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AMC微污染气体监测系统
分析检测仪器(VOCs、TS/H2S/SO2、NH3、NOX 、
HCl/CL2、HF、多点切换采样系统)

分析检测仪器:VOCs在线色谱-质谱联用仪
• 原理:气相色谱质谱联用监测方式:FID/MSD检测
洁净室的制程环境中如果存在有机物质(AMC),将对制程上的良率产生很大的影响。EXPEC2000
VOCs在线色谱-质谱联用仪适用于挥发性有机物的在线监测,满足半导体行业复杂有机污染物监测预警
的需要,监测因子包括芳烃,苯系物,卤代烃,OVOC(酮类,脂类)。

 环境适应性强,启动速度快;
 采用质谱和保留时间双重确证;
 能够自动完成维护、质控、校准等运维
工作,降低运维工作难度;
 自主知识产权,可根据实际应用需求快速
对硬件、软件进行定制和升级。

① 检测能力:芳烃、苯系物、卤代烃、含氧有机物等100种
以上组分;
② 检出限:C2~C4,≤0.1ppb;C5~C12,苯≤0.03ppb,
其他≤0.1ppb;
③ 重复性:连续7次进样,不少于90%的目标化合物RSD小
于10%;
④ 低温前处理模块:深冷物理除水,低温冷阱富集

应用场合:
周界环境监测制程气体检测
纯度分析AMC监测系统

分析检测仪器:VOCs在线色谱-质谱联用仪
分析检测仪器:H2S/SO2分析仪(UVF-1350)
特点:
 监测方法:紫外荧光法;
 量程:最小0~50ppb,最大0~20ppm可选,支持双量程和
自动量程;
 自适应的信号过滤器优化响应时间
 温度和压力补偿
 屏幕显示:大屏幕触控操作的彩色图像显示屏

量程范围H2S: (0-50)ppb满量程,最大(0-10)ppm满量程
SO2:(0-50)ppb满量程,最大(0-20)ppm满量程
测量单位ppb、ppm、ug/m3、mg/m3用户可选
零点噪声<0.2ppb (RMS)
跨度噪声50ppb以上<0.5%(RMS)读数
最低检出限0.4ppb
零点漂移<0.5ppb /24h
跨度漂移读数<0.5%F.S./24h
延迟时间20秒
工作参数
工作温度(0-40) ℃
工作湿度0~95%RH(无凝露)
电源(220±22)VAC,(50±1)Hz

分析检测仪器: HCl/Cl2分析仪(IMS-1200)

特点:
 超低监测限,ppb级响应,实时监测污染物浓度
 快速响应,响应时间可达秒级,可应用于应急监测
 标准19英寸机箱设计
 日常维护保养要求极低
 单次校准可保证长达六个月无需再次校准
 操作简单

项目指标
测量原理离子迁移谱
测量组分HCL/CL2
测量范围0~50ppb
采样流量<500CC/MIN
检出限0.5ppb
响应时间<60s
量程漂移±2%F.S.
准确度±1.5ppb
工作温度15~30℃
工作湿度30~60%R.H.
供电100~240VAC

FTIR集中式气体分析系统(在研)
气体分析系统(GMS-1000、多点切换采样系统)

FTIR集中式气体分析系统(GMS-1000)

● 采用先进的傅里叶红外法,几乎可以探测半导体工业生
产的所有气体(有机、无机)
● 气体成分监测无需制样,直接采样,自动进行全组分的
定量分析
● 采用自主研发的气体切换模块,可以实现多点气体探测
工作,最高可达64路气体切换(定制),每个测量点最高
可配置16种气体成分,降低监测成本
● 采用双向TEC控温模式,保证仪器良好的稳定性和测量精
度●
完备的自动化运行方案,可选择无人值守模式,自主监
控仪器状态
● 内置流路控制系统,实现仪器自动吹扫、校正功能
● 先进的模块化设计,具备丰富的外扩功能,以适应不同
的气体监测场合。
● 多种通讯模块可供选择,灵活方便地与DCS系统相联,
实现数据传输

测量气体种类

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关于【增程式】怎么看

有过数年用车购车经验的人都会知道,在消费品领域,“技术先进”跟产品力不一定呈正相关,消费者应该关注的是产品的使用体验,而不是掉入“技术先进”的争论里。

首先大众(这里指人)嘴里的“技术先进”本身就是个伪命题,你问他评判“先进”的要件和标准是什么?是技术面世时间更短?是技术落地要的精密化协作更多?是技术需要投入的成本更大?

其次说把“技术”挂在嘴上的人根本不懂“技术”。很多人别看嘴上说得头头是道,其实就是在背车企宣发的PPT而已,一脑子都是营销话术罗织成的逻辑,自己不自知罢了,他真的懂技术吗?见过汽车制造吗?有工业从业背景吗?没有。多数懂麦弗逊和多连杆区别和原理的人忙着打螺丝呢,你说这些攒个5000pics的乐高还费劲的门外汉跟着别人山呼“技术”,咋不觉得脸红呢。

给大家举几个例子
1. 论技术的复杂和精密程度,论理念之超脱,马自达的转子发动机可谓汽车工业史上让人汗流浃背的存在,你现在看看马自达有哪个在售车装这玩意儿的?什么,你说你连马自达都见不到了,哦,是啊。

2. 在燃油车时代,全球一霸丰田汽车最让人熟知,又是最牢不可破的护城河是什么?是可靠性。可靠性可不是用“先进技术”堆出来的,相反,丰田在主销走量车上的技术实装可谓过于保守,远远落后于同时代德、美品牌。当别人已经在用9档10档变速箱和涡轮发动机洗脑消费者,丰田这逼还在给普拉多用祖传4速变速箱和自吸发动机。抛开鸡贼降成本的成分不说,丰田车“好修、耐造”是不是成为共识焊死在消费者的认知里了,这恰恰是普通消费者关心和需求的点。

3. 时间回溯到数十年前,德系某大品牌打出Tsi+7DSG,号称“技术遥遥领先的黄金动力组合”,小排量缸内直喷涡轮增压、7速干/湿式双离合变速器……看一堆人还对这种傻逼缩写翻译头头是道,你让那些“技术流”学人站在当时的视野评价一下,肯定是先进至极,以至于我家里就有一台,同时期的日系三杰还在自吸和5档变速箱(或CVT)呢。先不先进?非常先进,我“黄金动力组合”的帕萨特B7 开了11年8万km,表现非常喜人,变速箱总成只换过3次,这两天正好在4s躺着等换第四次呢。是的,大年初一一大早我爹刚给它磕完头,从村子里开到大路上它就趴窝了。

综上,我不认为增程式有什么问题,因为我是消费者,我只对我的使用感受负责,我的感受是很好。
至于技术开拓和商业运用,那是科学家和企业主们要考虑的事,那些山呼这样技术好,那样技术差,谁比谁高级的网友们,你一个月工资多少啊,心操得怪大的,要不要抬头看看地铁坐过站了没?


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