电弧离子镀技术中脉冲偏压作用的基本原理
1)电弧离子镀中直流偏压的不足。电弧离子的理化率达60% ~ 90%,具有沉积速度快、膜气结合力强、镀层性好、反应沉积容易获得钛、氮化物等化合物涂层的优点,成为TiN型硬质薄膜不可替代的涂层工艺。但是传统的电弧离子镀总是直流的。下文偏压电源厂家说说电弧离子镀技术中脉冲偏压作用的基本原理。
偏压电源
由于一定的直流负偏压,离子不断轰击基板,从面限制了:镀膜。
由于沉积温度相对较高(400 ~ 500),低回火温度和低熔点基板上电镀受到限制,膜层的内应力相对较大,较难堆积厚膜。
从阴极电弧源喷射大的金属液滴,使膜层组织粗糙。
偏压电源厂家认为直流偏置电源防止电弧速度慢、电弧功能下降,容易导致工作表面烧 伤。
2)电弧离子镀中脉冲偏压的出现。这是为了进一步降低沉积温度,克服其他不足。将电弧离子镀的传统直流偏压改为脉冲偏压,制成了脉冲偏压电弧离子镀。其典型异常状态偏置与时间关系。
在电弧离子镀中,脉冲电源主电路的各开关部件已采用IGBT。目前,单管IGBT的升降时间在150~400ns之间,开通和关闭时间大部分在400~800ns之间,功率容量已达到600A/1200V、300A/1700V的水平。
目前我国脉冲偏置电源的设计和制造水平基本上可以满足电弧离子镀的科研和生产需求。典型的电源参数为3360频率5~80kHz,脉冲偏置大小可能重叠0~-1500V。DC偏置0~-300V、占空比5%~85%另外,不对称双极脉冲偏置电源也开始应用。
偏压电源厂家觉得使用脉冲偏置电源供电时,电压有中断间隔,在脉冲周期内断电。供电时间在脉冲周期中所占的比率称为占空比。通常,显示为' % '。在一个脉冲周期内间歇供电的时间由占空比控制。
通常在800~1000V高压下进行“主攻轰炸”时,占比控制在20%左右。
沉积钛、氮化物等化合物涂层时,将占用比例控制在80%左右。
我是爱分享光电知识的——跃迁光电,希望本篇文章能对大家有所帮助。
“跃迁光电”是一站式光电产品网络商城。厂家不但生产高压直流电源,还可以根据客户的需求进行开发设计,量身定制高压直流电源。同时“跃迁光电”的产品还具有体积小、使用简单、功能多、品种齐全、保护完善、控制灵活的优势。
截止到2023年,“跃迁光电”的产品已经扩大到12个品类,产品应用于科学、环保、工业等多个领域。现在“跃迁光电”的总部设在北京,同时在上海、苏州都设有办事处,“跃迁光电”的销售网络已经遍及全国。同时“跃迁光电”的产品也已经销往欧洲、美国、日本等国。“科技打造精品,诚信铸就未来”,跃迁人将为电源行业的发展和应用而不懈努力,——欢迎与我们联系洽谈。
1)电弧离子镀中直流偏压的不足。电弧离子的理化率达60% ~ 90%,具有沉积速度快、膜气结合力强、镀层性好、反应沉积容易获得钛、氮化物等化合物涂层的优点,成为TiN型硬质薄膜不可替代的涂层工艺。但是传统的电弧离子镀总是直流的。下文偏压电源厂家说说电弧离子镀技术中脉冲偏压作用的基本原理。
偏压电源
由于一定的直流负偏压,离子不断轰击基板,从面限制了:镀膜。
由于沉积温度相对较高(400 ~ 500),低回火温度和低熔点基板上电镀受到限制,膜层的内应力相对较大,较难堆积厚膜。
