【又一国产芯逆袭之门!特斯拉带飞,国内多位大佬谈碳化硅 如何跑得更快更远 - 原创 ZeR0 芯东西 2022-7-04 发表于北京】

碳化硅SiC的春天,终于来了!
“双碳”战略开启了新能源转换黄金时代,也开启了功率半导体发展的黄金时代。这一趋势下,拥有优越性能的碳化硅,正成为功率器件的宠儿。用碳化硅器件全面替代硅器件做能量转换,能极大提高能量转化效率,大概会降低75%以上的能量损耗。其经济效益毋庸置疑是巨大的。
这个被特斯拉带飞的第三代半导体材料,正迎来爆发式增长。国家政策也在大力扶持:“十四五”规划和二〇三五远景目标纲要,明确指出“支持碳化硅、氮化镓等宽禁带半导体发展”。
随着新能源汽车、人工智能、光伏风能发电、大数据、5G通信等一系列新应用领域的出现,以碳化硅为代表的第三代半导体正呈现蓬勃之势。
相比硅和砷化镓等半导体材料,在碳化硅等第三代半导体领域,我国与国际巨头之间的整体技术差距相对更小,更有希望实现换道超车,降低国际供应链的风险。
但与此同时,国内碳化硅产业链发展仍面临重重挑战,任重道远。当下国内碳化硅半导体的单晶材料、衬底、器件研发面临哪些核心痛点?接下来产业链发展还需怎样的助力?
在6月26日举行的“2022中国·南沙国际集成电路产业论坛”宽禁带半导体论坛上,山东大学晶体材料实验室、南砂晶圆创始人兼首席科学家徐现刚教授,广东芯粤能CTO相奇,中电化合物董事潘尧波,上海瞻芯电子CTO陈俭等专家发表主题演讲,分享了来自产业一线的观察和思考。

1. 碳化硅爆发式增长新能源汽车成主战场

碳化硅材料有半绝缘型和导电型两种衬底。半绝缘型主要应用于以5G通信、国防军工、航空航天为代表的射频领域;导电型主要用于制造功率器件,用在以新能源汽车、“新基建”为代表的电力电子领域,这也是当前碳化硅的主赛道。
第一个吃螃蟹的是马斯克的特斯拉。特斯拉Model 3率先将意法(ST)的碳化硅MOSFET功率模块应用到负责控制电动机的主逆变器中,证明了碳化硅技术足够成熟,并具有显著优势。
上海瞻芯电子CTO陈俭将“特斯拉的Model 3”类比“2007年的iPhone 4”,这是他决心离开做了21年的硅、转向碳化硅行业的原因。他回忆道,2014~2015年的碳化硅模块,据称已经将功率提高10%、体积缩小57%、重量降低40%,而现在比当时做得还要好。

新能源汽车的爆发,引发了一波碳化硅的“上车潮”。
特斯拉、保时捷、比亚迪汉、现代等纷纷在上碳化硅,碳化硅逐渐成为了高端汽车的标配;国内小鹏、蔚来、理想等造车新势力,都已推出或宣布推出碳化硅模块;宇通客车、上汽、北汽也在做这方面的筹备工作,而且商用车领域更容易导入一些新技术。
据法国知名行业咨询机构Yole预测,2022年车用碳化硅器件占比达68.8%,到2025年碳化硅功率器件的市场规模有望增至25.62亿美元,复合年增长率约30%。碳化硅之所以适合做功率器件,根由在于其材料性能。
碳化硅的禁带宽度是硅的3倍,热导率是硅的3倍,电子饱和速率是硅的2倍,最重要的是临界击穿电场是硅的8-10倍。因此,碳化硅器件有耐高温、低导通电阻、开关速度快、耐高压等特点,使得碳化硅系统更小、更轻、能效更高、驱动力更强。
广东芯粤能CTO相奇分享了一组预测数据,到2030年,中国大陆年度用电总量将超过10.5万亿度,如果用碳化硅器件全面替代硅器件做能量转换,那么每年可以节约上万亿度的电,这一数目,相当于10个三峡大坝的年发电总量。
到2030年,新能源车的销售量将增长9倍,光伏的装机量将增长5倍,碳化硅将大有用武之地。再加上缺货浪潮的助推,如今进口材料供货紧俏、一再延期,倘若国内碳化硅材料供应商发力赶上,这将为国产材料的导入打开一个突破口。

