250℃电子束沉积ITO和HCl湿法蚀刻的方法
目的:
客户希望我们用电子束蒸发器在较高的温度下沉积ITO薄膜，并且薄膜电阻更小时薄膜厚度为100 nm时，薄膜厚度大于100 W/square。
样品:
一个双面抛光的2英寸蓝宝石晶片，以及一个小的单边抛光硅片。
实验:
1)样品清洗:蓝宝石晶片，DI漂洗，N2吹干，硅片:丙酮，甲醇超声浴，DI漂洗，在BHF中浸泡1分钟，DI再次漂洗，N2吹干。
2) ITO电子束蒸发:
a)将蓝宝石晶片和硅片装入2号电子束的样品座(上面那个);
b)泵送下腔室，设定加热器温度为580℃(实际阶段温度为250℃);
c)设置标称ITO厚度为150 nm，工装系数为69.9;
d)待室真空度达到1.94e-6 Torr时，开启高压和灯丝电流，然后设置在ITO材料，光束沿纵向和横向扫描，并使纵向和横向升高扫描频率分别为46和27
e)将30sccm O2流进弧度(必须同时打开电压和电流; 否则，它们就不会亮了压力为3.51e-4 Torr);
f) 5分钟后，打开快门，将电流调大，使速率达到~0.5 Å/s。
g)到达目标厚度后，关闭电压和电流，关闭加热器(0oC);
h)在关闭氧气流动前等待20分钟，然后，放气室，取样品(非常小心样品台非常热)
3)薄膜性能测量:
a)硅片上的椭偏仪测量:使用Cauchy模型，在薄膜和衬底之间有天然氧化层(10Å) 拟合曲线为:632.8 nm波长处(MSE=50.8) d=1660 Å， n=1.970;
b)在蓝宝石晶圆(16点)上进行4探头电阻测量，平均薄片电阻为27.0543 W/sq。
蓝宝石晶圆的光刻 略
用盐酸湿法蚀刻ITO膜略
关注后可查看完整内容
#杨子姗的吵架戏从没让人失望过#
目的:
客户希望我们用电子束蒸发器在较高的温度下沉积ITO薄膜，并且薄膜电阻更小时薄膜厚度为100 nm时，薄膜厚度大于100 W/square。
样品:
一个双面抛光的2英寸蓝宝石晶片，以及一个小的单边抛光硅片。
实验:
1)样品清洗:蓝宝石晶片，DI漂洗，N2吹干，硅片:丙酮，甲醇超声浴，DI漂洗，在BHF中浸泡1分钟，DI再次漂洗，N2吹干。
2) ITO电子束蒸发:
a)将蓝宝石晶片和硅片装入2号电子束的样品座(上面那个);
b)泵送下腔室，设定加热器温度为580℃(实际阶段温度为250℃);
c)设置标称ITO厚度为150 nm，工装系数为69.9;
d)待室真空度达到1.94e-6 Torr时，开启高压和灯丝电流，然后设置在ITO材料，光束沿纵向和横向扫描，并使纵向和横向升高扫描频率分别为46和27
e)将30sccm O2流进弧度(必须同时打开电压和电流; 否则，它们就不会亮了压力为3.51e-4 Torr);
f) 5分钟后，打开快门，将电流调大，使速率达到~0.5 Å/s。
g)到达目标厚度后，关闭电压和电流，关闭加热器(0oC);
h)在关闭氧气流动前等待20分钟，然后，放气室，取样品(非常小心样品台非常热)
3)薄膜性能测量:
a)硅片上的椭偏仪测量:使用Cauchy模型，在薄膜和衬底之间有天然氧化层(10Å) 拟合曲线为:632.8 nm波长处(MSE=50.8) d=1660 Å， n=1.970;
b)在蓝宝石晶圆(16点)上进行4探头电阻测量，平均薄片电阻为27.0543 W/sq。
蓝宝石晶圆的光刻 略
用盐酸湿法蚀刻ITO膜略
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#杨子姗的吵架戏从没让人失望过#
【瑞典历史上最著名的女性以及他们的家乡】#三八节快乐#
