启泰“传感中国芯”的湖南担当

——解读中国首条压力传感芯片量产线背后的故事

■ 李 治

(刊载于《湖南日报》2021年12月1日10版)
#中国科技##传感器#
不久前,在国家智能传感器创新中心等单位主办的第二届中国智能传感大会上,湖南启泰传感科技有限公司(简称:“启泰公司”或“启泰”)被评为“2021感知领航年度杰出创新企业(成长型企业组,全国总共三家)”,公司董事长兼总经理王国秋被评为“2021感知领航八大标杆人物之一”。作为唯一代表,为湖南捧回行业盛会的最高荣誉。

传感器是物联网、大数据、人工智能、智能制造等新一代信息技术的感知基础和数据来源,已经成为推动数字经济转型升级与高质量发展的关键基础与重要引擎。

从人类社会发展趋势表明,传感器的需求量将随着经济和科技进步而水涨船高。《第三次工业革命》和《零边际成本社会》作者杰里米·里夫金甚至曾大胆猜想,“2030 年,全球应用的传感器数量将从 2013 年的 35 亿个突飞猛进到超过 100 万亿个,人与自然环境通过传感器紧密相连。”

近些年来,随着国际产业竞争格局的变化,全球万亿级传感器产业格局重新洗牌。这为智能传感器国产化带来新的挑战与机遇。

制造业正朝着数字化、智能化的方向转型,传感器的大量使用将是传统制造业实现高质量发展的必然选择,这为传感器企业的发展提供了前所未有的机会。

王国秋介绍,在工业控制、石油石化、采油炼油、航空航天、城市管网监测、工程机械、汽车等领域,压力传感器使用非常广泛。如一辆传统燃油汽车上面,压力传感器超过20颗。在未来发展中,压力传感器会趋向微型化、内置化、数字化、网络化方向发展。

产业竞争为传感器打开巨大的市场机会,正是检验企业技术真功夫的关键时刻。

“我不能说启泰的产品超过了欧美国家,但至少不会逊色。”启泰公司所在的长沙是工程机械之都,全球50强中,有4家在此地。

长沙工程机械产业规模全国第一,但液压传感器作为关键零部件还长期依赖进口。两年前,启泰量产线通线,长沙乃至全国工程机械产业的液压传感器配套需求均可实现自主可控。

经过对产品的严格筛查,启泰公司今年已是本土三一集团、中联重科、山河智能等工程机械巨头的合格供应商。

沈阳国仪检测技术有限公司等业内权威机构的抽查检测结果表明,由工程机械类客户单位送检的启泰传感器,各项指标均达到优良水平。大部分指标甚至高于国外一流企业的产品。

王国秋提到一件趣事,一家企业在对启泰公司产品的反复测试中,发现其各项性能指标好得超乎预期。怀疑启泰特意挑好的送检。有一次搞了个突然袭击,派人直接上门,找到库房挑了一些刚出产的产品去测试。结果发现,性能指标和之前的测试完全一致。

【自主可控】 传感器虽小作用大

在我国民用市场完全空白的金属基MEMS压敏芯片领域翩翩起舞,开启自主可控的全新技术时代,启泰公司凭什么这么牛?其技术产业化的价值到底有多大?

早些年,我国对传感器的发展有很大的争议。很多人认为传感器非常重要,需要国家加大力度来支持。但也有一种声音说,传感器单体价值不高,发展起来非常难,中国没有必要去做,用国际上现成的产品就好。美其名曰,产业分工。

王国秋介绍,我国自己能够生产的传感器敏感芯片占据份额不到10%。比如压敏金属基芯片,国产率不到0.5%。国内民品市场国产芯片,在启泰量产之前,颗粒无收。

“没有传感器,什么设备的能力都发挥不出来。所以传感器单个价值不大,但作用巨大。” 王国秋说,我国去年起加大对传感器研发的支持力度。但这种支持多从研究型出发,忽略了产业型。而产业化主要靠各种设备、工艺来保障。如果在特种工艺和设备上没有投入的话,产业化不可能有结果。

王国秋说,传感器敏感芯片生产线不像一般的集成电路产线那样具有通用性,一条传感器敏感芯片线,往往只能做很少种类的产品。比如说做温度传感器的产线不能做压力传感器,反之亦然。

“尽管单条线3到5亿元的投资看起来不大,但是由于传感器的种类太多,要把这两三万种传感器敏感芯片都做全,这个投资也是一个巨大的数额。”王国秋表示,传感器敏感芯片短期内完全自主可控有困难,有些传感器芯片不花10-20年时间是做不好的。

