD膜取代高阻值的氮化钛衬垫层和阻挡层的方案,配合后续的纯钨CVD膜制成纯钨的金属触点。该方案解决了电阻难题,让二维微缩得以继续作用于3纳米及以下节点。#张国斌的芯观察#
芯片制造商正在利用光刻领域的先进技术将芯片制程缩小至3纳米及以下节点。但随着互连线变细,电阻呈现指数级上升,这不仅降低了芯片性能,还增大了功耗。如果该问题无法得到解决,更为先进的晶体管带来的益处将被指数级上升的布线电阻完全抵消。
芯片布线一般指沉积金属在介电材料上被刻蚀出的沟槽和通孔内的过程。在传统工艺中,布线沉积使用的金属叠层通常由以下几部分构成:阻挡层用于防止金属与介电材料扩散;衬垫层用于提升粘附力;种子层用于促进金属填充;以及导电金属,例如钨或钴用于晶体管触点,铜用于互连线。因为阻挡层和衬垫层很难微缩,所以当沟槽和通孔尺寸减小时,可用于导电材料的空间比例随之降低——互连线越小,电阻越高。
Ioniq PVD system是一种集成材料解决方案™(IMS™),可将表面制备、PVD和CVD工艺同时集中到同一个高真空系统中。Ioniq PVD给芯片制造商提供了用低阻值的纯钨PVD膜取代高阻值的氮化钛衬垫层和阻挡层的方案,配合后续的纯钨CVD膜制成纯钨的金属触点。该方案解决了电阻难题,让二维微缩得以继续作用于3纳米及以下节点。#张国斌的芯观察#
家居门窗选购的三大技巧你知道吗?
天气变化无常,雨季即将进入一个高潮阶段,暴雨频频来袭,家居门窗都会迎来一场大考验,门窗的密闭性、防水性和牢固性成为大家受关注的点,因此选购门窗要仔细。#断桥铝合金门窗##门窗十大品牌#
以下今天小尼给大家分享家居门窗选购的三大技巧:
防风性能耐冲击
防风性能是门窗的重要特点,特别是高层住宅的窗户防风性更是重要。其实防风性主要是看门窗的型材,铝钛合金门窗强度刚性等指标都很好,面对暴雨强风袭击,能为家居遮风挡雨。
水密性能预防漏水
水密性是挑选门窗的一个重要功课,良好的水密性让门窗面对暴雨来袭时,有效阻挡室外雨水进入,让室内保持干爽。一般水密性好的门窗玻璃都带有中空玻璃,即在基层玻璃之间装入中空玻璃,并装入能够吸收水汽的干燥剂,避免水汽进入。
隐藏式排水系统设计排水孔,排水畅通,水密性好,将雨水完全隔绝于室外。
气密性能防风沙
门窗的气密性也就是密闭性能,断桥保温窗是密闭性较好的一种,采用双层甚至三层的真空Lpw-E玻璃,加上密封胶条,门窗既保暖又防风。
不管是忽如其来的狂风暴雨还是连续不断的毛毛细雨,高品质门窗拥有极致的密封防水性能,无惧风雨来袭。今天就到这,我们下期见!
天气变化无常,雨季即将进入一个高潮阶段,暴雨频频来袭,家居门窗都会迎来一场大考验,门窗的密闭性、防水性和牢固性成为大家受关注的点,因此选购门窗要仔细。#断桥铝合金门窗##门窗十大品牌#
以下今天小尼给大家分享家居门窗选购的三大技巧:
防风性能耐冲击
防风性能是门窗的重要特点,特别是高层住宅的窗户防风性更是重要。其实防风性主要是看门窗的型材,铝钛合金门窗强度刚性等指标都很好,面对暴雨强风袭击,能为家居遮风挡雨。
水密性能预防漏水
水密性是挑选门窗的一个重要功课,良好的水密性让门窗面对暴雨来袭时,有效阻挡室外雨水进入,让室内保持干爽。一般水密性好的门窗玻璃都带有中空玻璃,即在基层玻璃之间装入中空玻璃,并装入能够吸收水汽的干燥剂,避免水汽进入。
隐藏式排水系统设计排水孔,排水畅通,水密性好,将雨水完全隔绝于室外。
气密性能防风沙
门窗的气密性也就是密闭性能,断桥保温窗是密闭性较好的一种,采用双层甚至三层的真空Lpw-E玻璃,加上密封胶条,门窗既保暖又防风。
不管是忽如其来的狂风暴雨还是连续不断的毛毛细雨,高品质门窗拥有极致的密封防水性能,无惧风雨来袭。今天就到这,我们下期见!
江苏省埃迪机电设备实业有限公司由原南京仪器仪表研究所改制而成,专注金属波纹管研究30余年,主要从事敏感类波纹管、普通波纹管的应用研究和生产工艺研究,成功研发出了传感器波纹管、真空系统波纹管、真空灭弧室波纹管、高中低压充气柜波纹管、各类阀门用波纹管、泵用波纹管、联轴器用波纹管、航空用波纹管、高铁用波纹管、核电站用波纹管、医疗设备用波纹管、制药设备用波纹管、太阳能用波纹管、耐高温波纹管、耐腐蚀波纹管、超柔管波纹管、大位移波纹管等各类非标波纹管,并且在各行业得到了广泛应用,为我国的精密波纹管事业贡献了一份力量。 https://t.cn/RcbMKRV
✋热门推荐