1️⃣萨拉·利德曼（Sara Lidman），20世纪瑞典最重要的作家之一，她的作品具有政治意义，并曾积极参加共产主义和环保运动。利德曼来自北部西博滕省（Västerbotten）的谢莱夫特奥市（Skellefteå）。去年，这座城市新落成一座地标建筑 - 萨拉文化艺术中心（Sara Culture Center），以此向其致敬。作为目前全球第二高的木制结构建筑，萨拉文化中心配备了艺术画廊、音乐厅、剧院、图书馆、会议中心、酒店、餐厅等多种功能。[鲜花]
Photo: Sven Burman/Sara Kulturhus
2️⃣卡琳·拉森（Karin Larsson），瑞典近现代著名的设计师。她和丈夫- 瑞典著名画家卡尔·拉森（Carl Larsson）将父辈留下来的一座小木屋精心改造，并采用了大胆的装饰和卡琳本人亲自编织的物品。这座传统的乡间木屋（Lilla Hyttnäs）至今仍是瑞典室内设计的范本，每年夏季开放给公众参观。卡琳·拉森的很多设计灵感均来自于家乡 - 位于达拉纳省风景如画的乡村Sundborn。[鲜花]
Photo: Jann Lipka/imagebank.sweden.se
3️⃣塞尔玛·拉格洛夫（Selma Lagerlöf），诺贝尔文学奖的首位女性获奖人。她不仅是一位伟大的作家，生前还积极为性别平等而发声。
位于瑞典中部韦姆兰省的Mårbacka庄园，是拉格洛夫的故居。这里的花园风光秀丽，构成博物馆故居的中心部分。花园看起来很有拉格洛夫时代的风格，里面种满了果树、草本植物、蔬菜和鲜花。[鲜花]
Photo: Jenny Nohrén
4️⃣维维卡·斯蒂恩（Viveca Sten）是瑞典最知名的现代悬疑小说家。她的代表作已在全球畅销发行上百万本。这部犯罪系列小说中描写的故事发生在Sandhamn - 斯德哥尔摩群岛之一的Sandön岛。从首都的市中心乘船一个小时即可到达，全年开放。Sandhamn亦是游艇爱好者喜爱的地方，瑞典皇家游艇俱乐部的所在地。夏季，这里游人如织，餐厅林立。[鲜花]
Photo: Anna Hållams
5️⃣克里斯蒂娜（Christina）于1703年出生于厄勒布鲁（Örebro），被人称为凯萨（Cajsa），她是一个才华横溢的年轻瑞典女孩，对烹饪充满热情。在她十几岁时，凯萨搬到斯德哥尔摩，开始做家庭厨师。1755年，她出版了一本长达800页的菜谱，获得了巨大的成功，这本菜谱成为瑞典最受欢迎也是最广泛流传的烹饪书之一，作者也因此被冠以“瑞典现代美食之母”的殊荣。你可以参观她在厄勒布鲁的故居，了解更多关于Cajsa Warg的生活和18世纪的瑞典美食。[鲜花]
Photo: Gunn-Viol Kattilakoski/Örebrokompaniet
6️⃣圣妇彼利日大（Birgitta Birgersdotter），救世主会创始人。她成功领导了很多宗教活动，同时作为妻子和八个孩子的母亲，激励了那个时代和后来的许多女性。在她当年所在的东约特兰省（Östergötland），在Söderköping和Vadstena之间有一条朝圣的徒步路线。[鲜花]
Photo: Oskar Lürén
7️⃣位于西瑞典的菲耶巴卡（Fjällbacka）曾被国际明星英格丽·褒曼（Ingrid Bergman）称为“人间天堂”，她在此度过了很多个夏天。
在这个梦幻迷人的海岛上出生并长大的卡米拉·拉克伯格（Camilla Läckberg），却在她的连续几部侦探小说中，把这里描述为犯罪现场的发生地。然而这并不影响菲耶巴卡继续成为游客趋之若鹜的度假胜地。那些迷人的鹅卵石街道、红色的船坞以及美味的海鲜，使其更具魅力。[鲜花]
Photo: Åsa Dahlgren/Westsweden.com
