专利作为企业知识产权的重要组成部分,在企业发展中起着十分重要作用,有效挖掘专利并实施专利布局,是企业规避知识产权风险,提升市场核心竞争力的必然之举。

专利挖掘和专利布局的意义
专利挖掘是指企业或个人在科研或生产过程中对所取得的技术成果,从技术和法律层面进行剖析、整理、拆分和筛选出可以申请专利的创新点。

专利布局是指企业综合生产、市场和法律等各方面因素,对专利进行有机结合,构建严密高效的专利保护网,形成对企业有利的专利格局。专利布局是专利挖掘的进一步延伸,其专业性更强,涉及的面也更广。

合理的专利布局可以提高企业专利的整体价值,提升企业的市场竞争力,具体而言,合理的专利布局主要具有以下作用:
1)有利于正确引导研发方向,提高研发成效;
2)有利于理性进行专利申请,节省申请成本;
3)有利于构建合理的专利保护网,削弱竞争对手优势,提高市场竞争力。

企业如何进行专利挖掘布局
1.专利挖掘的基础概念
专利挖掘是进行专利布局、构建专利组合的前提。从专利挖掘的全过程来看,专利挖掘实质上是一个大浪淘沙、去芜存菁的优选过程。这一过程的实施和开展,首要前提是能够充分获取可供筛选过滤的大量基础原材料——各种各样的技术创意和发明构思。有了数量可观的技术创意和发明构思,才有可能在此基础上遴选出具有较高技术价值和商业价值的技术创新点作为未来申请专利的备选对象。

2.专利布局的基础概念
专利布局是对专利申请工作的周密规划和统筹安排,通过对专利申请时间、地域和途径的选择、专利保护内容的谋划等,有策略地部署形成专利组合,是一种有目的、有规划、有策略的专利战略行为。

企业如何有效挖掘专利
1.以问题为导向进行专利挖掘良性发展
企业在生产经营过程中会出现各种各样的问题,比如说产品质量上存在缺陷,或者用户体验感觉较差等,这些问题往往直接影响企业的经营发展和市场竞争力。企业可以这些问题收集、整理并分析,找出存在此类问题是技术瓶颈没有突破还是市场方向把握不准,而后在此基础采取头脑风暴方式进行讨论,厘清解决问题的方法、确定技术的创新点和保护方式,最后由企业管理人员、研发人员和专利代理人综合市场、法律、技术等方面因素,筛选出最具价值并且适合企业发展的技术方案申报专利。

2.以竞争对手技术为导向进行专利挖掘
俗话说,“知己知彼,百战不殆”,在专利挖掘方面,更应重视竞争对手的技术研究方向,分析竞争对手专利挖掘和布局的重点,而后采取针对性的专利挖掘策略。企业在进入某一市场时,往往提前进行专利挖掘和布局,我们可以通过分析主要竞争对手专利信息,了解竞争对手技术开发的市场布局重点,而后结合企业自身优势梳理创新点,进而挖掘出能很好保护自己产品技术并能限制竞争对手的专利。

3.以项目研究为导向进行专利挖掘
企业在进行某一项技术攻关时,往往是以项目研究的形式开展的。以项目研究为导向,首先要明确项目要突破的技术难点和相对现有技术实现的所有功能,并将实现这一目的每个技术点进行细分,明确每个技术点的技术解决方案的实施路径。其次,将每个功能的技术要素进行全面分析,确定技术要素是否符合专利申请的新颖性、创造性和实用性要求,是否符合专利的申请范围。

企业专利布局的方法
1.路障式布局
指将实现某一技术目标的必需的一种或几种技术解决方案申请专利,形成路障式专利的布局模式。
路障式布局的优点是申请与维护成本较低,缺点是竞争者可以通过回避设计绕开路障。

2. 城墙式布局
是指将实现某一技术目标的所有规避设计方案全部申请专利,形成城墙式专利的布局模式。
城墙式布局可以抵御竞争者侵入自己的技术领地,不给竞争者进行规避设计和寻找替代方案的任何空间。

