三维硅MEMS结构的灰阶微加工 光刻和深反应离子蚀刻

摘要

微机电系统中任意三维硅结构的微加工可以用灰度光刻技术实现以及干各向异性蚀刻。 在本研究中，我们研究了深反应离子蚀刻(DRIE)的使用和蚀刻的裁剪精密制造的选择性。 对硅负载、O2阶跃的引入、晶圆电极功率和晶圆温度进行了评估并被确定为在DRIE中粗控刻蚀选择性的有效方法。 非均匀性和表面粗糙度特性评估并发现，当3D剖面转移到硅上时，蚀刻选择性已成比例。 一个micro-compressor使用灰度光刻和DRIE演示，表明蚀刻选择性可以成功地为特定的应用定制。©2004 Elsevier B.V.保留所有权利。

关键词:灰度光刻; 冲动; 微机电系统; 腐蚀选择性

介绍

开发三维微结构的能力是伟大的对提高光电和机电的重要性设备的性能。 以前的技术使用多个直接书写步骤，多重光刻步骤，或定制的设备[1 - 5]。 然而,这些技术限于有限范围的形状，或不uti[1]lize批处理过程。 灰度技术已经出现能够开发任意的三维微结构在各种材料中[6-9]。 使用灰度技术使硅的三维成形在一个单一的光刻步骤与随后的干蚀刻。

实验方法 略

腐蚀选择性的结果 略

腐蚀特征 略

Micro-compressor应用程序 略

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时尚界的花农诗人

有点玄妙的是，Dries Van Noten对生活的态度和对时装界的看法、作为，会让人联想到诗人陶渊明。

同样的寄意田园、崇尚自然，精神世界也同样是淡泊渺远的，都是守着自己的“一亩桃花地”，自洽自娱。

遨游Dries Van Noten壮丽的花园宅邸就能领略到陶渊明《归园田居》里相同的意境。

Dries的家被美版Vogue评价为「天堂花园」，它位于比利时安特卫普的乡村，是一座建于19世纪40年代的庄园。Drie已在此居住长达20年之久，庄园内外全部经由他与爱人Patrick Vangheluwe重新设计和打理完成。

我们看过太多设计师富有个性化的住宅了，在一众现代极简的风格中，会发现Dries的住宅完全不同。

花草情趣与颓圮气质相映成趣，两者十分考究地分隔成了室内与室外：室外充满了浪漫又强劲的生命力，室内的布置则独具匠心，被填充成了精致却不矫作的文物馆氛围。

室外的牡丹、玫瑰、金缕梅、天竺葵等数百种花草围绕在院子里的各个角落，形成了一座乱中有序、富有诗意的理想别居。

在个人纪录片《Dries》里发现，只要关于花园，他凡事都亲力亲为，园丁成了他除开设计师外正儿八经的第二职业。Dries是心甘情愿被这片硕大花园所苦恼住，也因为巨大的打理工作量调侃过自己，说如果要出书的话，那书名就叫作《郁闷的园丁》。

他最喜欢做的事就是到院子里去采摘鲜花，回到屋子又仔细地修剪花枝来创作插花。小小的一个生活细节，透露出一位男士的专注与细腻。