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原创 芯片失效分析 半导体元器件失效分析可靠性测试 今天
前几天发了晶圆划片文章，反响强烈，不少粉丝要求做进一步介绍，今天请专业人士为你整理了晶圆划片发展历史沿革，供你参考，用得着的可以点赞评论分享给需要的人。
划片机发展历程
原来划片机经历了这三个阶段
精密划片机主要用于硅片、陶瓷、玻璃、砷化镓等材料的加工，也被广泛应用于集成电路 （IC）、半导体等行业。划片机作为半导体芯片后道工序的加工设备之一，用于晶圆的划片、分割或开槽等微细加工，其切割的质量与效率直接影响到芯片的质量和生产成本。
图片
纵观过去的半个世纪，大规模集成电路时代已向超大规模方向发展，集成度越来越高，划切槽也越来越窄，其对划片的工艺要求越发精细化。迄今为止，在芯片的封装工序中，划片工艺的发展历史大致可分为以下三个阶段。
第一阶段：金刚刀划片机
19世纪60年代是硅晶体管的发展初期，当时主要应用的划片装置是金刚石划片机，采用的是划线加工法，类似于划玻璃的原理。在晶片的切割街区划出宽2-5μm，深0.15-1.5μm的切线，再从划过线的晶片背面，用圆柱状的碎片工具边压边搓的分裂方法，将晶片分裂成单个芯片。这种方法非常依赖于人工操作，换句话说，操作人员的经验成分占比很大，加压分裂的依赖性就更大。因此，加工成品率很低。
第二阶段：砂轮划片机
六十年代中期进入集成电路时代，晶圆开始向2英寸、3英寸等大直径化发展。同时，晶圆厚度也从100微米加厚到200-300μm。就器件的划线街宽而言，晶体管发展到了60-100μm，IC为100-150μm，但是当时的砂轮刀片的厚度为150-200μm。在这种情况下，采用原来的工艺方法并不适用。
此时，日本研制出世界第一台极薄金刚石砂轮划片机，预示着划片机进入了薄金刚砂轮划片机时代。这种砂轮划片机有效避免了晶圆的裂开性和切槽崩边现象。其原理是通过电沉积法研制而成，即将金刚石粉附着在电镀的金属膜上，因沙粒与沙粒间的间隙被金属填满，增大了沙粒间的粘结力和砂轮的整体韧性，不会产生像树脂和金属粘结剂制成的砂轮上那样的气孔，达到了切割晶圆的实用目的。
激光划片机在当时也被认为是接近半导体划片工序的理想设备。其是采用激光束的光熔化硅单晶而进行切割，与金属熔断的加工工艺相似。因此，在切割晶体时烧出的硅粉会四处飞溅，气化状的硅微粒子附着在芯片表面造成污染，芯片也就不能用了。这也是激光 https://t.cn/A6xZX6Df
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划片机发展历程
原来划片机经历了这三个阶段
精密划片机主要用于硅片、陶瓷、玻璃、砷化镓等材料的加工，也被广泛应用于集成电路 （IC）、半导体等行业。划片机作为半导体芯片后道工序的加工设备之一，用于晶圆的划片、分割或开槽等微细加工，其切割的质量与效率直接影响到芯片的质量和生产成本。
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纵观过去的半个世纪，大规模集成电路时代已向超大规模方向发展，集成度越来越高，划切槽也越来越窄，其对划片的工艺要求越发精细化。迄今为止，在芯片的封装工序中，划片工艺的发展历史大致可分为以下三个阶段。
第一阶段：金刚刀划片机
19世纪60年代是硅晶体管的发展初期，当时主要应用的划片装置是金刚石划片机，采用的是划线加工法，类似于划玻璃的原理。在晶片的切割街区划出宽2-5μm，深0.15-1.5μm的切线，再从划过线的晶片背面，用圆柱状的碎片工具边压边搓的分裂方法，将晶片分裂成单个芯片。这种方法非常依赖于人工操作，换句话说，操作人员的经验成分占比很大，加压分裂的依赖性就更大。因此，加工成品率很低。
第二阶段：砂轮划片机
六十年代中期进入集成电路时代，晶圆开始向2英寸、3英寸等大直径化发展。同时，晶圆厚度也从100微米加厚到200-300μm。就器件的划线街宽而言，晶体管发展到了60-100μm，IC为100-150μm，但是当时的砂轮刀片的厚度为150-200μm。在这种情况下，采用原来的工艺方法并不适用。