3. 地毯式布局
是指将实现某一技术目标或产品的所有技术解决方案全部申请专利,形成地毯式专利网的布局模式。
这种模式可以有效限制竞争对手进入,其缺点是成本太高,耗时耗力。

4.围栏式布局
是指在核心专利由竞争者掌握时,将围绕该技术主题的许多技术解决方案申请专利,形成围栏式专利布局模式。这种模式非常适合后进入此领域的“技术跟随型”企业。

上述几种专利布局模式,都有各自的优缺点,企业需要结合自身技术领域和实际发展情况,选择最适合自己的一种或几种混合模式进行专利布局。

企业专利挖掘和布局的建议
1.企业专利布局前应做好专利信息分析
据世界知识产权组织统计,世界上每年发明创造成果的90%—95%在专利文献上记载。
专利文献以其广泛性、公开性、及时性、专业性一定程度上反映了最前沿的科技创新成果。
全面、科学、准确的专利信息分析将成为企业进行专利战略布局规划、申请策略制定和产品价值定位的决策依据,某种程度上决定着企业整个市场竞争的成败,至关重要。

2. 企业专利布局应注重时间、区域和时机的把握
专利申请时机很重要,目前世界上绝大多数国家采用先申请制,企业有了好的构思,觉得有价值就应该马上申请专利,而不要等到推出产品了才申请专利。

一方面可以延长保护期,另一方面也避免技术过早的公开而给竞争对手可乘之机。
对于专利申请的地域选择,优先选择市场最大或即将开拓市场的地区进行专利布局,使我们专利价值最大化。

3.企业专利布局的技术重点应针对竞争对手确定
企业进行专利布局应首先确保方向正确,而这个方向除了根据自身的研发能力和市场优势外,还应重点考虑竞争对手的技术研究方向、专利布局重心等。

因为竞争对手专利布局的重点往往也是其产品、市场开拓的主阵地,紧跟竞争对手专利布局态势不仅可以使我们研发、创新保持正确方向,还能明确企业需要在哪些技术领域提前布局、抢占技术空白点。

4.企业应加强与专业知识产权服务机构合作
企业在开展专利布局时,应该让“专业的人做专业的事”,加强与知识产权服务机构沟通、探讨。

让企业技术优势与专业机构在专利撰写、布局策略方面优势结合起来,实现核心技术的有效保护。

一个专业的服务机构不仅能将企业现有的创新点保护好,而且能通过对行业技术、竞争对手专利分析提出新的专利布局创新点,从而使专利布局功效实现最大化。

5. 企业应加大专业人才培养,提高专利布局意识
一方面,从企业创新源头抓起,在技术研发和生产经营中挖掘创新点,大到重大技术发明、小到工艺改进,进行分析归类,明确保护方式和专利布局策略,提高员工专利挖掘布局意识。
另一方面,要建立相应的激励考评制度,对发明创造给予奖励,提高大家积极性。
同时,针对企业岗位特点采取分级培训,建立起专业的专利布局人才队伍,为企业的技术创新、成果保护和跨越式发展打下良好基础。

总结
企业的知识产权战略,包括专利的充分挖掘和完美布局,直接关系着企业的经营发展,是企业整体发展战略的重要组成部分。随着经济全球化和贸易自由化进程的快速发展,中国企业也将面临更加严峻的专利竞争。

因此,我们必须加大核心专利储备,加快构建专利布局全方位保护网络,使专利布局成为企业参与市场竞争的有力武器,助推企业向更高层次发展。

中建政研智库| 城市更新、旧改、棚改、综合整治和土地整备!

