【又一国产芯逆袭之门!特斯拉带飞,国内多位大佬谈碳化硅 如何跑得更快更远 - 原创 ZeR0 芯东西 2022-7-04 发表于北京】

碳化硅SiC的春天,终于来了!
“双碳”战略开启了新能源转换黄金时代,也开启了功率半导体发展的黄金时代。这一趋势下,拥有优越性能的碳化硅,正成为功率器件的宠儿。用碳化硅器件全面替代硅器件做能量转换,能极大提高能量转化效率,大概会降低75%以上的能量损耗。其经济效益毋庸置疑是巨大的。
这个被特斯拉带飞的第三代半导体材料,正迎来爆发式增长。国家政策也在大力扶持:“十四五”规划和二〇三五远景目标纲要,明确指出“支持碳化硅、氮化镓等宽禁带半导体发展”。
随着新能源汽车、人工智能、光伏风能发电、大数据、5G通信等一系列新应用领域的出现,以碳化硅为代表的第三代半导体正呈现蓬勃之势。
相比硅和砷化镓等半导体材料,在碳化硅等第三代半导体领域,我国与国际巨头之间的整体技术差距相对更小,更有希望实现换道超车,降低国际供应链的风险。
但与此同时,国内碳化硅产业链发展仍面临重重挑战,任重道远。当下国内碳化硅半导体的单晶材料、衬底、器件研发面临哪些核心痛点?接下来产业链发展还需怎样的助力?
在6月26日举行的“2022中国·南沙国际集成电路产业论坛”宽禁带半导体论坛上,山东大学晶体材料实验室、南砂晶圆创始人兼首席科学家徐现刚教授,广东芯粤能CTO相奇,中电化合物董事潘尧波,上海瞻芯电子CTO陈俭等专家发表主题演讲,分享了来自产业一线的观察和思考。

1. 碳化硅爆发式增长新能源汽车成主战场

碳化硅材料有半绝缘型和导电型两种衬底。半绝缘型主要应用于以5G通信、国防军工、航空航天为代表的射频领域;导电型主要用于制造功率器件,用在以新能源汽车、“新基建”为代表的电力电子领域,这也是当前碳化硅的主赛道。
第一个吃螃蟹的是马斯克的特斯拉。特斯拉Model 3率先将意法(ST)的碳化硅MOSFET功率模块应用到负责控制电动机的主逆变器中,证明了碳化硅技术足够成熟,并具有显著优势。
上海瞻芯电子CTO陈俭将“特斯拉的Model 3”类比“2007年的iPhone 4”,这是他决心离开做了21年的硅、转向碳化硅行业的原因。他回忆道,2014~2015年的碳化硅模块,据称已经将功率提高10%、体积缩小57%、重量降低40%,而现在比当时做得还要好。

新能源汽车的爆发,引发了一波碳化硅的“上车潮”。
特斯拉、保时捷、比亚迪汉、现代等纷纷在上碳化硅,碳化硅逐渐成为了高端汽车的标配;国内小鹏、蔚来、理想等造车新势力,都已推出或宣布推出碳化硅模块;宇通客车、上汽、北汽也在做这方面的筹备工作,而且商用车领域更容易导入一些新技术。
据法国知名行业咨询机构Yole预测,2022年车用碳化硅器件占比达68.8%,到2025年碳化硅功率器件的市场规模有望增至25.62亿美元,复合年增长率约30%。碳化硅之所以适合做功率器件,根由在于其材料性能。
碳化硅的禁带宽度是硅的3倍,热导率是硅的3倍,电子饱和速率是硅的2倍,最重要的是临界击穿电场是硅的8-10倍。因此,碳化硅器件有耐高温、低导通电阻、开关速度快、耐高压等特点,使得碳化硅系统更小、更轻、能效更高、驱动力更强。
广东芯粤能CTO相奇分享了一组预测数据,到2030年,中国大陆年度用电总量将超过10.5万亿度,如果用碳化硅器件全面替代硅器件做能量转换,那么每年可以节约上万亿度的电,这一数目,相当于10个三峡大坝的年发电总量。
到2030年,新能源车的销售量将增长9倍,光伏的装机量将增长5倍,碳化硅将大有用武之地。再加上缺货浪潮的助推,如今进口材料供货紧俏、一再延期,倘若国内碳化硅材料供应商发力赶上,这将为国产材料的导入打开一个突破口。