创新不是空喊口号,没有速成法,不经过长期积累是无法创新的。

基于科学预见和科学家情怀,启泰在压力传感器产业化这条道路进行了长期的艰辛探索。

启泰作为一个民营企业,在国家早期没有一分钱的投入下,在这个“高技术门槛、高资金门槛、高人才门槛”的微机电领域,以不管企业是否实现盈利,也一定要研发出“传感中国芯”,在产品价格与质量上与国外竞争的目标。凭借着满腔热诚和湖南人“吃得苦、霸得蛮、耐得烦”的秉性,王国秋最终坚持了下来。

在“十四五”开局之年,国家已将微机电系统作为集成电路的特色工艺纳入到了“十四五”前沿攻关技术领域,“传感中国芯”真正迎来了发展的春天。

【研发历程】 这把剑磨了十五年

压力传感器的核心技术是敏感芯片,从相关技术的研发到量产,王国秋这把剑磨了15年。

王国秋是从事“中国芯”较早的一批科研人员。早年在国防科技大学工作,后任湖南师范大学数学与统计学院教授、博士生导师。曾获得全军科技进步一等奖和二等奖,主持过4项国家级集成电路项目,湖南省政府曾给其记一等功。

2006年,王国秋研究重心转向应用广泛的压敏芯片和传感器,并决定走产业化道路。但是,压敏芯片的研制难度远超王国秋的预料。实验数不胜数,纽扣般大小的基底材料一箩筐、一箩筐的被烧坏。仅从2019年通线开始,调试工艺和设备用的芯片就消耗了1.9万颗。

但他的投入几近痴迷,这些年心无旁骛,没有做过其他投资。别说不赚快钱做房地产,连自己的住房都一直没有买,股票从没开过户。

研发是有风险的,因为一旦卡在一个环节上过不去,意味着前面的所有投入都白费。

面对各种困境,王国秋也有过几近崩溃、差点放弃的时刻,“要买材料、买设备、做实验,200万元很快就没了,还欠下了一屁股债,过年都有人上门讨债。还好,最终挺过来了。”

2013年,符合国际主流技术的压敏芯片关键技术终于破冰。这不是简单地重复国外的技术,而是一场颠覆性原创,研发了全新的功能材料和电路布局。

2016年开始建量产中试线,2019年,启泰的一条规范的高标准金属基压敏芯片生产线建成,从材料、核心技术、关键工艺和设备,到厂房的设计、芯片检测、封装均由启泰团队自主完成。

这是国内第一条量产线,也是目前唯一的一条。

自此,启泰攻克了“传感中国芯”生产全流程的难题,填补了我国规模化生产线的空白。

长沙市工程机械协会常务副会长兼秘书长吴京生说,启泰生产的芯片,是中国目前很少几类能与国际先进同类芯片相PK的芯片产品,是真正填补市场空白的具有核心竞争力的技术产品。

通线的喜悦实在是太短暂。还没有来得及好好休息一下,意料之中的“拦路虎”很快又出现了。芯片产线最麻烦的是良率、产能双爬坡,启泰生产线的第一批下线产品合格率不到20%。于是,启泰人开始了艰苦的良率爬坡。

所谓的良率爬坡,就是攻克产线里几十套生产工艺,任何一套工艺没有攻克,生产就会在这个环节停摆。例如,在光刻环节,由于进口的光刻胶不适合金属基底,启泰人硬是“跨界”配置出了自己的光刻胶,定制出了自己的光刻机。没有专用光刻机,生产效率是不可能提升的,产品的品质更无法保证。在产线建设中,由于芯片的基底不是硅材,由此导致传统的设备失效,这样的学费交了许多。如研磨机也是由国内知名厂商定制的,但它达不到对粗糙度的要求,第一台研磨机就交了学费。

又是一年半时间的努力,在产线上喂了1.9万颗基底,启泰产品现在的良率终于稳定在95%上下。

“在这个行业里面,95%良率是目前的天花板了。”王国秋自豪地说。

产能爬坡也在同步进行。启泰第一条线的设计产能是每年600万颗。目前正在根据市场的需求,逐步释放产能。

不久的将来,启泰首条线每年可生产600万颗金属基压敏芯片和数百万支传感器,年产值可达10亿元。

【湖南力量】 “三个高地”生力军

11月28日上午,中国共产党湖南省第十二次代表大会在省人民会堂胜利闭幕。

在全面落实“三高四新”战略定位和使命任务,为全面建设富强民主文明和谐美丽的社会主义现代化新湖南而努力奋斗的历史号角声中,启泰正加快启动第二条生产线的建设。产品专门针对新能源汽车,年产值将达到50亿元,可填补我国汽车传感器这类芯片领域产线的空白。

今年的省政府工作报告明确提出,要重点抓好十大技术攻关项目。其中列出的“湘潭大学碳基生物等先进传感器件项目”提到,湘潭大学、启泰传感等正在研制的传感器,突破碳基场效应晶体管传感器和我国工程机械、汽车产业液压装备发展的高性能压力传感器关键瓶颈技术,实现液压装备金属基薄膜压力传感器芯片产业化,建设液压装备压力传感器封装生产线,实现进口替代,提升我省工程机械关键核心零部件配套能力。