从阴极电弧源喷射大的金属液滴,使膜层组织粗糙。
偏压电源厂家认为直流偏置电源防止电弧速度慢、电弧功能下降,容易导致工作表面烧 伤。
2)电弧离子镀中脉冲偏压的出现。这是为了进一步降低沉积温度,克服其他不足。将电弧离子镀的传统直流偏压改为脉冲偏压,制成了脉冲偏压电弧离子镀。其典型异常状态偏置与时间关系。
在电弧离子镀中,脉冲电源主电路的各开关部件已采用IGBT。目前,单管IGBT的升降时间在150~400ns之间,开通和关闭时间大部分在400~800ns之间,功率容量已达到600A/1200V、300A/1700V的水平。
目前我国脉冲偏置电源的设计和制造水平基本上可以满足电弧离子镀的科研和生产需求。典型的电源参数为3360频率5~80kHz,脉冲偏置大小可能重叠0~-1500V。DC偏置0~-300V、占空比5%~85%另外,不对称双极脉冲偏置电源也开始应用。
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通常在800~1000V高压下进行“主攻轰炸”时,占比控制在20%左右。
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怎么回事啊 流浪者不但要参与流浪地球计划,还兼职克小人属性嘛?【ps 早在上古时期有男女恋爱方面的事情 有下头楠因为散厨喜欢散爆典,我记得不止一起 】
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【不但有BAW,还有FBAR,BAW之后就是FBAR】
新浪科技早在北京时间5月23日发布的消息称,苹果公司今日宣布,已与博通公司(Broadcom)达成一项价值数十亿美元的新协议,在美国开发5G射频组件。
对此,苹果CEO蒂姆·库克(Tim Cook)在一份声明中表示:“在这里,我们很高兴地做出承诺,利用美国制造业的独创性、创造力和创新精神。”
根据这项合作协议,博通将在美国开发和生产一系列关键的5G射频组件,包括 FBAR滤波器和其他尖端无线连接组件。其中,FBAR滤波器将在包括科罗拉多州柯林斯堡(Fort Collins)在内的几个美国制造和技术中心设计和制造。
苹果表示,与博通的这笔协议,也是其2021年承诺向美国经济投资4300亿美元计划的一部分。同时,这笔交易也是两家公司合作的最新进展。博通早在2020年曾宣布,将向苹果出售价值150亿美元的无线组件。
苹果还称,与博通的这笔交易还将使其能够投资于“关键的自动化项目,并与工程师和其他技术人员一起提高技能”。
根据这份声明,苹果已经在博通的柯林斯堡FBAR过滤器制造工厂支持了1100多个工作岗位。
我们知道,BAW滤波器可用于组成射频前端模块,可在无线通信的各类场景下获得使用。射频高复杂度发射模组(FEMiD、PAMiD),已成为5G射频前端最高难度也是最高价值的金字塔尖领域。5G对射频带来的最大挑战和最大机遇就是射频模组化,而射频模组化的核心瓶颈在于射频滤波器芯片。
BAW滤波器是手机5G通信中最“卡脖子”的环节,也是华为量产5G手机的最大阻碍。射频前端对手机信号传输质量至关重要,主要包括滤波器、功率放大器、开关、低噪声放大器四种器件。
那么,FBAR呢?