2. 8英寸时代到来但量产还要等三四年

碳化硅产业链覆盖从最上游的碳化硅粉,到晶锭、衬底、外延,再到晶圆,以及封装后的单管和模块,最后到交付应用。这种半导体材料的历史,最早可追溯至1885年,瑞典科学家发明了碳化硅生长装置,将核心原材料沙子和木炭加热到1500℃左右,通过导电,引发自蔓延反应,得到碳化硅单晶。但此前因材料技术和设备的限制,碳化硅长期没有发展起来。山东大学晶体材料实验室、南砂晶圆创始人兼首席科学家徐现刚教授介绍说,碳化硅单晶的研究可以分为三个阶段:第一阶段是90年代光电应用,碳化硅作为衬底,成功应用在光电领域;第二阶段是微波电子,我国做的已经不比国外差;第三阶段是功率电子应用,希望上下游通力合作,在这方面赶超国外。经过30多年的研发,国内碳化硅研究已具备一定条件,可以为器件研发提供衬底材料。
碳化硅衬底正不断向大尺寸方向发展,衬底尺寸越大,单位衬底可制造的芯片数量越多,单位芯片成本越低。目前业内主要量产产品集中在4英寸及6英寸,并演化向8英寸。国外在十年前突破了6英寸衬底技术,在“十三五”期间攻克了8英寸衬底技术。国际行业龙头科锐今年成功将8英寸衬底导入量产,全球首条8英寸晶圆工厂已经通线,很快就要建第二个8英寸碳化硅器件生产厂。在产业化方面,国内碳化硅企业已完成4-6英寸的升级。徐现刚教授谈道,目前国内已有8英寸碳化硅,与国际差距在2~3年之内,这个差距会越来越小。国内4英寸碳化硅晶体在2010年出现,从2017年4英寸导电衬底开始批量销售,中间间隔7年时间;国内6英寸批量销售是2019年,从研发开始也用了三四年。
中电化合物董事潘尧波判断,4寸的量会越来越少,6寸是当前主流,8寸是发展趋势,8英寸如果今年出来,按以往时间周期推演,需要等到2025年、2026年才能导入量产。
在他看来,“8英寸时代到来”还面临一些挑战,包括籽晶依赖于扩径、晶体良率、晶体质量、8英寸衬底加工、成本、生态等方面的问题,希望产业上下游紧密协同来解决问题。据他分析,根据中国电子材料协会统计数据,目前国内碳化硅规划投资300亿元,规划年产能200万片。2020年全国碳化硅产量约11万片,其中还包括很大一部分4英寸产量。规划的产能存在一定水分,规划的投资量偏大,实际落地的投资量有衰减,所以规划产能大于落地产能。从产能到产量,涉及到良率、成本、设备问题,据其统计,目前国内的长晶炉超过3000台,但实际供货量很少,今年6英寸的量大概率能超10万片,不过离需求情况还有很大的差距。汽车对材料有非常高的可靠性要求,这就引申到材料质量需要更高的要求,国内很多材料还在验证中,能满足车规级要求的占比不高。因此潘尧波判断,碳化硅材料,特别是车规级材料,会长期偏紧。他建议8英寸的扩展可以适当慢一点,如果材料供应不及却投了大量设备,这些产能则会空置,将导致产生很多投资的成本。