不久前,建设银行给予启泰传感授信1.39亿元,第一笔款项8000万元已到账。这些资金主要用于芯片产能的建设上。

建行浏阳支行行长章卓说,建行以服务全省全面落实“三高四新”战略定位和使命任务、增强服务国家建设能力为己任,今年以来,通过“五大行动”已对重点高科技型企业实现了走访的全覆盖。“对湖南十大攻关项目启泰的支持,得益于省行浓厚的创新氛围和创新实力。在省行直接指导下,我们通过产品创新,克服了公司处于初创期在融资上的系列限制,成功实现授信,这在金融支持科技企业发展上有较强的示范意义。基于启泰在传感器领域的核心地位,我们会长期合作而不仅仅是微风拂面式的短期支持。”

11月中旬,中国安全应急产业大会创投交易会发布项目评审结果,启泰公司“智慧消防物联网监测系统”入选为50大优秀项目之一,项目的核心支撑点就是启泰芯片在低压领域的重大突破。在国际上,这类芯片的最低测压只能到1MPa。而启泰芯片的最低测压可以到0.2MPa,将测量能力下探了两个数量级。

此前,长沙银行对启泰的预授信高达20亿元,积极支持启泰传感进军智慧消防领域。

今年5月29日,湖南省传感器产业促进会第一次会员大会在长沙召开,王国秋当选第一届会长。

湖南省传感器产业促进会的成立,是传感器产业发展的一座里程碑。

在启泰等行业龙头企业带动下,促进会将加快传感器关键核心技术攻关,攻克关键技术,发挥传感器产业促进会引领、规范、协调、服务的重大作用,未来将引导全省人工智能与传感器产业快速健康发展,助力湖南省打造成为传感器产业强省,为建设现代化新湖南贡献力量。

“传感器核心是敏感芯片,在相当长的时间内敏感芯片还是我国的短板。”展望未来,王国秋表示将继续攻坚克难,为我国制造业屹立于世界民族之林,为湖南全面落实“三高四新”战略定位和使命任务,作出新的应有贡献!

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《资治通鉴》(译文)
汉纪:汉高帝十一年(乙巳,公元前196年)
秋季,七月,淮南王黥布反叛。
起初,淮陽侯韩信被杀,黥布已感到心惊。待到彭越也遭处死,高帝又把他的肉制成肉酱分赐各地诸侯。使者到了淮南,淮南王黥布正在打猎,见了肉酱,大为惊恐,便暗中派人部署军队,等候邻郡报警告急。黥布的一个宠姬,因病去就医,医生与中大夫贲赫住对门。贲赫便备下厚礼,陪同宠姬在医生家饮酒。黥布却怀疑贲赫与宠姬私通,想抓起贲赫治罪。贲赫觉察,乘传车跑到长安城向高帝告发事变,说:“黥布谋反,已有迹象,应该趁他尚未发动先行诛杀。”高帝读了他的举报信,对萧何说起,萧何认为:“黥布不至于做这种事,恐怕是仇人妄行诬告他。可以先把贲赫抓起来,派人暗中查验黥布。”黥布见贲赫畏罪逃去向高帝控告,本来已经疑心他会说出本国的陰谋;汉朝使者又来,查验出不少证据;便杀光贲赫全家,发兵反叛。关于黥布造反的报告传至,高帝于是赦免贲赫,任命为将军。

高帝召集众将询问对策,大家都说:“发兵征讨,坑杀这家伙罢了,他有什么能耐!”汝陰侯滕公夏侯婴召来原楚国的令尹薛公,向他征求意见。薛公说:“黥布当然要反。”夏侯婴问:“皇上割地封给他,又分赐爵位让他称王,还有什么造反的道理?”薛公回答道:“皇上前不久杀了彭越,再早些还杀了韩信,他们三人,功劳相同是三位一体的,他自己疑心大祸降临,所以便造反了。”夏侯婴将此话告诉高帝,高帝于是传来薛公,问他,薛公回答说:“黥布造反不足为怪。但是,如果他采用上策,崤山之东便不再是汉朝所有的了;如果他采用中策,两方谁胜谁负还难以预料;如果他采用下策,那么陛下就可以高枕无忧了。”高帝问:“什么是他的上策?”回答说:“向东攻取吴地,向西夺占楚地,吞并齐地,占据鲁地,传令给燕、赵两地,让他们固守本土,那么崤山以东就不在汉朝手中了。”“什么是他的中策?”“向东攻取吴地,向西夺占楚地,吞并韩地,占据魏地,掌握敖仓的储粮,阻塞成皋通道,那么谁胜谁负就难以预料。”“什么是他的下策?”“向东攻取吴地,向西夺占下蔡,然后把辎重送回越地,自己回到长沙,那么陛下就可以高枕无忧,汉朝就没事了。”高帝又问:“他将会使哪种计策呢?”薛公说:“必使下策。”高帝问:“为什么他会舍弃上、中策而采用下策呢?”薛公答道:“黥布其人,原是个骊山的刑徒,自己奋力爬到王的高位,这些都使他只顾自身,不顾以后崐,更不会为百姓做长远打算。所以说他必采用下策。”高帝说:“好!”下令封薛公一千户。于是立皇子刘长为淮南王。