Fbar滤波器工艺是一种新型的滤波器工艺,它采用了表面声波滤波器(Surface Acoustic Wave Filter)技术,可以实现高性能、高可靠性的滤波器设计。Fbar滤波器工艺的应用范围非常广泛,包括通信、无线电、雷达、卫星通信等领域。
Fbar滤波器工艺的核心技术是表面声波滤波器技术。表面声波滤波器是一种利用表面声波在晶体中传播的特性来实现滤波的器件。它的工作原理是将电信号转换成表面声波信号,然后通过晶体中的声波传播来实现滤波。由于表面声波滤波器具有高品质因数、高选择性、低插入损耗等优点,因此被广泛应用于各种领域。
Fbar滤波器工艺的制造过程非常复杂,需要采用先进的微纳加工技术。首先,需要在晶体表面制造出一层金属电极,然后在电极上制造出一层压电材料。接下来,需要在压电材料上制造出一层反射层,以便反射表面声波信号。最后,需要在反射层上制造出一层金属电极,以便将表面声波信号转换成电信号输出。Fbar滤波器工艺的优点在于它可以实现高性能、高可靠性的滤波器设计。由于表面声波滤波器具有高品质因数、高选择性、低插入损耗等优点,因此Fbar滤波器可以实现更高的滤波性能。
此外,Fbar滤波器还具有体积小、重量轻、功耗低等优点,因此可以在各种场合下广泛应用。Fbar滤波器工艺是一种非常先进的滤波器工艺,它采用了表面声波滤波器技术,可以实现高性能、高可靠性的滤波器设计。随着微纳加工技术的不断发展,Fbar滤波器工艺将会在各种领域得到更广泛的应用。
新浪科技早在北京时间5月23日发布的消息称,苹果公司今日宣布,已与博通公司(Broadcom)达成一项价值数十亿美元的新协议,在美国开发5G射频组件。
对此,苹果CEO蒂姆·库克(Tim Cook)在一份声明中表示:“在这里,我们很高兴地做出承诺,利用美国制造业的独创性、创造力和创新精神。”
根据这项合作协议,博通将在美国开发和生产一系列关键的5G射频组件,包括 FBAR滤波器和其他尖端无线连接组件。其中,FBAR滤波器将在包括科罗拉多州柯林斯堡(Fort Collins)在内的几个美国制造和技术中心设计和制造。
苹果表示,与博通的这笔协议,也是其2021年承诺向美国经济投资4300亿美元计划的一部分。同时,这笔交易也是两家公司合作的最新进展。博通早在2020年曾宣布,将向苹果出售价值150亿美元的无线组件。
苹果还称,与博通的这笔交易还将使其能够投资于“关键的自动化项目,并与工程师和其他技术人员一起提高技能”。
根据这份声明,苹果已经在博通的柯林斯堡FBAR过滤器制造工厂支持了1100多个工作岗位。
我们知道,BAW滤波器可用于组成射频前端模块,可在无线通信的各类场景下获得使用。射频高复杂度发射模组(FEMiD、PAMiD),已成为5G射频前端最高难度也是最高价值的金字塔尖领域。5G对射频带来的最大挑战和最大机遇就是射频模组化,而射频模组化的核心瓶颈在于射频滤波器芯片。
BAW滤波器是手机5G通信中最“卡脖子”的环节,也是华为量产5G手机的最大阻碍。射频前端对手机信号传输质量至关重要,主要包括滤波器、功率放大器、开关、低噪声放大器四种器件。
那么,FBAR呢?
Fbar滤波器工艺是一种新型的滤波器工艺,它采用了表面声波滤波器(Surface Acoustic Wave Filter)技术,可以实现高性能、高可靠性的滤波器设计。Fbar滤波器工艺的应用范围非常广泛,包括通信、无线电、雷达、卫星通信等领域。
Fbar滤波器工艺的核心技术是表面声波滤波器技术。表面声波滤波器是一种利用表面声波在晶体中传播的特性来实现滤波的器件。它的工作原理是将电信号转换成表面声波信号,然后通过晶体中的声波传播来实现滤波。由于表面声波滤波器具有高品质因数、高选择性、低插入损耗等优点,因此被广泛应用于各种领域。
Fbar滤波器工艺的制造过程非常复杂,需要采用先进的微纳加工技术。首先,需要在晶体表面制造出一层金属电极,然后在电极上制造出一层压电材料。接下来,需要在压电材料上制造出一层反射层,以便反射表面声波信号。最后,需要在反射层上制造出一层金属电极,以便将表面声波信号转换成电信号输出。Fbar滤波器工艺的优点在于它可以实现高性能、高可靠性的滤波器设计。由于表面声波滤波器具有高品质因数、高选择性、低插入损耗等优点,因此Fbar滤波器可以实现更高的滤波性能。
此外,Fbar滤波器还具有体积小、重量轻、功耗低等优点,因此可以在各种场合下广泛应用。Fbar滤波器工艺是一种非常先进的滤波器工艺,它采用了表面声波滤波器技术,可以实现高性能、高可靠性的滤波器设计。随着微纳加工技术的不断发展,Fbar滤波器工艺将会在各种领域得到更广泛的应用。
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