宁波杭州湾新区网站介绍，近日，由光微半导体材料（宁波）有限公司投资的国产3nm超纯溅射靶材产业化项目投入试生产。项目产品主要为7N超纯铜，正在进行客户验证阶段，预计近期可实现量产，此外，靶材产品预计明年初投入试生产。

资料显示，光微半导体材料是一家专注于生产超高纯电子专用材料、超纯合金铸锭、超高纯有色金属精密加工的科技型企业，专注于3nm半导体超纯溅射靶材的研发、生产和销售，是国内唯一掌握7N超纯金属材料提纯技术、超纯铜基微合金铸锭技术、3nm半导体工艺靶材加工技术的公司。

光微半导体材料主打产品超高纯铜锰溅射靶材，可满足45-3nm工艺节点使用，已与台湾地区光洋达成多年稳定的合作，为其供应超高纯6N/7N铜原料，后为其代工3nm芯片制造工艺所需的铜锰靶材。

目前光微半导体材料生产的超纯溅射靶材已通过光洋应用材料科技股份有限公司进入台积电3nm供应链并完成工艺终试测试，并将进入3nm批量化供应阶段。其储备客户有中芯国际、华力微电子等行业龙头企业。

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