此时，日本研制出世界第一台极薄金刚石砂轮划片机，预示着划片机进入了薄金刚砂轮划片机时代。这种砂轮划片机有效避免了晶圆的裂开性和切槽崩边现象。其原理是通过电沉积法研制而成，即将金刚石粉附着在电镀的金属膜上，因沙粒与沙粒间的间隙被金属填满，增大了沙粒间的粘结力和砂轮的整体韧性，不会产生像树脂和金属粘结剂制成的砂轮上那样的气孔，达到了切割晶圆的实用目的。
激光划片机在当时也被认为是接近半导体划片工序的理想设备。其是采用激光束的光熔化硅单晶而进行切割，与金属熔断的加工工艺相似。因此，在切割晶体时烧出的硅粉会四处飞溅，气化状的硅微粒子附着在芯片表面造成污染，芯片也就不能用了。这也是激光 https://t.cn/A6xZX6Df
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#不可辜负的美食# 寒冬来袭，喊话囤货？这些囤货必需品你确定不来看看？
[笑cry]这两天，大家被一则通知刷屏了吗？“鼓励家庭根据需要储存一定数量的生活必需品，满足日常生活和突发情况的需要”。一些网友迅速反应：这是喊我去囤货？还没等我反应过来，有些超市的大米，速食，零食都被抢购一空。
其实，应急清单只是应对疫情防控的常规操作。也是未雨绸缪，主要怕大家措手不及，当然，如果你只是找个借口买买买的话我也不是很反对~
除了大米，日用品这样的，相信大家都会日常在家存点吃的，以免有时候半夜饿的难受，小饼干啊小蛋糕之类的一直都是必备的，当然作为肉食爱好者还是不能少了肉类零食的，今天我来安利我的居家必备零食~
[抱一抱]鸡爪：鸡爪当然是第一位会储存的，看剧的时候怎么能少了鸡爪的陪伴呢，就算半夜饿的时候啃一个鸡爪，难以拒绝的诱惑，居家零食党、嘴馋办公党们的解馋零食。
[哈哈]虎皮鸡爪，油炸之后泡出虎皮纹，这是入味的关键。香酥的外皮变得水软滑口，煮得酥烂软嫩，皮筋一下就脱了出来，再被老卤汤料透进皮骨里，火辣辣地裹住，辣得嘴巴通红，又停不下嘴。这份丰富的口感，让人畅快淋漓。
鸡翅：鸡翅也是看剧爱好者必备的，储存的零食肉类不能储存肉很多的那种，因为这种肉吧还是要现做的好吃，当然是储存一些啃骨头类的比较有意思点。
猪蹄：猪蹄算是这些储藏肉类里肉比较多，一般买的都是真空包装的那种，吃猪蹄前最好用微波炉叮一下会更好。
[可怜]卤蛋：好多人都爱吃卤鸡蛋，作为吃货，我自然也不例外。一颗好的卤蛋，不仅是各种香料混合而成的香气赋予了鸡蛋一流的味道，而且还要有Q的口感，轻轻捏一捏，如弹簧般收缩自如；咬一口，蛋白弹性十足接触感极好。这样的卤鸡蛋，任谁也抵挡不住它的诱惑！[色]
[爱你]小编温馨提示大家理性囤货，买点自己爱吃的小零食倒是可以，有了这些好吃又好囤的美味，这个冬天，稳了！[打call][打call]
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其实，应急清单只是应对疫情防控的常规操作。也是未雨绸缪，主要怕大家措手不及，当然，如果你只是找个借口买买买的话我也不是很反对~
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鸡翅：鸡翅也是看剧爱好者必备的，储存的零食肉类不能储存肉很多的那种，因为这种肉吧还是要现做的好吃，当然是储存一些啃骨头类的比较有意思点。
猪蹄：猪蹄算是这些储藏肉类里肉比较多，一般买的都是真空包装的那种，吃猪蹄前最好用微波炉叮一下会更好。
[可怜]卤蛋：好多人都爱吃卤鸡蛋，作为吃货，我自然也不例外。一颗好的卤蛋，不仅是各种香料混合而成的香气赋予了鸡蛋一流的味道，而且还要有Q的口感，轻轻捏一捏，如弹簧般收缩自如；咬一口，蛋白弹性十足接触感极好。这样的卤鸡蛋，任谁也抵挡不住它的诱惑！[色]
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