7.5
上午常规摸鱼，小羊一个人从漳平到福州医院去看病，就地租了一家酒店，听她说福州的物价很贵呀，一青菜一玉米汤就要16元了，真的是很难以想象。
下午去拔我左下方那颗智齿，拍完
片子人都傻了，那颗牙齿是平行与嘴唇的 跟其他牙垂直 这TM是我没想到的。原本医生是想直接割开 再给我缝回去，但他技艺高超，把牙齿割成一块一块的，没有割肉，虽然还是有点疼，但是真的很厉害。
晚上跟妈妈弟弟、二姨和她的儿女一起去新开的汉堡店塔斯汀吃饭，是个什么中国汉堡，其实是跟肉夹馍有点像，汉堡是把现烤的面包中间开一刀，没割断，然后在里面放上料——如果叫西式肉夹馍我也觉得说得过去。我们点了两杯可乐，二姨点了一杯，但因为他们做餐速度太慢，我们就先找他要了我们的两杯可乐，然后他送我们送餐的时候，忘记两杯可乐给我们了 又在给了我们两杯可乐，我们又找他要了三个空杯子把饮料分给小朋友，再加上阿姨的一杯，结果一共有八个饮料杯子了笑死我了哈哈哈哈哈 所以才有饮料开会的图片
上午常规摸鱼，小羊一个人从漳平到福州医院去看病，就地租了一家酒店，听她说福州的物价很贵呀，一青菜一玉米汤就要16元了，真的是很难以想象。
下午去拔我左下方那颗智齿，拍完
片子人都傻了，那颗牙齿是平行与嘴唇的 跟其他牙垂直 这TM是我没想到的。原本医生是想直接割开 再给我缝回去，但他技艺高超，把牙齿割成一块一块的，没有割肉，虽然还是有点疼，但是真的很厉害。
晚上跟妈妈弟弟、二姨和她的儿女一起去新开的汉堡店塔斯汀吃饭，是个什么中国汉堡，其实是跟肉夹馍有点像，汉堡是把现烤的面包中间开一刀，没割断，然后在里面放上料——如果叫西式肉夹馍我也觉得说得过去。我们点了两杯可乐，二姨点了一杯，但因为他们做餐速度太慢，我们就先找他要了我们的两杯可乐，然后他送我们送餐的时候，忘记两杯可乐给我们了 又在给了我们两杯可乐，我们又找他要了三个空杯子把饮料分给小朋友，再加上阿姨的一杯，结果一共有八个饮料杯子了笑死我了哈哈哈哈哈 所以才有饮料开会的图片
#父亲节# #父亲节礼物# #小红书# 滴滴滴 星食客外卖送来父亲节礼物啦[我爱爸爸]
周日就是父亲节啦！ 有时候比起一句“父亲节快乐”，大概一份美食更来得实用一些 在此，星食客外卖送出9份美食礼包，希望大家能感受到小哥对各位爸爸的爱
.
看过来！看过来！看过来！
父亲节美食大礼包这就为大家奉上～
9份美食小餐请你免费吃！
.
吉祥苑
➤榛蘑炖小鸡（价值24新）
来自大东北的美味据说是东北人招待贵客必不可少的一道菜肉鲜汤美，营养养生两不误!
.
蜀香鸡公煲四川小厨
➤鸡公煲（小份）（价值20新）
主打川菜四川大厨亲自掌勺，鸡公煲一定不能错过，味道绝对煲你满意
.
拌Ban（索美塞麻辣拌）
➤经典套餐两份（价值16.4新）
谁能拒绝开胃过瘾的麻辣拌呢虽然用料简单，但你可不要小瞧了真的是吃一口就爱上了
.
参与方式
‼打开小红书APP，点击图片左下方「限时抽奖」标识～
随机抽取9位朋友送出「父亲节美食礼包」
快快动动小手指参与起来吧！说不定下一个“锦鲤”就是你！
星食客外卖祝各位爸爸们父亲节快乐
.
活动时间
开奖时间⏳2022.6.30
领奖时间⏳2022.7.1-2022.7.15
.
新加坡最大中文外卖平台！
各种美味7x24h准时送达！
新加坡叫外卖,我选星食客！
#新加坡# #星食客外卖# #新加坡外卖#
周日就是父亲节啦！ 有时候比起一句“父亲节快乐”，大概一份美食更来得实用一些 在此，星食客外卖送出9份美食礼包，希望大家能感受到小哥对各位爸爸的爱
.
看过来！看过来！看过来！
父亲节美食大礼包这就为大家奉上～
9份美食小餐请你免费吃！
.