3.国内产业链面临的外忧与内患

目前碳化硅材料和功率器件都主要由海外企业垄断。器件方面,五家头部企业来自欧洲、日本、美国,合计市占率约90%;材料方面的垄断更加集中,Wolfspeed、Ⅱ-Ⅵ全面领先衬底市场,Wolfspeed和昭和电工两巨头几乎垄断外延片市场。国内碳化硅产业链则相对集中在长三角、京津冀和粤港澳大湾区。
相奇认为,国内碳化硅产业链面临着全面挑战:
1、碳化硅材料。
国内长晶技术和国际先进水平仍有距离,8英寸至少还需要2~3年才能追赶并突破,带动外延的发展。目前技术相对成熟,但设备还需要依赖于进口。
2、器件设计。
受限于制造工艺水平,材料优势没有被充分发挥,包括器件结构的优化创新,因为工艺能力的限制比较欠缺,生态也有待完善。
3、器件制造。
首先,衬底外延成本占比高,合资占比大概超过了50%;其次,器件良率受限于材料的缺陷及质量;其三,缺乏大规模的生产平台,过去碳化硅的规模相对较小,生产模式基本是实验室和小规模的小作坊模式;其四,专业设备还需要依赖于进口。
4、模组封装。
需找到更耐高温的封装材料,因为封装尺寸更小,散热及可靠性的要求更高。
5、汽车厂商。
问题是“缺芯”,尤其是“缺中国芯”。他总结道,国内碳化硅产业的强项是产业链较完整,弱项是现在成本还很高,尤其是在材料方面需要一些突破,其次是国产设备很少,专业设备还需依赖进口。我国的碳化硅产业链发展还需要平衡,才能与国外巨头进行竞争。

为什么碳化硅这么贵?
潘尧波解释说,碳化硅的成本很高,晶体存在质量、尺寸、厚度、良率、成本等痛点,且部分石墨依赖进口,供应紧张。碳化硅是硬脆材料,硬度仅次于金刚石,加工难度较大。
简单的衬底加工工序是从晶锭出来,做多线切割,做倒角,然后做研磨、CMP、清洗、检验,最后出货。其中切碳化硅,6英寸切一刀需要120小时左右,8英寸切一刀需要200小时左右,中间不能出任何差错,否则对切的质量会造成很大的影响。
相对于衬底,碳化硅外延技术门槛低一点,但也存在4个主要痛点:
1、进口外延设备交期长。
全球有4家进口主流供应商,国内主要采用的是3家,目前交期很长,有的甚至要60个月,即需五年时间。现在做碳化硅外延设备的有六七家,有的设备经过了批量销售,接下来国产化外延设备会进入产业主流。
2、外延的三个核心参数(缺陷、浓度、厚度)等检测设备依赖进口,交期长。目前国内缺陷领域有一家在demo过程中。
3、外延设备的单台产能低,每月仅300片左右,这个数量很低,可能会有新的设备和路线出来。
4、备件耗材寿命短,成本高。
外延过程经常要做保养,备件过程中会沉淀一些碳化硅颗粒,对碳化硅外延缺陷造成很大影响,所以备件耗材的生命比较短,一定程度上影响了碳化硅的产量。

在碳化硅器件方面,相奇分享了他观察到的一些趋势:
首先,沟槽MOSFET结构创新备受关注,已有多款沟槽器件产业化、商品化,且沟槽器件结构变化多端,创新空间变化也很大;
再者界面质量导致迁移率低,亟待技术突破,碳化硅器件的优势还没完全发挥出来,需利用新技术、新材料,提高界面质量和迁移率,提高可靠性。
除此之外,万伏千安智能电网需要超高压器件,所以超高压的MOSFET和超高压的IGBT也是器件研发的另一个方向。
有了大规模量产的平台、众多设计公司后,器件设计和制造生态系统则呼之欲出,从而提供一个桥梁,使得设计公司和量产平台能更好、更有效地合作。

4. “最根本的,是要做产业链的创新”

