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中国信通院 | MEMS传感器技术产业与我国发展路径研究(第一部分)
本文来自《信息通信技术与政策》杂志,是工业和信息化部主管、中国信息通信研究院主办的专业学术期刊,两位作者均为中国信息通信研究院信息化与工业化融合研究所研究员。

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原文中强调在商业化的MEMS设计工具层面我国处在真空环境情况,进而引起诸多MEMS工程设计公司的产品产品研发周期时间太长,且以效仿海外完善产品为主导。国内MEMS封裝产业链在全世界范畴内位于比较先进的影响力,但高档检测设备仍被海外行业龙头垄断性。MEMS封裝成本费在传感器生产制造阶段中占成本的比例做到40%之上……

0 前言

微机电系统(Microelectro Mechanical System,MEMS)传感器是从微机械加工制造技术性生产的新式传感器,对比于传统式传感器元器件,MEMS传感器凭着品质轻,体型小,敏感度高,稳定性强,便于融合等优质特点,变成 促进传感器持续向小型化,智能化系统发展趋势的首要驱动力,与此同时MEMS技术性做为微电子技术生产技术的一个主要支系,也是超过克分子时期的主要发展前景之一。

1 MEMS传感器产业发展规划整体状况

当今,全世界传感器产业链正处在蓬勃发展的阶段,技术性更新迭代持续加速,产业链市场竞争日益猛烈。2018年,全世界传感器市场容量做到2059 亿美金,年平均增长率超出12%,在其中MEMS传感器占有率由2015年的8%快速上涨至25%,变成仅次图象传感器(CIS)的第二大传感器类别。

全世界MEMS传感器销售市场当前仍由欧美国家日等西方国家和地域核心,在其中美国,法国及其日本三国销售市场占有率做到50%之上,而在高档MEMS传感器领域,美国和法国的优点则更加显著。

美国博通在频射MEMS传感器领域处在一定领先水平,特别是在在MEMS过滤器领域,市场占有率达到87%。伴随着移动智能终端产业链的爆发式增长,博通的竞争优势将获得进一步推进。

BOSCH在健身运动类MEMS传感器层面一枝独秀,其产品在车辆及其智能机等领域已变成不可缺少的核心部件。在我国在声学材料MEMS传感器等领域具备一定竞争能力,但总体看来尚不具有核心工作能力。

伴随着MEMS生产技术的逐步完善,新式MEMS传感器产品五花八门,产品销售量也出现大幅度上升的发展趋势。

现阶段,MEMS公司已经根据持续的基本技术革新完成进一步的提升,产品商业化的周期时间和成本费减少周期时间得到大幅度减少,20世际60时代,传统式的工作压力传感器商业化的时间长达15年,而成本费减少時间一样必须 15年,而当今MEMS传感器的均值商业化的時间仅为6年,成本费减少時间也进一步减少至5年之内,因而迅速更替的产品促使MEMS传感器早已在诸多领域取得成功得到商业化的,并发生了很大的市場机遇。

2 MEMS传感器运用现况

MEMS传感器类型极多,可使用于物理学,有机化学,微生物等领域数据信号的检测,比较常用的类型有瞬时速度传感器,惯性力传感器,工作压力传感器,MEMS陀螺仪及其MEMS话筒等。现阶段,MEMS传感器在消费电子产品,诊疗,汽车电子产品及其工业生产等运用领域占有率最大,各自占有41.8%,28.1%,16.7%和9.1%。

在消费电子产品领域,出自于对容积,功能损耗及其费用等要素的考虑到,以手机上,平板电脑,可配戴,AR/VR机器设备等为意味着的ICT智能终端80%之上的传感器是根据MEMS加工工艺生产的,关键分成速度感测组成传感器,自然环境传感组成传感器,电子光学传感组成传感器等。

在其中,速度感测组成传感器关键包含加快计,陀螺仪和惯性力精确测量模块;自然环境传感组成传感器关键包含MEMS话筒,工作压力传感器等;电子光学传感组成传感器关键包含光线传感器,贴近传感器,RGB色调传感器,激光测距传感器,电子光学微生物传感器等。

