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1985年，电子部45所研制成功国产光刻机BG-101！···跟国外差距只有7年！
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我国超大规模集成电路工艺设备上的一项重大新成果---直接分步投影曝光机在四十五所研制成功！[打call][打call][打call][打call][打call]
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BG-101 DSW研制成功，4英寸，1.25微米，在中科院上海冶金所、电子部13所进行了工艺验证，通过部级鉴定。
【DSW=Direct Step on Wafer，硅片上步进式直接曝光，属于分步重复（Steppers）步进扫描光刻机，BG-101对标美国GCA 4800 DSW，后来在742厂进行了实用性工艺考核。
该机镜头取得重大突破，可以替代德国蔡司，45所当时还在甘肃平凉，80年代的三线军工单位可谓“极端困苦”，该所在相关文献中也有同样表述，在这样的条件下，45所自筹资金100万投入一期研发，获得成功】
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