城市更新是一种国际上普遍存在的城市改造现象,其概念是非常明确的,是一种将城市中已经不适应现代化城市社会生活的地区作必要的、有计划的改建活动,是对城市中某一衰落的区域进行拆迁、改造、和建设,以全新的城市功能替换功能性衰败的物质空间,使之重新发展和繁荣。

城市更新包含旧改,棚改,综合整治

1.旧改则属于“旧房改造”

旧改的概念则产生得更早一些,人们对其了解多半来源于广东省和国土资源部开展的部省合作:三旧改造,即“旧城镇、旧厂房、旧农村”,如今人们也把狭义的“城市更新”称为“旧改”。

旧改是政府引导,市场主导,

即企业实施,方向是市场化、商品化

2.“棚改”,又称棚户区改造

是广义上城市更新的一种方式。也可理解为危房改造,但是在深圳确切的应该说是老旧红本小区的改造。针对的是“深圳市范围内使用年限在20年以上、存在住房质量安全隐患、使用功能不齐全、配套设施不完善的老旧住宅区项目应当纳入棚户区改造政策适用范围,不再采用旧城改造的方式进行改造。”只有符合上述条件,才可能纳入棚改,这意味着,仍然会有大量的旧住宅区改造不纳入棚改,留在旧改框架内。

棚改是政府主导,国企实施,方向是政策化、保障化、公益性建设的主要是政府保障性住房。

3.综合整治:

考虑城市发展弹性,在规划期内保留一定比例的城中村,合理有序开展深圳市城中村更新工作,逐步消除安全隐患、保障低成本空间、完善配套设施、提升环境品质,实现城中村可持续的全面发展。

在综合整治分区内开展以综合整治为主, 融合辅助性设施加建、功能改变、局部拆建等方式的城中村 更新(以下简称“城中村综合整治类更新”)。通过微改造的 绣花功夫,增加城中村内必要的公共空间与配套设施,提升 空间品质,改善人居环境,加强住房保障。

综合整治的城中村小区不拆除重建,只是优化下空间,装修提升居住环境品质。

4.另外还需要提及土地整备-整村统筹

土地整备-整村统筹:在深圳,城市更新与土地整备并列为城市土地二次开发利用的“两架马车”。而整村统筹可以说是二者取长补短后应运而生的新思路。

整村统筹就是抛弃了传统的以房屋征收为主要手段的土地整备模式,以行政村(社区集体)为单位进行土地权属调查,明确该村的土地权益。并通过拨付土地整备资金、留用土地、收益分成、物业返还等方式,实现政府、村集体及相关个人的利益分配。

一、城市更新历史进展回顾

深圳市城市更新政策最初的雏形其实应该是在1986年。当时发布的《关于进一步加强深圳特区农村规划工作的通知》中,提及到农村的旧城改造。

但从官方发布的政策文件上看,深圳早期的城市更新应起源于2004年,当时发布的《深圳市城中村改造暂行规定》正式开启了旧改政策性文件的序幕,从而开始了大规模的城中村改造;随后又于2007年出台《关于推进深圳市工业区升级改造试点项目的意见》,目的是将工业用地也纳入城市更新范畴中。这段期间一直被命为旧城改造。

直至2009年《深圳市城市更新办法》正式发布后,“深圳市城市更新”这个名词才开始使用,同时还提出了“拆除重建”、“综合整治”、“功能改变”三类更新模式;从而达到改善环境、完善基础设施配套、消除安全隐患之目的。

其后,相关部门陆续公布《深圳市城市更新单元规划制定计划申报指引(试行)》 、《深圳市城市更新单元规划编制技术规定(试行)》 、《城市更新单元规划审批操作规则》等一系列操作流程,涉及到城市更新意愿征集、单元计划申报、专项审批、实施主体确认、产权注销等一系列规范化操作流程。

2012年,政府为解决在城市更新中遇到的各种具体问题,相继出台《关于加强和改进城市更新实施工作的暂行措施》,2014年发布《关于加强和改进城市更新实施工作的暂行措施》在此前已经出台工业楼宇符合一定条件可分割转让的优惠政策基础上,进一步允许一定规模拆除重建。

二、旧住宅改造难度大,僵局难破是应运而生的背景吗?