吉祥苑
➤榛蘑炖小鸡（价值24新）
来自大东北的美味据说是东北人招待贵客必不可少的一道菜肉鲜汤美，营养养生两不误!
.
蜀香鸡公煲四川小厨
➤鸡公煲（小份）（价值20新）
主打川菜四川大厨亲自掌勺，鸡公煲一定不能错过，味道绝对煲你满意
.
拌Ban（索美塞麻辣拌）
➤经典套餐两份（价值16.4新）
谁能拒绝开胃过瘾的麻辣拌呢虽然用料简单，但你可不要小瞧了真的是吃一口就爱上了
.
参与方式
‼打开小红书APP，点击图片左下方「限时抽奖」标识～
随机抽取9位朋友送出「父亲节美食礼包」
快快动动小手指参与起来吧！说不定下一个“锦鲤”就是你！
星食客外卖祝各位爸爸们父亲节快乐
.
活动时间
开奖时间⏳2022.6.30
领奖时间⏳2022.7.1-2022.7.15
.
新加坡最大中文外卖平台！
各种美味7x24h准时送达！
新加坡叫外卖,我选星食客！
#新加坡# #星食客外卖# #新加坡外卖#
非晶碳层的刻蚀特性研究
介绍
随着半导体器件的小型化和超大规模集成(VLSI)电路的图案密度的增加，单个光致抗蚀剂掩模不再适用于细线图案化和接触图案化。 尽管单光刻胶掩模工艺被认为是器件制造中的简单工艺，但在接触氧化物期间，它对光刻胶掩模层的氧化物蚀刻选择性低光刻从365纳米I-线和248纳米KrF变为193纳米ArF和13.56纳米远紫外(EUV)，为了增加光致抗蚀剂的透射率，光致抗蚀剂材料的主链结构必须从硬的芳族结构变为软的脂族结构，其具有较低的光吸收，并且这种软结构进一步降低了氧化物的蚀刻选择性为了抵抗，由于其柔软性，图案化的光致抗蚀剂在长时间暴露于等离子体的过程中容易变形，产生诸如扭曲和缺口的问题。
在反应离子蚀刻器中使用氧等离子体氧等离子体中存在的自由基倾向于引起图案化ACL的不希望的侧壁蚀刻，这导致弓形蚀刻轮廓和增加的顶部图案开口。
在本研究中，引入COS作为一种新的氧气添加气体，在刻蚀ACL的过程中形成有效的侧壁钝化层，而不会显著改变ACL的刻蚀速率。已经研究了通过向氧等离子体中引入COS作为添加气体，ACL硬掩模蚀刻轮廓和蚀刻机理的变化，并且还研究了由于改进的50纳米尺寸ACL接触硬掩模，HARC二氧化硅的蚀刻特性。
结果和讨论
数字1 显示了仅使用O2而不使用任何添加气体蚀刻的ACL的(a)孔轮廓和(b)顶部孔形状的SEM照片。工艺条件是900 W 60 MHz rf功率、20毫托O2 (200 sccm)和300 K。当仅使用O2蚀刻ACL时，获得具有宽顶部孔尺寸和窄底部孔尺寸的锥形无定形碳孔蚀刻轮廓。此外，在顶部孔区域附近，还观察到弓形无定形碳孔轮廓。在反应离子蚀刻期间，由于在衬底附近形成的鞘电势，氧离子被垂直吸引到晶片表面，并且它们各向异性地蚀刻ACL。然而，氧等离子体中的氧自由基和被SiON掩模散射的氧离子倾向于增强顶部接触区域附近的侧壁蚀刻，导致通过ACL的各向同性蚀刻的弓形和锥形无定形碳孔蚀刻轮廓，其随着蚀刻深度的增加而减小。并且，如图2所示。1(b)随着蚀刻时间增加到(b) 50%过蚀刻和(c) 100%过蚀刻，其中过蚀刻百分比定义为总蚀刻时间/刚好蚀刻
时间为0.5 lm厚的ACL)×100%，孔洞最终通过孔顶侧的过度开口合并。随着蚀刻深度和无定形碳孔的纵横比的增加，在图2中观察到的锥形和弓形。1(a)，变得更加严重，如图。1(b)随着蚀刻时间的增加，蚀刻量增加。然后，由于孔顶侧的过度开口，孔最终合并。
在50纳米HARC二氧化硅的蚀刻中，使用具有和不具有COS的O2等离子体形成的无定形碳孔图案被用作蚀刻掩模。使用与蚀刻不同的反应离子蚀刻器来蚀刻HARC二氧化硅
