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2024.2.25
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【高数值孔径EUV的首个量产制程——发布】#芯片##半导体##光刻机#

在2024年2月21日，在加州举行的Intel Foundry Direct Connect大会上，英特尔首度发布Intel 14A工艺及Intel 14A-E。Intel also unveiled its new process roadmap featuring Intel 14A, an all-new process node, and a range of process node evolutions designed for foundry customers

Intel 14A工艺——对标1.4nm，是英特尔作为首个——估计也是业界首个——采用ASML高数值孔径EUV光刻机的制程，风险量产的时间，预计为2026年末。

此前，英特尔在2023年9月底宣布，在爱尔兰工厂Fab 34，使用EUV光刻机量产了Intel 4——对标 5nm制程——芯片产品，包括酷睿 Ultra 处理器Meteor Lake和至强系列等。