2. 8英寸时代到来但量产还要等三四年

碳化硅产业链覆盖从最上游的碳化硅粉,到晶锭、衬底、外延,再到晶圆,以及封装后的单管和模块,最后到交付应用。这种半导体材料的历史,最早可追溯至1885年,瑞典科学家发明了碳化硅生长装置,将核心原材料沙子和木炭加热到1500℃左右,通过导电,引发自蔓延反应,得到碳化硅单晶。但此前因材料技术和设备的限制,碳化硅长期没有发展起来。山东大学晶体材料实验室、南砂晶圆创始人兼首席科学家徐现刚教授介绍说,碳化硅单晶的研究可以分为三个阶段:第一阶段是90年代光电应用,碳化硅作为衬底,成功应用在光电领域;第二阶段是微波电子,我国做的已经不比国外差;第三阶段是功率电子应用,希望上下游通力合作,在这方面赶超国外。经过30多年的研发,国内碳化硅研究已具备一定条件,可以为器件研发提供衬底材料。
碳化硅衬底正不断向大尺寸方向发展,衬底尺寸越大,单位衬底可制造的芯片数量越多,单位芯片成本越低。目前业内主要量产产品集中在4英寸及6英寸,并演化向8英寸。国外在十年前突破了6英寸衬底技术,在“十三五”期间攻克了8英寸衬底技术。国际行业龙头科锐今年成功将8英寸衬底导入量产,全球首条8英寸晶圆工厂已经通线,很快就要建第二个8英寸碳化硅器件生产厂。在产业化方面,国内碳化硅企业已完成4-6英寸的升级。徐现刚教授谈道,目前国内已有8英寸碳化硅,与国际差距在2~3年之内,这个差距会越来越小。国内4英寸碳化硅晶体在2010年出现,从2017年4英寸导电衬底开始批量销售,中间间隔7年时间;国内6英寸批量销售是2019年,从研发开始也用了三四年。
中电化合物董事潘尧波判断,4寸的量会越来越少,6寸是当前主流,8寸是发展趋势,8英寸如果今年出来,按以往时间周期推演,需要等到2025年、2026年才能导入量产。
在他看来,“8英寸时代到来”还面临一些挑战,包括籽晶依赖于扩径、晶体良率、晶体质量、8英寸衬底加工、成本、生态等方面的问题,希望产业上下游紧密协同来解决问题。据他分析,根据中国电子材料协会统计数据,目前国内碳化硅规划投资300亿元,规划年产能200万片。2020年全国碳化硅产量约11万片,其中还包括很大一部分4英寸产量。规划的产能存在一定水分,规划的投资量偏大,实际落地的投资量有衰减,所以规划产能大于落地产能。从产能到产量,涉及到良率、成本、设备问题,据其统计,目前国内的长晶炉超过3000台,但实际供货量很少,今年6英寸的量大概率能超10万片,不过离需求情况还有很大的差距。汽车对材料有非常高的可靠性要求,这就引申到材料质量需要更高的要求,国内很多材料还在验证中,能满足车规级要求的占比不高。因此潘尧波判断,碳化硅材料,特别是车规级材料,会长期偏紧。他建议8英寸的扩展可以适当慢一点,如果材料供应不及却投了大量设备,这些产能则会空置,将导致产生很多投资的成本。