这时,高帝正有病,想让太子前去进攻黥布。太子的宾客东园公、绮里季、夏黄公、角里先生劝建成侯吕释之说:“太子统领大军,有了功劳地位已无以再增高,没有功劳便从此受祸。你何不赶快去请求吕后,抓个机会在皇上面前哭求说:‘黥布是天下闻名的猛将,擅长用兵。而我方众将领又都是过去与陛下平起平坐的旧人,要是让太子指挥这些人,无异于让羊去驱使狼,无人听命于他。况且假使黥布知道,便会击鼓向西,长驱直入了。皇上您虽然有病,也要勉强上帘车,躺着指挥,众将领就不敢不尽力。皇上虽然生病困苦,为了妻子儿女还是要自己振作一下!’”于是吕释之立刻连夜求见吕后。吕后找个机会对高帝流泪哀求,照四位宾客的意思说了。高帝说:“我本知道这小子不配派遣,还是我自己去吧!”

于是高帝亲自统领大兵向东进发,君臣留守朝中,都送行到霸上。留侯张良生了病,也支撑身子,来到曲邮,对高帝说:“我本应随您出征,但实在病重。黥布那些楚国人剽悍凶猛,望皇上不要和他硬拼!”又建议高帝让太子为将军,监领关中军队。高帝说:“张先生虽然有病在身,请勉强躺着辅佐太子。”当时,叔孙通是太子的太傅,张良代理少傅之事。高帝又下令征发上郡、北地、陇西的车、骑兵,巴、蜀两地的材官及京师中尉的军队三万人,作为皇太子的警卫部队,驻扎在霸上。

黥布造反之初,对部将说:“皇上老了,讨厌兵事,肯定不能来。要是派各大将,其中我只怕韩信、彭越,但他们现在都死了。其他人全不值得担心。”所以决心反叛。他果然像薛公说的那样,向东攻击吴地的荆王刘贾,刘贾败逃死在富陵;黥布胁迫刘贾的全部兵士,渡过淮河攻打楚王刘交。刘交发兵在徐县、僮县一带迎战,他把军队分为三支,想以互相救援出奇制胜。有人劝说楚将道:“黥布善于用兵,人们平时就惧怕他。何况兵法说:‘诸侯在自己领土上作战,士兵极易逃散。’现在楚军分为三支,敌军只要打败一支,其余的就会逃跑,哪能互相援救呢!”楚王不听,结果被黥布攻破一支,另两支果然便四散了。黥布于是引兵西进。

十二年(丙午,公元前195年)
冬季,十月,高帝刘邦与黥布军队在蕲西对阵。黥布军队十分精锐,高帝便在庸城坚壁固守。远远望去,黥布军队的布阵如同当年的项籍军队,高帝心中厌恶。他与黥布互相望见,远远地质问黥布:“你何苦要造反?”黥布崐回答说:“想当皇帝而已!”高帝怒声斥骂他,于是双方大战。黥布军队败退而逃,渡过淮河,虽然几次停住阵脚再战,仍不能取胜。他只好与一百余人逃到长江南岸,高帝便另派一员将军继续追击。

高帝凯旋,路过沛县,留下来,在沛宫举行酒宴。把旧友、父老、女长辈、家族子弟全部召来陪同饮酒,共叙旧情,欢笑作乐。酒喝到畅快时,高帝自己作歌,欣然起舞,唱到慷慨伤怀之时,洒下了几行热泪。高帝对沛县父老兄弟说:“游子悲故乡。我以沛公名义起事诛灭秦朝暴逆,才夺取了天下。现在把沛县当作我的汤沐邑,免除县中百姓的赋役,世世代代不予征收。”高帝在沛县饮酒欢乐十余天后,才离去。

汉朝将军在洮水南、北追击黥布残军,都大获全胜。黥布曾与番君吴芮结有婚姻之好,所以长沙成王吴臣便派人诱骗黥布,假称想和他一起逃到南越去。黥布果然相信,与使者前往,结果在布兹乡农民田舍被番陽人杀死。

周勃全部平定代郡、雁门、云中等地,在当城将陈斩首。

高帝因为荆王刘贾没有后人,便改荆国为吴国。辛丑日,立兄长刘仲的儿子刘濞为吴王,管辖三个郡五十三座城。


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