8️⃣瑞典王位继承人维多利亚公主，同时也是西约特兰省（Västergötland）公爵夫人。作为瑞典25个省之一，它的主要城市是瑞典第二大城市哥德堡。西约特兰省还坐拥众多湖泊、丰富的文化历史和宁静的自然。[鲜花]
Photo: Raphael Stecksén, Kungahuset.se
9️⃣阿斯特丽德·林格伦（Astrid Lindgren）是一位享誉世界的瑞典儿童文学作家，其作品在全球售出了约1.65亿册。她笔下塑造的最成功的儿童形象 - “世界上最强壮的女孩”长袜子皮皮，以及淘气包埃米尔，深入人心。后人在这位伟大的作家的家乡 - 斯莫兰省维默比，打造了一座“林格伦的世界”儿童乐园，故事书中的形象在这里被鲜活的呈现出来，100多名演员和现场表演为游客们带来无尽乐趣。[鲜花]
Photo: Tobias Röstlund / TT
对歌剧爱好者来说，比尔伊特·尼尔森（Birgit Nilsson）是个耳熟能详的名字。这位20世纪的天才女高音至今仍是瑞典最具国际知名度的歌剧演唱家。她被公认为瓦格纳作品的最佳歌唱家。
23岁之前，比尔伊特一直在位于瑞典西南部地区Svenstad的一个农场长大。如今，人们可以在她的故居改造成的博物馆内了解其更多生平和职业生涯的故事。[鲜花]
Photo: Gitte Lindström Hamark / Birgit Nilsson Museum
#瑞典多元文化#
1️⃣萨拉·利德曼（Sara Lidman），20世纪瑞典最重要的作家之一，她的作品具有政治意义，并曾积极参加共产主义和环保运动。利德曼来自北部西博滕省（Västerbotten）的谢莱夫特奥市（Skellefteå）。去年，这座城市新落成一座地标建筑 - 萨拉文化艺术中心（Sara Culture Center），以此向其致敬。作为目前全球第二高的木制结构建筑，萨拉文化中心配备了艺术画廊、音乐厅、剧院、图书馆、会议中心、酒店、餐厅等多种功能。[鲜花]
Photo: Sven Burman/Sara Kulturhus
2️⃣卡琳·拉森（Karin Larsson），瑞典近现代著名的设计师。她和丈夫- 瑞典著名画家卡尔·拉森（Carl Larsson）将父辈留下来的一座小木屋精心改造，并采用了大胆的装饰和卡琳本人亲自编织的物品。这座传统的乡间木屋（Lilla Hyttnäs）至今仍是瑞典室内设计的范本，每年夏季开放给公众参观。卡琳·拉森的很多设计灵感均来自于家乡 - 位于达拉纳省风景如画的乡村Sundborn。[鲜花]
Photo: Jann Lipka/imagebank.sweden.se
3️⃣塞尔玛·拉格洛夫（Selma Lagerlöf），诺贝尔文学奖的首位女性获奖人。她不仅是一位伟大的作家，生前还积极为性别平等而发声。
位于瑞典中部韦姆兰省的Mårbacka庄园，是拉格洛夫的故居。这里的花园风光秀丽，构成博物馆故居的中心部分。花园看起来很有拉格洛夫时代的风格，里面种满了果树、草本植物、蔬菜和鲜花。[鲜花]
Photo: Jenny Nohrén
4️⃣维维卡·斯蒂恩（Viveca Sten）是瑞典最知名的现代悬疑小说家。她的代表作已在全球畅销发行上百万本。这部犯罪系列小说中描写的故事发生在Sandhamn - 斯德哥尔摩群岛之一的Sandön岛。从首都的市中心乘船一个小时即可到达，全年开放。Sandhamn亦是游艇爱好者喜爱的地方，瑞典皇家游艇俱乐部的所在地。夏季，这里游人如织，餐厅林立。[鲜花]
Photo: Anna Hållams