实验蚀刻中使用的条件。在1.5 lm厚的HARC二氧化硅蚀刻之前和之后，无定形碳掩模的顶部显示在图1中。9 对于50纳米有和没有COS形成的无定形碳孔图案。当蚀刻HARC二氧化硅时，由于弓形和锥形侧壁蚀刻，无定形碳掩模具有窄的瓶颈状轮廓(图2中的图片)。9 左上或图。1左)比添加COS后形成的具有改进轮廓的掩模蚀刻得更快。9左下方或图。7底部)是因为通过倾斜的物理轰击增强了掩模层的去除角度。在蚀刻1.5 lm厚的HARC二氧化硅之后对于用COS形成的非晶碳掩模，剩余的非晶碳层较厚，并且该厚层将SiO2蚀刻选择性(掩模层的蚀刻速率/SiO 2层的蚀刻速率之比)提高了约20%,这是通过对于没有COS的非晶碳掩模层的剩余非晶碳层实现的。此外，由于添加COS改善了无定形碳底部开口，SiO2接触轮廓的开口率(顶部孔尺寸/底部孔尺寸的比率)改善了约5%。
.结论
为了改善ACL用作HARC二氧化硅刻蚀掩膜的刻蚀特性，在O2等离子体中加入一种新的添加气体COS，研究了它对无定形碳孔刻蚀特性的影响。当在反应离子蚀刻器中使用没有COS的氧等离子体蚀刻覆盖有50 nm SiON掩模的ACL时，获得了无定形碳孔的弓形蚀刻轮廓和锥形蚀刻轮廓。此外，还观察到无定形碳孔形状的扭曲。然而，当向O2等离子体中添加5% COS时，即使ACL的蚀刻速率略微降低了约8%，无定形碳的蚀刻轮廓也显示出改善；也就是说，添加5%的COS，侧壁弯曲宽度减少约10%，底孔开口增加约20%，因此提高37%
由于在蚀刻的无定形碳孔的侧壁上沉积了硫化碳相关的钝化层，可以获得总蚀刻轮廓比率(顶部孔尺寸/底部孔尺寸的比率)。由于硫化碳相关层在无定形碳孔侧壁上的均匀沉积，无定形碳孔的变形也可能改善了约6%。当使用在具有COS的O2等离子体中形成的无定形碳掩模蚀刻HARC SiO2时，由于无定形碳掩模轮廓的改善，与使用在纯氧等离子体中形成的无定形碳掩模蚀刻相比，可以观察到相对于掩模层的SiO2蚀刻选择性提高了约20%,以及顶部SiO2接触轮廓的开口改善。使用含COS的氧等离子体蚀刻ACL的特性比使用含HBr的氧等离子体蚀刻ACL的特性更好，HBr通常用作无定形碳孔蚀刻中侧壁钝化的添加气体。因此，认为COS可广泛用作无定形碳掩模图案化的添加气体，其可应用于例如下一代深亚微米器件加工领域中的高纵横比和高密度图案的蚀刻。#回归家庭的一定要是妈妈吗# #武侠片断代了吗#
介绍
随着半导体器件的小型化和超大规模集成(VLSI)电路的图案密度的增加，单个光致抗蚀剂掩模不再适用于细线图案化和接触图案化。 尽管单光刻胶掩模工艺被认为是器件制造中的简单工艺，但在接触氧化物期间，它对光刻胶掩模层的氧化物蚀刻选择性低光刻从365纳米I-线和248纳米KrF变为193纳米ArF和13.56纳米远紫外(EUV)，为了增加光致抗蚀剂的透射率，光致抗蚀剂材料的主链结构必须从硬的芳族结构变为软的脂族结构，其具有较低的光吸收，并且这种软结构进一步降低了氧化物的蚀刻选择性为了抵抗，由于其柔软性，图案化的光致抗蚀剂在长时间暴露于等离子体的过程中容易变形，产生诸如扭曲和缺口的问题。
在反应离子蚀刻器中使用氧等离子体氧等离子体中存在的自由基倾向于引起图案化ACL的不希望的侧壁蚀刻，这导致弓形蚀刻轮廓和增加的顶部图案开口。
在本研究中，引入COS作为一种新的氧气添加气体，在刻蚀ACL的过程中形成有效的侧壁钝化层，而不会显著改变ACL的刻蚀速率。已经研究了通过向氧等离子体中引入COS作为添加气体，ACL硬掩模蚀刻轮廓和蚀刻机理的变化，并且还研究了由于改进的50纳米尺寸ACL接触硬掩模，HARC二氧化硅的蚀刻特性。
结果和讨论