城市更新在各方利益复杂的纠葛下,“拆不动、赔不起、玩不转”这三难是市场主导中,开发商最无奈的表述。追溯其原因,意愿征集、拆迁补偿是成为影响城市更新最大的阻碍。

有部分业界人士认为,政府并未对成片旧住宅区进行明确规定,虽然这个95%仅限定于零散旧住宅区,但既然政府对成片旧住宅区并没有明确指出,那么成片旧住宅区也只能按照95%来操作。

三、棚户区改造与城市更新的区别

随着城市更新项目大量改造开发,在旧住宅区改造推进陷入缺乏合法有效的操作机制及签约困局情况下。近年,在深圳城市更新领域催生了一个新名词叫棚户区改造。像棚改“中国第一难”的罗湖区“二线插花地” 作为深圳棚改试点已是无人不知。目前列入棚改的还有宝安38区新乐花园、39区海乐花园,南山茶光地块棚户区已提上日程。

棚户区改造主要是指对改造城区旧住宅和二线插花地,改善困难家庭住房条件而改造的活动,同属于旧城改造范畴。

“棚户改造”完全是针对去年以来国家强力推进的住房租赁市场发展战略来的,深圳十三五计划推出40万套保障房,其中很大一部分是租赁房,如果没有政策保障,大量的租赁房从何而来?现在明白了,主要就是从一部分比较破旧的老旧住宅区改造而来。因此,在旧住宅区范围内划出一部分纳入棚改,就是顺理成章的事了。

棚改与城市更新二者之间虽同属于旧城改造范畴,都是拆除重建,但执行的是不同的法规政策,存在着本质的区别,主要区别有以下几点:

1.工作目的的不同

深圳城市更新旨在完善城市功能,优化产业结构,改善人居环境,推进土地、能源、资源的节约集约利用,目前主要以城中村、旧商业区、旧工业区为重点。而此次棚户区整治改造旨在消除二线插花地地质灾害隐患,改善片区居住环境,完善基础设施配套和公共服务设施配套。

2.运作模式不同

城市更新的运作模式是“政府引导,市场运作”,而棚户区改造的运作模式是“政府主导,市场参与”。城市更新由开发商唱“主角”,属于市场行为。而棚户区改造政府不仅是责任主体,还要参与整体规划设计,包括资金投入,相对而言推动执行强度更大。

3.归还房屋类型不同

简单的理解:棚改方向是政策性住房,旧改方向是商品性住房。

棚户区改造采用“政府主导+国企实施+人才住房”的模式,以公共利益为目的,采取政府主导,以人才住房专营机构为主,其他企业可以参与的模式,改造方式以拆旧建新为主,搬迁安置住房以外的住宅部分全部用作人才住房和保障性住房。

旧改则遵循“政府引导、市场运作、公众参与”的原则,改造方式包括综合整治、功能改变和拆除重建,所建住宅除搬迁安置住房和按比例配建的人才住房、保障性住房外,全部用作商品性质住房。

4.强制性不同

棚改实施过程中,因涉及公共安全利益,对于少数不服从改造的,可以通过行政征收、行政处罚程序等强制执行;旧改则完全遵循自愿原则,必须百分之百的业主同意方可拆除动工。

四、拆迁补偿方式不同

棚户区改造由政府主导,这是因为棚户区存在突出的公共安全隐患,危及人民生命财产安全,整治改造不存在以营利为目的商业开发。

市场行为的城市更新除了公共配套和公益贡献,还存在“资本逐利”的空间。

棚户区改造项目的货币补偿按照《深圳市房屋征收与补偿实施办法(试行)》(市政府令292号)的规定执行,产权调换按照套内建筑面积1:1或建筑面积不超过1:1.2的比例执行,允许增购不超过10㎡的建筑面积。

以棚改项目华富村为例,其拆赔比是套内1:1 或建面1:1.18二选一;可以低价9000元/平的价格加购13平;可购的上限是25平,另外的12平可以当时市场价的九折购买;

而城市更新的补偿标准由项目实施主体与业主进行协商,并通过签订搬迁安置补偿协议予以约定,没有统一标准。参考目前大冲村和白石洲村的旧改拆迁补偿,一般都是建筑面积1:1赔偿,对于本地村民还会有些相应的优惠条件。