3.国内产业链面临的外忧与内患

目前碳化硅材料和功率器件都主要由海外企业垄断。器件方面,五家头部企业来自欧洲、日本、美国,合计市占率约90%;材料方面的垄断更加集中,Wolfspeed、Ⅱ-Ⅵ全面领先衬底市场,Wolfspeed和昭和电工两巨头几乎垄断外延片市场。国内碳化硅产业链则相对集中在长三角、京津冀和粤港澳大湾区。
相奇认为,国内碳化硅产业链面临着全面挑战:
1、碳化硅材料。
国内长晶技术和国际先进水平仍有距离,8英寸至少还需要2~3年才能追赶并突破,带动外延的发展。目前技术相对成熟,但设备还需要依赖于进口。
2、器件设计。
受限于制造工艺水平,材料优势没有被充分发挥,包括器件结构的优化创新,因为工艺能力的限制比较欠缺,生态也有待完善。
3、器件制造。
首先,衬底外延成本占比高,合资占比大概超过了50%;其次,器件良率受限于材料的缺陷及质量;其三,缺乏大规模的生产平台,过去碳化硅的规模相对较小,生产模式基本是实验室和小规模的小作坊模式;其四,专业设备还需要依赖于进口。
4、模组封装。
需找到更耐高温的封装材料,因为封装尺寸更小,散热及可靠性的要求更高。
5、汽车厂商。
问题是“缺芯”,尤其是“缺中国芯”。他总结道,国内碳化硅产业的强项是产业链较完整,弱项是现在成本还很高,尤其是在材料方面需要一些突破,其次是国产设备很少,专业设备还需依赖进口。我国的碳化硅产业链发展还需要平衡,才能与国外巨头进行竞争。

为什么碳化硅这么贵?
潘尧波解释说,碳化硅的成本很高,晶体存在质量、尺寸、厚度、良率、成本等痛点,且部分石墨依赖进口,供应紧张。碳化硅是硬脆材料,硬度仅次于金刚石,加工难度较大。
简单的衬底加工工序是从晶锭出来,做多线切割,做倒角,然后做研磨、CMP、清洗、检验,最后出货。其中切碳化硅,6英寸切一刀需要120小时左右,8英寸切一刀需要200小时左右,中间不能出任何差错,否则对切的质量会造成很大的影响。
相对于衬底,碳化硅外延技术门槛低一点,但也存在4个主要痛点:
1、进口外延设备交期长。
全球有4家进口主流供应商,国内主要采用的是3家,目前交期很长,有的甚至要60个月,即需五年时间。现在做碳化硅外延设备的有六七家,有的设备经过了批量销售,接下来国产化外延设备会进入产业主流。
2、外延的三个核心参数(缺陷、浓度、厚度)等检测设备依赖进口,交期长。目前国内缺陷领域有一家在demo过程中。
3、外延设备的单台产能低,每月仅300片左右,这个数量很低,可能会有新的设备和路线出来。
4、备件耗材寿命短,成本高。
外延过程经常要做保养,备件过程中会沉淀一些碳化硅颗粒,对碳化硅外延缺陷造成很大影响,所以备件耗材的生命比较短,一定程度上影响了碳化硅的产量。

在碳化硅器件方面,相奇分享了他观察到的一些趋势:
首先,沟槽MOSFET结构创新备受关注,已有多款沟槽器件产业化、商品化,且沟槽器件结构变化多端,创新空间变化也很大;
再者界面质量导致迁移率低,亟待技术突破,碳化硅器件的优势还没完全发挥出来,需利用新技术、新材料,提高界面质量和迁移率,提高可靠性。
除此之外,万伏千安智能电网需要超高压器件,所以超高压的MOSFET和超高压的IGBT也是器件研发的另一个方向。
有了大规模量产的平台、众多设计公司后,器件设计和制造生态系统则呼之欲出,从而提供一个桥梁,使得设计公司和量产平台能更好、更有效地合作。

4. “最根本的,是要做产业链的创新”