最后,陈俭分享了他看到的碳化硅产业潜力。
首先看定位。Yole数据显示,碳化硅从“三高”(高端、高频、高压)打入,慢慢蚕食硅IGBT市场。“我觉得这是「城市进入农村」的方式,做降维打击,成本做好,它是具有品牌效应的,这是势无可挡的应用。”陈俭说。
其次,上下游要协调好关系。下游车厂希望客户交货更快,现在有的周期要一年的时间,快则要6-7个月,太长了。
其三,价格要低,质量好,配合好。随叫随到是本土化优势,但质量还有待提高。上游会担心投资有没有希望、定价是否合理、付款方式好不好等问题。
至于上下游怎么协调?
陈俭认为,首先,下游需要明确的态度,要拓展应用,把市场做大,这是共赢之选;第二,上游要加大投资,给下游确保能供货且价格合理的信心;第三,有了技术,资金和人才才会加入。
在上游,现在SBD在充电桩领域的应用,市场不是红海了,是血海,卖的成本非常低,所以自己做器件、材料的厂商,要把碳化硅MOSFET的应用拓展起来。
只要有技术,碳化硅MOSFET做得好,市场还是很大的,SDB要区分于市场来做,价格要慢慢回归市场。技术进步需要时间,两三年之内很难做出很大的改善。
因此他们初步判断,大概在2024年前,衬底都是比较紧张的,外延则可能好一点,到2025年可能会缓解,但真正落实要到2026年,市场也可能会比预想得快,到时候又有一轮紧张。
在陈俭看来,最根本的,是要做产业链的创新,包括衬底技术、外延技术、Fab工艺、封装、碳化硅专用设备以及应用端的创新。
此外,他认为还需对创新者予以保护。首先做好专利布局;其次实现利益共享,定价机制要合理;第三,创新方要换位思考,要引入资金和推动标准建立;第四,尊重知识产权,抵制反授权,从法律层面保护创新者;第五,建立像IMEC一样的第三方合作开发平台。

5. 结语:碳化硅春天已至国产供应链迎新机遇

陈俭认为:碳化硅的春天来了,当前第三代半导体的碳化硅和氮化镓则比较火热,成长速度远超硅基功率器件。但还有很多挑战,要上下游共同共勉,以创新制胜,知识产权也要保驾护航。
徐现刚教授看来,碳化硅取得了新机遇,这么重要的材料,要降低国际供应链的风险性,对于进入国产和试用是非常好的机遇。
潘尧波亦判断:碳化硅产业处于成长期,在光伏、LED、硅产业等产业,新玩家会不断涌入,新技术会不断出现,这将给后来企业很多新机会。

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#三晋法援基层行# 【忻州暖民心护民权把法律援助落到实处】烈日炎炎,当百花都被炙烤得萎靡不振时,忻州市定襄县曾经的一片盐碱滩里却别开生面,铺天盖地的莲叶晕染着盎然绿意,欣然怒放的白莲展现出一派昂扬斗志。

青莲不染发奇香,白璧无瑕称至宝。日前,“三晋法援基层行”采访团返程时偶遇此景,不禁联想到忻州的法律援助工作——不惧烈日、勇于开拓、迎难而上,这是秀容(忻州别称)大地法援工作给大家留下的深刻印象。

法援路上,忻州一直蹄疾步稳。1996年10月,忻州市法律援助中心成立,成为当时全国首家地市级法律援助中心。今年1月1日起,法律援助法正式在我国施行,忻州再接再厉、稳中求进、全力以赴把法援这项暖民心护民权的重要民生工程落到实处。

雪中送炭解难题

“等我拿到执行款后,第一件事就是给法援工作者送锦旗。”谈及法律援助,农民工王先生的感激之情溢于言表。在定襄县法律援助中心工作人员的全力帮助下,王先生和其余5名工友被拖欠许久的工资终于有了着落。

农民工工资的及时发放,一头连着小家的吃喝用度,一头连着社会的和谐稳定。近两年来,定襄县法律援助中心共解决6起农民工讨薪案件,为农民工送去了满满的安全感。

受助农民工的口口相传,让定襄县的法援工作深入人心。2021年10月,定襄县司法局接到线上指派,称北西力村有18户村民被拖欠玉米款49000元。了解情况后,局长冀晋君立马带领辖区晋昌司法所工作人员进村展开法律援助。经过与当事双方的耐心沟通、调解,最终达成“首期立即支付30%,剩余款项分2-3年还清”的协议,让18户村民当即拿到14830元的欠款。“为维护自己的合法权益,我们几经波折,四处求助,没想到法律援助的工作人员一来,所有问题都迎刃而解了。”拿到玉米款的村民乐呵呵地说道。