在诊疗领域,微生物MEMS传感器早已变成医药学检测中不能缺失的核心部件,关键分成微生物菌种传感器,酶传感器,体细胞传感器,机构传感器,蛋白传感器,免疫力传感器6类。

除此之外,MEMS传感器还使用于脑电精确测量,心电图检查检测,CT显像及其机器设备精准定位等别的非生物因素领域,将来伴随着元器件特性的持续提高及其进一步小型化,MEMS技术性还将在外骨骼,心血管支架,眼底黄斑嵌入等新起领域获得进一步运用。

在汽车电子产品领域,MEMS传感器总体展现持续增长的发展趋势,近5年汽车交易市场MEMS传感器复合型增长率超出7%,预估到2022年,市场容量将做到32 亿美金,销售量将超出20 亿颗。

汽车电子产品领域常见的传感器关键包含加快传感器,工作压力传感器,陀螺仪,总流量传感器,溫度传感器,液位仪传感器,部位传感器,汽体浓度值传感器等,关键运用于电子器件稳定性程序流程自动控制系统,汽车安全气囊,胎压监测装置,进排汽管肯定压力检测等领域。

在工业电子领域,MEMS传感器高可靠性,高精密的特点可达到工业控制系统领域几近“零误差”的规定,与此同时针对極限溫度,环境湿度和ph酸碱度等办公环境规定,MEMS传感器可根据封装类型,加工工艺等技术应用的变动开展达到。如使用在地质勘查等领域的ADI工业级陀螺仪,其使用寿命可以达到1000 h,耐冲击性达10 000 G,应用温度范围达-40℃~175℃ 。

3 优秀MEMS传感器技术性发展趋势最新消息

当今,MEMS传感器早已使用于每个领域当中,在其中技术性迭代更新更快,运用经营规模最高的就是健身运动传感器和工作压力传感器。

MEMS健身运动传感器是现阶段使用极其普遍的MEMS传感器,包括了陀螺仪,加速度传感器和惯性力精确测量模块等,现阶段早已在智能机,可佩戴智能产品及其平板等领域完成了大量运用。

当今,MEMS健身运动传感器已经朝着多用途集成化和高精密开展演变,为处理移动智能终端产品中的差异要求衍化出各种各样优秀的解决方法。

为完成多传感器中间的数据预处理,飞思卡尔等企业在其传感器产品中内嵌了微控制器及其储存器等控制模块,解决了结合外界感测器信息的难题。

博世公司运用系统封装(SiP)等技术性,将三轴12位加速度传感器,三轴地磁场传感器,三轴16位陀螺仪及其微处理器开展融合,进一步对增强现实技术,定位导航,本人运动健身及其其它对自然环境观念规定较高的情景的适用性开展了提升。

为完成无GPS数据信号状况下的精准惯性导航,现阶段现已有集成化了加速度传感器,陀螺仪,地磁场传感器及其插口专用型处理器的本人惯性导航系统软件被报导,该体系在功耗低CMOS集成电路芯片的协助下,与系统软件校正技术性完全融合,完成了在无GPS数据信号状况下,3 km徒步相距内偏差低于6 m的优势性能。

MEMS工作压力传感器一样是应用最普遍的MEMS传感器产品之一,一般运用于智能机,航天航空,车辆,生物技术及其加工工艺操纵等领域,依照工作压力检测方法能够分成压阻式,电容传感器,串联谐振感测器等,而最常见的是压阻式和电容传感器,因而这二种工作压力传感器的技术性迭代更新也较为活跃性。

为充足减少微压MEMS传感器中测定的敏感和线性中间的分歧,持续提升微压传感器测量精度,一种新式的FBBM构造应时而生,该构造包括了4个短梁和一个坐落于核心的正方形凸块,根据降低感测器膜结构工程偏移水平做到进一步减少工作压力的离散系统,并提升了压阻敏感度,做到了提高微压MEMS传感器精密度的总体目标。

