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【清华大学精仪系李杨课题组基于湿法刻蚀实现Q值近千万的铌酸锂微环腔的高效制备】铌酸锂是一种电光系数和二阶非线性系数很高的铁电晶体，是现代电光器件的核心材料。绝缘体上铌酸锂薄膜（TFLNOI）使很多基于体材料铌酸锂的器件能被集成到芯片上，从而极大地缩小了器件的尺寸，并提升了器件的性能。目前，在TFLNOI平台上实现大规模、高质量器件加工的主流方法是电感耦合等离子-反应离子刻蚀（ICP-RIE），但仍存在吞吐量有限、工艺参数不稳定、加工成本较高等不足。针对以上挑战，清华大学精密仪器系李杨副教授团队对TFLNOI的湿法刻蚀工艺进行了研究。基于由氨水和双氧水所组成的溶液，该团队分别在x切和z切TFLNOI上加工了波导和微环，并面向该溶液对x切和z切TFLNOI刻蚀的各向异性展开了系统的研究。该湿法刻蚀工艺不仅可以实现与ICP-RIE相媲美的加工质量，还具备工艺、器件性能上的独特优势。相关成果以“基于湿法刻蚀加工的高Q值薄膜铌酸锂微环”为题发表在了《先进材料》上，并被选为“编辑推荐”。#科研速递# https://t.cn/A6o3Ck5e