五、改造政策不同

城市更新与棚户区改造虽同属旧城改造范畴,但分别执行不同的法规政策。

城市更新依据有《深圳市城市更新办法》、《关于加强和改进城市更新实施工作的暂行措施》等相关文件;棚户区改造依据有《广东省人民政府关于加快棚户区改造工作的实施意见》、《深圳市棚户区改造项目界定标准》等相关文件,可适用免征部分税费、融资诸多优惠政策。

城市更新相关政策不适用于棚户区改造,例如按照城市更新相关规定,要求申报区域达到一定规模、合法用地达到一定比例要求,而棚户区改造无此类限制。

棚户区改造政策主要适用于老旧住宅区,全市范围内使用年限20年以上,且满足“存在住房质量、消防等安全隐患”、“使用功能不齐全”、“配套设施不完善”这三个条件之一的,以及使用年限虽不足20年但按照《危险房屋鉴定标准》(JGJ125-2016)鉴定危房等级为D级的住宅区可以适用棚户区改造政策。

而城市更新政策改造的范围更广,包括旧住宅区、旧工业区、旧商业区、城中村和旧屋村等。旧住宅区申请拆除重建城市更新的,建筑物建成时间原则上应不少于20年,满足条件的旧商业区、旧工业区建筑物可放宽至15年的建成时间要求。

六、原建筑产权属性不一样

棚改的老旧小区多为红本住宅小区,旧改的城中村多为历史遗留违法建筑(小产权),村民手头的多为历史遗留违法申报单(因为颜色为粉红色,也称红单,后续简称:历史遗留单),历史遗留违法建筑申报单,可以视为政府不认为建筑本身合法,但是可以认定产权人的一种房产证类型。

作为投资者可以通过历史遗留单认定卖房的房主的所有权。投资者买过来后,旧改的开发商同样是会认定房屋的实际所有人,签订拆迁补偿协议后,会赔偿红本商品住宅。

七、整村统筹的总体思路

在深圳,城市更新与土地整备并列为城市土地二次开发利用的“两架马车”。而整村统筹可以说是二者取长补短后应运而生的新思路。

整村统筹就是抛弃了传统的以房屋征收为主要手段的土地整备模式,以行政村(社区集体)为单位进行土地权属调查,明确该村的土地权益。并通过拨付土地整备资金、留用土地、收益分成、物业返还等方式,实现政府、村集体及相关个人的利益分配。

整村统筹指以社区股份公司及其成员实际使用、空间集中成片的区域为实施对象的土地整备项目。整村统筹整备项目应当同时符合以下条件:①项目位于同一社区范围内;②项目范围内未完善征(转)地补偿手续的规划建设用地面积不小于50000平方米。

1.土地整备利益统筹政策的现实意义在于:

盘活原农村集体土地资源,解决土地历史遗留问题

实现产业用地的收储,补足公共配套、基础建设欠账

以留用地方式取代货币补偿,解决征地拆迁难题

部分留用地开始走入集体资产交易,昭示土地整备利益统筹有实质进展

2.整村统筹与城市更新的区别:

简单概括就是:整村统筹是以一个原农村为单位进行土地整备利益统筹方法,是由政府主导。城市更新则是市场主导,这是最主要的区别。事实上,城市更新是合法用地必须满足60%,土地整备的集体合法比例远远达不到城市更新的要求,所以没办法走城市更新的路径,因此只有跟政府商量通过政府合法化村集体的部分土地,政府拿走一部分土地,通过这种方式盘活土地实现共赢。

3.综合整治=不拆除,装修城中村

2019年3月22日深圳市规划和自然资源局发布《深圳市城中村(旧村)综合整治总体规划(2019-2025)》。

充分考虑城市发展弹性,在规划期内保留一定比例的城中村,合理有序开展深圳市城中村更新工作,逐步消除安全隐患、维护城市肌理、传承历史文脉、保障低成本空间、完善配套设施、提升环境品质,实现城中村可持续的全面发展。

针对不宜拆除重建的城中村用地,以及现状建筑质量较好、现状开发 强度较高的城中村用地,以综合整治为主,通过微改造的 绣花功夫,增加城中村内必要的公共空间与配套设施,提升 空间品质,改善人居环境,加强住房保障。

以上红色区域,共99平方公里,220个村被纳入城中村综合整治在2025年之前不得纳入城市更新单元计划、土地整备计划及棚改计划.