为达到航天航空行业中在极端条件中的微波感应器无线网络压力传感要求,一种根据蓝色宝石的隔阂和建筑结构MEMS压力传感构造被明确提出,在施压时,传感器膈膜产生偏移,传感器的电串联谐振因此随工作压力膈膜的偏移而更改,完成了将轻度压力转换为信号的目地,该构造可在1000℃的高溫下正常的工作中,达到了极端条件下压力传感的要求。

4 在我国MEMS传感器高新产业现况

近些年,中国MEMS全产业链已产生从网站前端开发,制造到后面封装,检测的完善全产业链条[4],瑞声科技,歌尔股份,耐威科技,中芯,长电科技等各全产业链行业龙头发展趋势快速。

此外,近些年中国MEMS销售市场增长速度一直高过全世界销售市场提高水准,这一方面归功于中国MEMS销售市场发展趋势开始相比比较晚,销售市场数量较小,因而销售市场增长率较快;另一方面,近些年中国消费电子产品产品及其汽车电子产品产品始终保持较快增长势头,加上全世界电子器件整个机械产业链不断向中国迁移,促使MEMS要求持续释放出来,中国MEMS销售市场因而展现较好快速发展趋势,占全世界的市场占有率也不断地提升。

殊不知因为发展比较晚,在我国公司仍存有生产能力不够,关键技术缺乏等薄弱点。总而言之,当今中国仍需在关键技术科技攻关,全产业链配套设施水准提高等领域做工作中,从源头上提高当地MEMS传感器产业链的竞争优势。

4.1 设计方案

MEMS传感器设计方案是一项集基础知识,应用技术及其例如通讯,有机化学,微生物等学科交叉有关新技术的繁杂工作中,包含覆盖面广,综合型强,因而相较于传统式传感器,MEMS传感器产品线开发设计难度系数大,时间长,且成本费一直持续上升。

整体而言,在我国在MEMS传感器设计方案水平及其基础研究等领域与海外领先水准仍存有一定差别。

在制定实力层面,在我国MEMS产业链通过20很多年的发展趋势,现阶段早已不断涌现歌尔股份,瑞声科技,敏芯高新科技等行业龙头,在其中歌尔股份的MEMS话筒产品早已进到iPhone,三星等国际性一流生产商的供应链管理,销售量位列全世界第二,且于2018年营业收入经营规模做到50 亿美金。

但与霍尼韦尔,BOSCH等全球领头生产商对比,在我国公司仍存有产品线单一,总体经营规模偏小等难题,现阶段中国除歌尔股份和瑞声科技等极少数行业龙头外,别的公司年营业收入仍难以实现1 亿美金。

在基础研究层面,现阶段中国在商业化的MEMS设计工具层面处在真空环境情况,一般选用Coventorware,IntelliSuite和Ansys等海外专用工具开展MEMS模拟仿真,而且欠缺高质量的MEMS和ASIC设计服务(如IP库等),进而引起诸多MEMS工程设计公司的产品产品研发周期时间太长,且以效仿海外完善产品为主导,欠缺助推行业市场的自主创新产品,不能满足日新月异的市场的需求。

4.2 制造

MEMS制造工艺是集成电路芯片IC制造工艺的一支,但与传统式IC制造工艺对比具有显著差别。

传统式IC制造的目标是在企业范围上集成化尽量多的晶体三极管,如intel全新i7CPU可集成化数十亿只晶体三极管,与之对比,MEMS传感器件集成化元器件数目少,单独元器件容积比较大,因而MEMS制造工艺并不是一味追求完美更小的制造连接点与更多的处理速度,只是更为重视原料的构造机械设备特点,材料有机化学特点及其离子注入深度1,精密度,地应力操纵等每一步工艺的精确完成。

除此之外,因为MEMS元器件中存有例如固支梁等独特构造,因而相较于传统式的IC制造工艺,MEMS工艺存有大量完成困难很大的独特技术性,如形槽离子注入,放弃层释放出来技术性,LIGA工艺,引线键合技术性等。

中国流行的MEMS代工生产生产线现阶段以6 英尺和8 英尺集成ic为主导,伴随着近些年罕王高新科技,耐威科技等优秀生产线依次落地式,在我国的MEMS生产能力获得了一定程度上的提高,且生产量也从2015年的不够20%提高到现今的80%之上。