最后,陈俭分享了他看到的碳化硅产业潜力。
首先看定位。Yole数据显示,碳化硅从“三高”(高端、高频、高压)打入,慢慢蚕食硅IGBT市场。“我觉得这是「城市进入农村」的方式,做降维打击,成本做好,它是具有品牌效应的,这是势无可挡的应用。”陈俭说。
其次,上下游要协调好关系。下游车厂希望客户交货更快,现在有的周期要一年的时间,快则要6-7个月,太长了。
其三,价格要低,质量好,配合好。随叫随到是本土化优势,但质量还有待提高。上游会担心投资有没有希望、定价是否合理、付款方式好不好等问题。
至于上下游怎么协调?
陈俭认为,首先,下游需要明确的态度,要拓展应用,把市场做大,这是共赢之选;第二,上游要加大投资,给下游确保能供货且价格合理的信心;第三,有了技术,资金和人才才会加入。
在上游,现在SBD在充电桩领域的应用,市场不是红海了,是血海,卖的成本非常低,所以自己做器件、材料的厂商,要把碳化硅MOSFET的应用拓展起来。
只要有技术,碳化硅MOSFET做得好,市场还是很大的,SDB要区分于市场来做,价格要慢慢回归市场。技术进步需要时间,两三年之内很难做出很大的改善。
因此他们初步判断,大概在2024年前,衬底都是比较紧张的,外延则可能好一点,到2025年可能会缓解,但真正落实要到2026年,市场也可能会比预想得快,到时候又有一轮紧张。
在陈俭看来,最根本的,是要做产业链的创新,包括衬底技术、外延技术、Fab工艺、封装、碳化硅专用设备以及应用端的创新。
此外,他认为还需对创新者予以保护。首先做好专利布局;其次实现利益共享,定价机制要合理;第三,创新方要换位思考,要引入资金和推动标准建立;第四,尊重知识产权,抵制反授权,从法律层面保护创新者;第五,建立像IMEC一样的第三方合作开发平台。

5. 结语:碳化硅春天已至国产供应链迎新机遇

陈俭认为:碳化硅的春天来了,当前第三代半导体的碳化硅和氮化镓则比较火热,成长速度远超硅基功率器件。但还有很多挑战,要上下游共同共勉,以创新制胜,知识产权也要保驾护航。
徐现刚教授看来,碳化硅取得了新机遇,这么重要的材料,要降低国际供应链的风险性,对于进入国产和试用是非常好的机遇。
潘尧波亦判断:碳化硅产业处于成长期,在光伏、LED、硅产业等产业,新玩家会不断涌入,新技术会不断出现,这将给后来企业很多新机会。

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#海关政策# 【海关总署公告2022年第72号[话筒](关于进口埃及鲜食石榴植物检疫要求的公告)】根据我国相关法律法规和《中华人民共和国海关总署与阿拉伯埃及共和国农业与土地开垦部关于埃及新鲜石榴输华植物检疫要求的合作谅解备忘录》规定,即日起,允许符合以下相关要求的埃及新鲜石榴进口。

一、检验检疫依据

(一)《中华人民共和国生物安全法》;

(二)《中华人民共和国进出境动植物检疫法》《中华人民共和国进出境动植物检疫法实施条例》;

(三)《中华人民共和国食品安全法》《中华人民共和国食品安全法实施条例》;

(四)《进境水果检验检疫监督管理办法》;

(五)《中华人民共和国海关总署与阿拉伯埃及共和国农业与土地开垦部关于埃及新鲜石榴输华植物检疫要求的合作谅解备忘录》。

二、允许进境商品名称

新鲜石榴,学名Punica granatum L.,英文名Pomegranate(以下简称“石榴”)。

三、允许的产地

埃及石榴产区。

四、批准的果园、包装厂及检疫处理设施

输华石榴的果园、包装厂、冷藏库及冷处理设施均应在阿拉伯埃及共和国农业和土地开垦部中央植物检疫局(以下简称“CAPQ”)审核备案,并由中华人民共和国海关总署(以下简称“GACC”)和CAPQ共同批准注册。注册信息包括名称、地址及标识代码。注册名单应在每年出口季节前,由CAPQ向GACC提供,获得批准的企业名单可在GACC网站查询。