纳入了综合整治,也就意味着6年内没有拆除重建旧改的可能,无论对于村民还是博旧改的非原住民购房者都是一个不好的消息。

结语:看完这篇文章,对于投资拆迁回迁指标房的投资者,我们应该投资哪类的?大家应该都比较清晰了:没有购房指标的情况下,我们要的是能够回迁红本商品住宅,我们只能投资拆除重建的旧改类城中村。

棚改针对是老旧红本住宅小区,买这类项目也是需要购房指标的。

综合整治买的农民房只能收租,短期之内不会拆除重建回迁红本住宅。

#每日科普# [科学探索的“眼睛” 高端制造的“尺子”]
科学家门捷列夫说:“科学是从测量开始的。”“现代热力学之父”开尔文有一条著名结论:“只有测量出来,才能制造出来。”人类科学研究的革命,工业制造的迭代升级,都离不开测量技术的精进。在当代科技和工业领域,高水平的精密测量技术和精密仪器制造能力,是一个国家科学研究和整体工业领先程度的重要指标,更是发展高端制造业的必备条件。随着精密测量技术不断进步,其在科学研究、工程科技、现代工业、现代农业、医疗卫生和环境保护等领域发挥着越来越重要的作用。

精密测量是工业生产的倍增器

精密测量是一个大的泛指的范畴。凡是准确度很高的各类测量,都可称之为精密测量。在精密和超精密工程领域,精密测量有具体的数量级,是指测量准确度在1微米至0.1微米量级的测量,超精密测量是指测量准确度优于100纳米,如10纳米、1纳米,甚至皮米(千分之一纳米)量级的测量。

精密测量兴起于工业大生产。规模化大生产是现代工业的重要特征,产业分工与专业化配套越来越细化,地域分布越来越广,产业链遍布全世界。也就是说,一个产品由成百上千甚至成千上万个零部件组成,这些零部件不可能由一个厂家生产,需要联合遍布各地的多个优势厂家。比如一部智能手机有1600多个零件和元器件,由分布在世界上十多个国家和地区的150多家工厂提供。这样做,能大批量标准化生产,生产效率高、质量高、成本低,优势明显。但技术层面存在一个难题——面对如此多零件、元器件,其中任何一个的尺寸精度或其他技术指标不合格,就无法集成到一起。

为解决这类问题,国际标准化组织(ISO)和国际计量局(BIPM)制定了一系列标准与规范。依据这些标准与规范,国际计量局将公认的标准量值传递给每一台测量仪器,以保证这个标准量值在全世界范围内一致。之后,生产厂商使用测量仪器,对产品的每一个零件和元器件的所有技术参数进行精密测量。这样才能保证所有的测量仪器都是精确的,测量数据都是精准的,进而成千上万的零件或元器件具有互换性。通俗地说,就是不同厂商的产品都是合格的、好用的。由此而来,精密测量已成为促进科技发展的新兴学科。

精密仪器助力科学新发现

怎样进行精密测量?这就需要实施精密测量的工具——精密仪器。精密仪器包括各类高端测量仪器、分析仪器、成像仪器、诊疗仪器和各类实验仪器等。在帮助工业生产“把关”的同时,精密仪器也是科学研究的有力工具。纵观各国科技发展历史,不难发现,科技强国一定是基础研究强国,基础研究强国一定是测量与仪器强国。大多数现代科学发现和基础研究突破,都是借助先进的精密测量方法和尖端测量仪器实现的。引力波探测就是一个典型例子。

