日本PHOENIX ENGINEERING CO.,LTD晶圆/硅片清洗设备制造商。
晶圆自动剥离装置PWD2020:半导体制造需要在一个非常干净的环境中高速传输。我们提供的半导体加工设备中使用的自动晶圆剥离装置也已经以各种方式设计出了领先于其他公司的自动剥离设备以满足这些需求。其高可靠性和生产率受到了全球客户的高度评价。作为最新的行业标准设备,它不断发展以满足最新的技术和多样化的需求。 线锯(切片)后自动晶圆剥离装置:该装置是将线锯(切片)后的晶圆从平板夹具(梁)上剥离的装置。该系统执行粗清洗,从平板夹具(梁)上剥离晶圆,执行单晶圆清洗,然后将晶圆存储在盒中的一个全自动装置系统。 概要:线锯(切片)后的自动晶圆剥离装置。通过将装在铸模夹具上的铸锭放置在装载侧,该系统可以全自动执行粗清洗,晶圆剥离,晶圆供料清洁,干燥和暗盒存放。剥离后的板夹具被排出到卸纸机侧。剥离是通过热风加热方法进行的。剥离后的晶圆是单晶片清洗。2流体高压清洗~擦洗清洗~漂洗清洗~吸水辊干燥~割缝喷嘴干燥,然后用水平铰接机械手将每片晶圆存放在卸纸器盒中。可以从盒带的上层到下层(25片)中选择存储。最多可容纳6个存储盒,它支持OHT运输。 优点:滑动机构由原始控制。剥离晶圆后很难进行清清洗作业,但可以实现自动化清洗。将用线锯切割的晶片从平板夹具(梁)上剥离后,将其用单片晶圆清洗并存储在全自动的盒子中。降低运行成本。可根据提升您所使用的铸锭进行设计。加载程序ID阅读器可以作为选项添加。RFID功能可被添加到卸载载体部分。 案例介绍:手动剥离想要改为自动化剥离,想要管理晶圆信息。

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