五、关注的检疫性有害生物

1.地中海实蝇Ceratitis capitata

2.石榴灰蝶Deudorix (Virachola) livia

3.石榴螟Ectomyelois ceratoniae

4.葡萄花翅小卷蛾Lobesia botrana

5.粉虱Siphoninus phillyreae

6.桃实蝇Bactrocera zonata

7.石榴蚜Aphis punica

8.地毯草黄单胞菌石榴致病变种Xanthomonas axonopodis pv. punicae

六、出口前要求

(一)果园管理。

1.输华果园应实施良好农业操作规范,包括维持果园卫生条件、清理落果、季末剪枝等,并执行有害生物综合治理,包括有害生物监测、化学或生物防治、农事操作等控制措施。

2.输华果园必须清除落果或在落果上及时喷杀菌剂和杀虫剂,收获时不得将落果混入商品果中。

3.CAPQ须对中方关注的检疫性有害生物开展果园监测。针对特定有害生物,应采取相应管控措施。

针对地中海实蝇和桃实蝇,CAPQ应开展实蝇监测、预防和控制,并应GACC要求提供相关程序和结果。

针对石榴灰蝶、石榴螟和葡萄花翅小卷蛾,从石榴发芽期至收获期,定期对输华果园进行检查和诱捕器监测,每2周检查一次;诱捕器以性诱剂或糖醋液为诱剂,果园内每0.5公顷应设置1个诱捕器。针对粉虱和石榴蚜等有害生物,从石榴发芽期至收获期,每2周一次进行果园监测。如在监测中发现有害生物或其相应症状,应及时采取生物或化学防治措施。

4.一旦发现其他检疫性有害生物,CAPQ应立即通知GACC,并采取包括化学或生物学防治在内的综合措施进行治理。如在石榴果实上发现相关检疫性有害生物,必须在CAPQ监管下采取有效的防治措施,确保石榴果实上不再发现检疫性有害生物,否则该果园本出口季不得向中国出口。

5.输华果园有害生物监测和防治应在技术人员指导下完成,技术人员须通过CAPQ或其授权机构的培训。

6.输华果园必须保留有害生物的监测和防治记录,并应要求向GACC提供。防治记录应包括生长季节使用所有化学药剂有效成分名称、使用浓度及使用日期等详细信息。

(二)包装厂管理。

1.输华石榴的加工、包装、储藏和装运过程,须在CAPQ监管下进行。

2.包装前,石榴须经过清洁、挑选和分拣,以保证不带昆虫、螨类等有害生物以及烂果、畸形果、枝叶、根等植物残体和土壤。

3.包装过程中,须由经过CAPQ培训的技术人员对输华石榴进行清理和检查,去除石榴宿存萼片,重点检查是否有蛀果害虫为害症状,并对可疑样品进行剖果检查。一旦检出石榴灰蝶、石榴螟和葡萄花翅小卷蛾等蛀果类有害生物,本批货物不能向华出口。如果连续3批次检出,相关果园本出口季不得向中国出口。

4.包装好的石榴应立即入库,并单独存放,避免受到有害生物的再次感染。

(三)包装要求。

1.包装材料应干净卫生、未使用过,符合中国有关植物检疫要求。包装箱如有通气孔,应使用防虫纱网覆盖以防害虫进入(最大孔径1.6 mm),或者将包装箱放于托盘上,将整个托盘用防虫纱网覆盖。

2.每个包装箱上应用中文或英文标注水果名称、出口国家、产地、果园和包装厂名称或其注册号等信息。每个托盘和包装箱上需用中文或英文注明“输往中华人民共和国”(Exported to the People’s Republic of China)。

3.如使用木质包装,须符合国际植物检疫标准第15号(ISPM15)要求。

4.装箱时必须检查装有输华石榴的集装箱是否具备良好的卫生条件,该项活动必须有记录供CAPQ检查。

(四)检疫处理要求。

输华石榴须实施冷处理,技术要求为果实中心温度1.67°C或以下,持续16天以上;或果实中心温度2.22°C或以下,持续18天以上。

冷处理可按照出口前冷处理操作程序(见附件1)或运输途中冷处理操作程序(见附件2)进行。

(五)出口前检疫。

1.在贸易开展的前两年内,CAPQ官员应按照2%的比例对每批输华石榴进行抽样检查。如两年内没有发生植物检疫问题,抽样比例降为1%。

2.如发现中方关注的检疫性有害生物活体,整批货物不得出口中国,并视情况采取暂停果园、包装厂措施,直至CAPQ查明原因并采取改进措施。同时,保存查获记录,应要求提供给GACC。