5️⃣克里斯蒂娜（Christina）于1703年出生于厄勒布鲁（Örebro），被人称为凯萨（Cajsa），她是一个才华横溢的年轻瑞典女孩，对烹饪充满热情。在她十几岁时，凯萨搬到斯德哥尔摩，开始做家庭厨师。1755年，她出版了一本长达800页的菜谱，获得了巨大的成功，这本菜谱成为瑞典最受欢迎也是最广泛流传的烹饪书之一，作者也因此被冠以“瑞典现代美食之母”的殊荣。你可以参观她在厄勒布鲁的故居，了解更多关于Cajsa Warg的生活和18世纪的瑞典美食。[鲜花]
Photo: Gunn-Viol Kattilakoski/Örebrokompaniet
6️⃣圣妇彼利日大（Birgitta Birgersdotter），救世主会创始人。她成功领导了很多宗教活动，同时作为妻子和八个孩子的母亲，激励了那个时代和后来的许多女性。在她当年所在的东约特兰省（Östergötland），在Söderköping和Vadstena之间有一条朝圣的徒步路线。[鲜花]
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7️⃣位于西瑞典的菲耶巴卡（Fjällbacka）曾被国际明星英格丽·褒曼（Ingrid Bergman）称为“人间天堂”，她在此度过了很多个夏天。
在这个梦幻迷人的海岛上出生并长大的卡米拉·拉克伯格（Camilla Läckberg），却在她的连续几部侦探小说中，把这里描述为犯罪现场的发生地。然而这并不影响菲耶巴卡继续成为游客趋之若鹜的度假胜地。那些迷人的鹅卵石街道、红色的船坞以及美味的海鲜，使其更具魅力。[鲜花]
Photo: Åsa Dahlgren/Westsweden.com
8️⃣瑞典王位继承人维多利亚公主，同时也是西约特兰省（Västergötland）公爵夫人。作为瑞典25个省之一，它的主要城市是瑞典第二大城市哥德堡。西约特兰省还坐拥众多湖泊、丰富的文化历史和宁静的自然。[鲜花]
Photo: Raphael Stecksén, Kungahuset.se
9️⃣阿斯特丽德·林格伦（Astrid Lindgren）是一位享誉世界的瑞典儿童文学作家，其作品在全球售出了约1.65亿册。她笔下塑造的最成功的儿童形象 - “世界上最强壮的女孩”长袜子皮皮，以及淘气包埃米尔，深入人心。后人在这位伟大的作家的家乡 - 斯莫兰省维默比，打造了一座“林格伦的世界”儿童乐园，故事书中的形象在这里被鲜活的呈现出来，100多名演员和现场表演为游客们带来无尽乐趣。[鲜花]
Photo: Tobias Röstlund / TT
对歌剧爱好者来说，比尔伊特·尼尔森（Birgit Nilsson）是个耳熟能详的名字。这位20世纪的天才女高音至今仍是瑞典最具国际知名度的歌剧演唱家。她被公认为瓦格纳作品的最佳歌唱家。
23岁之前，比尔伊特一直在位于瑞典西南部地区Svenstad的一个农场长大。如今，人们可以在她的故居改造成的博物馆内了解其更多生平和职业生涯的故事。[鲜花]
Photo: Gitte Lindström Hamark / Birgit Nilsson Museum
#瑞典多元文化#
全实木却又简单耐用的边几 Å &
“我们的桌子的灵感来自于雄伟的绿树成荫的形状以及树干变宽并与地面相交并展开其根部的过渡。木质底座的形状起初可能看起来简单明了，但实际上它是一种复杂的结构，专门设计用于提供持久的稳定性和耐用性”
#艺术#
#家居#
#设计# https://t.cn/A66AHTSI
“我们的桌子的灵感来自于雄伟的绿树成荫的形状以及树干变宽并与地面相交并展开其根部的过渡。木质底座的形状起初可能看起来简单明了，但实际上它是一种复杂的结构，专门设计用于提供持久的稳定性和耐用性”
#艺术#
#家居#
#设计# https://t.cn/A66AHTSI
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