引力波探测是直接验证爱因斯坦广义相对论、探索宇宙起源和演变的实验,具有重大科学价值。但引力波信号极其微弱,探测难度极大,采用超高分辨率的远距离激光干涉测量方法探测,是目前最有优势的技术途径。也就是说,激光干涉测量仪的测量准确度,将直接决定探测引力波的极限能力。如果激光干涉测量仪建立在地球上,其互为垂直的两路激光测量臂长至少要达到4000米。只有满足这一条件,引力波引起的激光测量臂长极其微小的变化(不超过质子直径的万分之一)才能被测量到。如果按比例放大,这一超高分辨率测量相当于在绕地球1000亿圈的长度上,检测出不超过一根头发丝直径的长度变化。经各国科学家共同努力,2016年人类首次直接测量到高频段引力波,3位相关科学家因此项成果获得诺贝尔物理学奖。
就科学研究而言,这样的探测还远远不够。为测量到低频段引力波,必须将激光干涉测量仪建立在太空环境中。这样,其互为垂直的两路激光测量臂长才能够达到数十万千米到数百万千米,激光干涉测量仪的测量准确度才有望达到1皮米。
引力波的例子很好地证明了,测量技术有多精密,科学探索就能走多远。
只有测量出来,才能制造出来
对国家而言,精密测量与装备制造业水平紧密相关。装备制造业向中高端跨越的关键是提升制造质量,而提升制造质量的关键则是提高精密测量能力。只有通过精密测量,才能知道产品哪里不合格;只有通过大量精密测量数据的积累,才能找到产品不合格的根源与规律;只有基于精密测量数据建立起成体系的误差补偿模型,才能有效实现制造精度和产品性能的精确调控,产品质量才能在不断的精确调控中逐渐提升。
超精密光刻机的研制,很好地证明了这个结论。超精密光刻机被称为“超精密尖端装备的珠穆朗玛峰”,挑战着人类超精密制造的精度和性能极限。超精密光刻机是在超精密量级上把最先进的光机电控等几十个分系统、几万个零部件集成在一起,使其高性能协同工作。它是人类装备制造史上复杂程度最高、技术难度最大、综合精度性能最强的尖端装备之一。它在高速和高加速度下,达到纳米级的同步精度、单机套刻精度和匹配套刻精度等,这与传统的精度提升环境完全不同。超精密光刻机的制造精度已接近现有制造能力的极限,其精度提升一点点,通常都要付出几倍十几倍的努力。比如,用于28纳米节点制程的DUV光刻机拥有7万多个光机零件,涉及上游5000多家供应商。这些零部件对精度和稳定性的要求极高,只有发挥供应链上所有顶尖制造商的技术优势,才能全部达到标准,超精密光刻机才能研发成功。
任何一个重要零件的不合格,都会导致超精密光刻机研制失败。以其中一个构件——激光反射镜的制造精度为例。它由微晶玻璃制成,有108项尺寸公差和62项形状、位置、方向公差,还有内部应力等技术要求。要完成这样一个复杂构件的超精密测量,需要20多种专用超精密测量仪器。而光刻机有7万多个光机零件,其中80%以上的零件属于精密和超精密级,需要700多种专用精密和超精密测量仪器。如果没有成体系的专用超精密测量技术与仪器来管控制造精度,就不可能制造出合格的零件,也就不可能装配调试出合格的部件与分系统,更不可能制造出合格的光刻机整机。
精密测量技术还推动了各国建立国家测量体系。它能够有效管控工业测量体系,保障整个制造链的质量,赋能高科技产业高质量发展。对大众而言,直观感受就是所购买的工业产品质量变好了、更好用了。目前工业发达国家的产品都经历了从低质量向高质量的曲折发展历程。正是因为建立起了完整的精密测量体系,培育起了一批顶尖超精密仪器企业,才能对高端装备制造形成强有力支撑,才能打造出诸多国际驰名品牌。
我国正在向世界科技强国、制造强国和质量强国迈进,构建新一代国家测量体系成为关键一环。今年1月,国务院印发《计量发展规划(2021—2035年)》,明确提出加快构建国家现代先进测量体系,推进计量标准建设。我国精密测量领域科研工作者将继续勇担重任,以与时俱进的精神、革故鼎新的勇气、坚忍不拔的定力,为中国制造备好“尺子”,为科技强国建设不懈奋斗。


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