(六)植物检疫证书要求。

1.经检疫合格的,CAPQ应签发植物检疫证书,注明集装箱号码,并填写以下附加声明:“This consignment of pomegranates complies with the Memorandum of Understanding on Phytosanitary Requirements for Export of Fresh Pomegranates from Egypt to China, and is free from quarantine pests of concern to China.”(该批石榴符合埃及新鲜石榴输华植物检疫要求的合作谅解备忘录,不带中方关注的检疫性有害生物。)

2.对于实施出口前冷处理的,应在植物检疫证书上注明冷处理的温度、持续时间及处理设施名称或编号等。对于实施运输途中冷处理的,应在植物检疫证书上注明冷处理的温度、处理时间、集装箱号码及封识编号等。

七、进境检验检疫及不合格处理

输华石榴达到中国进境口岸时,中国海关按照以下要求实施检疫。

(一)有关证书和标识核查。

1.核查进口石榴是否获得《进境动植物检疫许可证》。

2.核查植物检疫证书是否符合第六条第(六)款规定。

3.检查包装及包装箱上的标识是否符合第六条第(三)款规定。

4.出口前实施冷处理的货物,进境时需提供由CAPQ签署的冷处理结果报告及果温探针校正记录;运输途中实施冷处理的货物,进境时需提供冷处理报告、果温探针校正记录等。

(二)进境检验检疫。

1.输华石榴应从GACC允许进口水果的口岸进境。

2.根据有关法律、行政法规、规章等规定,对进口石榴实施检验检疫,经检验检疫合格的,准予进境。

(三)不符合要求的处理。

1.如发现来自未经批准果园或包装厂的石榴,则该批货物不得进境。

2.对于实施冷处理的货物,如冷处理被认定无效,则该批货物将采取到岸冷处理(如为冷藏集装箱,可在集装箱内进行冷处理)、退回或销毁等处理措施。

3.如发现中方关注的检疫性有害生物活体,则该批货物作退回、销毁或检疫除害处理。GACC将立即向CAPQ通报,要求暂停相关果园、包装厂的石榴向中国出口,直至视情况暂停整个项目。CAPQ应立即开展调查,以便查明原因并实施相应改进措施。GACC将对CAPQ所采取改进措施进行评估,根据评估结果决定是否取消已采取的暂停措施。

4.如发现其他检疫性有害生物,则该批货物作退回、销毁或检疫除害处理。GACC将立即向CAPQ通报,CAPQ应开展调查,查明原因并实施相应改进措施。

八、回顾性审查

根据埃及石榴疫情发生动态及有害生物截获情况,GACC会持续作进一步的风险评估,并与CAPQ协商,以调整检疫性有害生物及相关检疫措施。如有必要,GACC可派专家赴埃及开展回顾性审查。

特此公告。

附件:1.出口前冷处理操作程序.doc

2.运输途中冷处理操作程序.doc

海关总署

2022年8月8日

公告正文下载链接:

海关总署关于进口埃及鲜食石榴植物检疫要求的公告.doc

海关总署关于进口埃及鲜食石榴植物检疫要求的公告.pdf

#海关总署暂停4家境外企业肉类进口#【海关总署对4家境外肉类生产企业采取暂停进口措施】海关部门在对爱尔兰Staunton Foods(注册编号为EC 380)、巴西FRIGORIFICO REDENTOR S/A(注册编号为SIF411)、墨西哥FRIGORIFICOAGROPECUARIASONORENSE,S. DE R.L. DEC.V.(注册编号为TIF66)、泰国PANUS POULTRY GROUP CO., LTD.(注册编号为EST79)等4家肉类企业进行视频检查时,发现其存在不符合双边议定书及我国食品安全有关要求的情况,依据中国有关法律法规规定,暂停接受上述4家企业自2022年8月9日后启运肉类的进口申报。上述信息已通报出口国官方主管部门。(海关总署)


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