除了帮受助群众及时拿回大家主张的费用外,法援工作者还经常为他们送去“意外之喜”。

年过6旬的郭女士因交通事故致残,法律意识淡薄的她本以为自己只能拿到7万余元的赔偿款,没想到在忻府区新建路法律服务所的帮助下,最后竟拿到了21万元。“我们对群众权益的维护不仅限于群众所需,而是要做到法律所需。”忻府区法律援助中心的工作人员告诉记者,“除了交通事故的赔偿款经常有浮动外,一些劳务纠纷也有,今年办理的一起案件里,我们不仅帮受助人要回了被拖欠的加班费,还帮他依法拿回了入职时的保证金和解除劳动关系的补偿金。”

法律援助,如黑夜里的一束光,为深陷困难、迷惘无助的群众照亮了前行的路。今年以来,忻州全市各县(市、区)共组建专业法律服务团队222人,解答免费法律咨询14562人次,受理特殊群体法律援助案件162件,办结124件,让每一名受助群众真正感受到了雪中送炭的温暖,也感受到了法援工作的真情。

砥柱中流挑大梁

2016年获得“第五届全国法律援助先进集体”荣誉称号,2018年获得“全省司法行政系统先进集体”荣誉称号,2022年获得“山西省工人先锋号”荣誉称号……近年来,忻州市法律援助中心可谓硕果累累。

然而,成事在天,谋事在人。忻州市法援工作的顺利推进,自然离不开那些默默耕耘在法援岗位上的工作者。

梁志良是定襄县唯一的一名法援律师,年仅52岁的他早已两鬓斑白,不是他不会保养,而是10年的法援工作让他操碎了心。“梁律师经常为了案子废寝忘食,还时不时自己贴车贴话费陪我们处理案件。”一名受助人激动地说,他的眼里满含着感动与感激。

本来能做一名年薪几十万的律师,梁志良却选择扎根在朴实的法援岗位上,兢兢业业、任劳任怨,用自己的青春维护受助人的合法权益。“看见那些手足无措的老人、妇女、儿童、农民工……我就觉得不管多难都得帮帮他们。”梁志良说,“我要用自己的努力,让大家真正感受到法律援助不光是在书中,而是踏踏实实地融入到了群众的身边。”

除了梁志良这样的“老律师”外,还有许许多多的年轻律师涌入了法律援助的大潮中。

“这些年轻律师,有热情,有干劲,有对困难群众的同理心。”提及法援中的新鲜血液,忻州区人民检察院的工作人员感慨道。

张宁是今年1月起才开始在忻府区法律援助中心值班的年轻律师,截至目前,他承办的法律援助案件虽然不多,但接受的群众咨询却很多。有时候忙起来,连水都顾不上喝一口,但他却丝毫不觉得这是一件苦差事。“帮群众答疑解惑,解决大家的燃眉之急,是法律援助工作者不断前进的动力,同时,也让我很有成就感。”张宁说。

目前,忻州市14个县级、163个乡级公共法律服务实体平台已全部建成,人口密集地村级公共法律服务工作室已建成2448个,形成了覆盖城乡、功能完备、便捷高效的公共法律服务网络体系。在这一个个网格中,一名名法律援助工作者竭诚尽职、呕心沥血,用铁肩担起了落实落细法律援助工作的重担,而支撑他们前进的,除了心中不灭的责任感外,或许就是群众的那一声声真挚的道谢。

多管齐下抓法援

天下之事,不难于立法,而难于法之必行。为了切实维护困难群体的合法权益,全面提升办案质量,深化便民服务,确保法律援助法在实际工作中生根发芽、开花结果,忻州市各级法律援助机构凝心聚力、多措并举,用心用力为群众绘就法援温暖底色。