数字1 显示了仅使用O2而不使用任何添加气体蚀刻的ACL的(a)孔轮廓和(b)顶部孔形状的SEM照片。工艺条件是900 W 60 MHz rf功率、20毫托O2 (200 sccm)和300 K。当仅使用O2蚀刻ACL时，获得具有宽顶部孔尺寸和窄底部孔尺寸的锥形无定形碳孔蚀刻轮廓。此外，在顶部孔区域附近，还观察到弓形无定形碳孔轮廓。在反应离子蚀刻期间，由于在衬底附近形成的鞘电势，氧离子被垂直吸引到晶片表面，并且它们各向异性地蚀刻ACL。然而，氧等离子体中的氧自由基和被SiON掩模散射的氧离子倾向于增强顶部接触区域附近的侧壁蚀刻，导致通过ACL的各向同性蚀刻的弓形和锥形无定形碳孔蚀刻轮廓，其随着蚀刻深度的增加而减小。并且，如图2所示。1(b)随着蚀刻时间增加到(b) 50%过蚀刻和(c) 100%过蚀刻，其中过蚀刻百分比定义为总蚀刻时间/刚好蚀刻
时间为0.5 lm厚的ACL)×100%，孔洞最终通过孔顶侧的过度开口合并。随着蚀刻深度和无定形碳孔的纵横比的增加，在图2中观察到的锥形和弓形。1(a)，变得更加严重，如图。1(b)随着蚀刻时间的增加，蚀刻量增加。然后，由于孔顶侧的过度开口，孔最终合并。
在50纳米HARC二氧化硅的蚀刻中，使用具有和不具有COS的O2等离子体形成的无定形碳孔图案被用作蚀刻掩模。使用与蚀刻不同的反应离子蚀刻器来蚀刻HARC二氧化硅
实验蚀刻中使用的条件。在1.5 lm厚的HARC二氧化硅蚀刻之前和之后，无定形碳掩模的顶部显示在图1中。9 对于50纳米有和没有COS形成的无定形碳孔图案。当蚀刻HARC二氧化硅时，由于弓形和锥形侧壁蚀刻，无定形碳掩模具有窄的瓶颈状轮廓(图2中的图片)。9 左上或图。1左)比添加COS后形成的具有改进轮廓的掩模蚀刻得更快。9左下方或图。7底部)是因为通过倾斜的物理轰击增强了掩模层的去除角度。在蚀刻1.5 lm厚的HARC二氧化硅之后对于用COS形成的非晶碳掩模，剩余的非晶碳层较厚，并且该厚层将SiO2蚀刻选择性(掩模层的蚀刻速率/SiO 2层的蚀刻速率之比)提高了约20%,这是通过对于没有COS的非晶碳掩模层的剩余非晶碳层实现的。此外，由于添加COS改善了无定形碳底部开口，SiO2接触轮廓的开口率(顶部孔尺寸/底部孔尺寸的比率)改善了约5%。
.结论
为了改善ACL用作HARC二氧化硅刻蚀掩膜的刻蚀特性，在O2等离子体中加入一种新的添加气体COS，研究了它对无定形碳孔刻蚀特性的影响。当在反应离子蚀刻器中使用没有COS的氧等离子体蚀刻覆盖有50 nm SiON掩模的ACL时，获得了无定形碳孔的弓形蚀刻轮廓和锥形蚀刻轮廓。此外，还观察到无定形碳孔形状的扭曲。然而，当向O2等离子体中添加5% COS时，即使ACL的蚀刻速率略微降低了约8%，无定形碳的蚀刻轮廓也显示出改善；也就是说，添加5%的COS，侧壁弯曲宽度减少约10%，底孔开口增加约20%，因此提高37%
由于在蚀刻的无定形碳孔的侧壁上沉积了硫化碳相关的钝化层，可以获得总蚀刻轮廓比率(顶部孔尺寸/底部孔尺寸的比率)。由于硫化碳相关层在无定形碳孔侧壁上的均匀沉积，无定形碳孔的变形也可能改善了约6%。当使用在具有COS的O2等离子体中形成的无定形碳掩模蚀刻HARC SiO2时，由于无定形碳掩模轮廓的改善，与使用在纯氧等离子体中形成的无定形碳掩模蚀刻相比，可以观察到相对于掩模层的SiO2蚀刻选择性提高了约20%,以及顶部SiO2接触轮廓的开口改善。使用含COS的氧等离子体蚀刻ACL的特性比使用含HBr的氧等离子体蚀刻ACL的特性更好，HBr通常用作无定形碳孔蚀刻中侧壁钝化的添加气体。因此，认为COS可广泛用作无定形碳掩模图案化的添加气体，其可应用于例如下一代深亚微米器件加工领域中的高纵横比和高密度图案的蚀刻。#回归家庭的一定要是妈妈吗# #武侠片断代了吗#
✋热门推荐