“做好法援工作,宣传必不可少,近年来,我市在提高法律援助社会知晓率上也是狠下功夫。”忻州市司法局副局长李国华介绍道,“比如,采取线上线下相结合的方式,通过法律援助志愿者团队,面向各村(社区)地毯式宣传法律援助法,并利用法律援助法主题宣传月以及其他重要时间节点,统一安排部署‘情暖三晋、关爱残疾人’‘法援惠民生,关爱妇女、未成年人’等主题宣传和法律援助志愿服务活动。同时,创新法援宣传新模式,利用线上多种宣传渠道,扩大法律援助影响力。”

宣传是为法律援助插上翅膀,而真正让群众感受法援力量的却是实实在在的案件办理。为了杜绝“纸上谈兵”,忻州市各级法援中心积极实施免费法律咨询和特殊群体法律援助惠民工程。在全市14个县(市、区)公共法律服务中心里,群众在每个工作日里都能找到认真值班的法援工作者,而特殊群体更是在全年都能获得无偿的民事、刑事诉讼代理和刑事辩护。“在法律服务中心,我们得到了优质、高效、便捷的免费法律咨询,之前宣传的法律援助果然靠谱。”一名刚结束咨询的群众笑着说。

“案子不仅要办,更要办好”这是忻州对法援工作坚定不移的态度。为了确保每个法援案件的质量,忻州市法律援助中心不断加强法援工作者的业务培训,同时,建立法律援助案件质量监管体系,对庭审旁听、案件回访、结案审核、案件归档等环节进行全程监督,不断规范办案细节,保障受助人合法权益。

为了最大限度地维护受助人的合法权益,确保其在量刑时能依法“轻”一点、“减”一些,2019年6月以来,忻府区司法局与区法院、区检察院、市公安局忻府分局、市公安局直属分局“强强联合”,在充分发挥检察机关主导作用的前提下,稳步推进认罪认罚从宽制度的落实。“我们在审查起诉阶段,对没有委托辩护人的受助人,由值班律师为其提供法律咨询、程序选择、申请变更强制措施等法律帮助。”忻府区检察院副检察长智彦萍介绍道,“检察官和律师会对受助人释法说理,促使其积极悔罪自愿认罪认罚。通过平等沟通协商依法提出从宽建议。同时,我们会认真听取被害人及其代理人意见,积极促成双方和解,充分化解矛盾,最大限度修复社会关系。”

在忻府区法律援助中心,记者了解到,今年就有几名受助者通过认罪认罚制度得到了从宽处理。“这无疑是给法律援助工作锦上添花。”一名法援律师如是说。

因势而谋,应势而动,顺势而为。自法律援助法正式施行以来,忻州市各级法律援助中心积极作为、应变克难、想方设法把“纸上的法律”变为“行动中的法律”,不断巩固多年来在法援工作上取得的成效,努力做到应援尽援、应援优援,使困难群众在每一个法律援助案件中感受公平正义。

“忻州的法援工作做得好,做得扎实,要继续坚持一把手重视,进一步做到严法律,重人情……”8月5日,在“三晋法援基层行”采访团座谈会上,省司法厅二级巡视员张锁发对忻州的法援工作竖起了大拇指。法援工作任重而道远,但通过这次采访,记者深深地感受到了秀容大地上,每一名法援人开拓创新,攻坚克难,积极让困难群众享受法援关爱,努力让贫困群众感受法治温暖的坚定决心。

#实现祖国统一的决心坚如磐石#

昨天从早到晚就一直在刷佩洛西窜访台湾的相关内容,白天看到的内容很多是在说各种部署,会阻碍,拦截之类的,但是到了晚上却眼睁睁看这老妖婆落地了。

失望悲观,甚至压抑沉痛,堵得慌,这些情绪相信正常的中国人都会有一些,再加上有些人的讽刺挖苦,趾高气扬——一些敌我不分的人甚至还附和他们。

心情确实会很不好,但想想也没必要一直不好的,都清楚美帝国主义亡我之心不死,中华民族不可能轻轻松松复兴。

专业的事情有专业的人在干,不要在这个所谓的耻辱中沉沦,而要在这个耻辱中振作。

普通人做好自己,爱党爱国爱家,不添乱。只有从普通人到国家,都强大得再快一些,到时,才能清除一切障碍,一雪前耻!

#解放军将展开一系列针对性军事行动#


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