但现在我国内线仅能制取以工作压力传感器,MEMS话筒,加速度传感器等为核心的中低端产品,制造工艺水准与世界领跑代工企业的差异显著,例如压电材料(AlN,PZT等)等高档制造工艺线并未创建,没法生产制造塑料薄膜体声波频率过滤器,压阻式喷墨打印机打印机喷头和超音波传感器等产品。

虽然中国MEMS代工企业也有着体微生产加工技术性,表层微生产工艺和CMOS MEMS技术性,但因为产品销售量都相对比较小,因而在批量生产合格率,稳定性和可靠性等领域存在的问题。

【纪要】嘉元科技(688388)交流纪要20210929
Q1:今明两年的主要产能建设项目和山东收购项目的进度如何安排?未来远期的规划?

总部这里的产能是2.1万吨,今年到现在生产加班加点,实际的产量能达到2.6万吨水平。第二个基地是白渡基地,分两期建设。一期的规划产能是1.5万吨,二期是1.6万吨。一期的建设分为三座厂房,1号-3号,1号厂房目前正在进行设备安装,2号厂房已经封顶,三号厂房正在进行地基工作。1号厂房会在12月中旬左右逐步投产,到春节前会把所有的20台设备安装完毕投入生产。春节之后,2月中旬开始安装2号厂商的设备,到3月份2号厂房安装完成,3号厂房4月份投产,4月底之前一期的1.5万吨要达产。5月份开始进行二期1.6万吨设备的安装,目前二期地基基础已经起来了,因为厂房在结构上进行了改进,一期是使用混凝土屋顶,进度比较慢,二期全部使用钢结构屋顶,会把整个的建设周期从14个月左右缩短至8个月。到8月份完成设备安装全面达产。这3.1万吨产能实际产量能达到3.8万吨。所有的4u和6u都能够生产。

第二个基地是山东基地,7月份进行洽谈,8月份就收购过来了,山东基地环评和能评是按照3万吨规划的,目前占地68亩,总资产1.6亿多,我们收购时候是有2.03亿,溢价不多,现在有16台设备,一个月是400吨,一年是5000吨产能。还有16台设备已经定了,在春节前就要安装进去,如果按照这个速度,到春节前能达到年产1万吨。同时旁边还有一块地,可以建1万吨,春节前要把基础建起来,到明年下半年8-9月份,能达到2万吨产能。山东当时接过来的时候主要是中低端的,面对的客户也是小客户为主,经营情况比较辛苦,接过来之后,会进行技术改造,派了两帮人过去提升技术和品质,未来来拓展大客户。

第三是宁德基地,紧靠宁德时代,第一期建设是1.5万吨,第一期的基础已经起来了,因为宁德那一块地靠海,属于滩涂地,下面是淤泥,所以起地基花费了很长时间,如果地基起来之后会是比较快的,设备都是定好的,到明年下半年可以进行安装并达产。这个过程中会启动二期,旁边还有两块地,一个是140亩,一个是200亩,未来在宁德那边一共会有4-5万吨的产能。

江西赣州基地上周刚刚开工,计划是4万吨,目前第一期是2万吨,一共是240多亩。江西基地除了可以生产锂电铜箔,还可以生产高端电子电路铜箔。我们现在是有两大类的产品,一类是锂电铜箔,占比90%以上,另外是高端电子电路铜箔,附加值非常高。电子电路铜箔生产需要环境合适。市场非常大,每年全国对电子电路铜箔的需求量是37万吨左右,其中高端电子电路铜箔主要靠日本和韩国进口,大概有6-7万吨。国产的主要是中端偏低端。公司现在正在广东省审批一个5万吨的电子电路铜箔的项目,如果通过梅州这边的电子电路铜箔产能也要增加。这个项目省里已经签了。

公司预计到2025年全国的锂电铜箔产能能达到70-80万吨的水平,嘉元科技的几个项目加起来能够拥有25-30%的市占率。

外国客户现在公司也都在接触,一起海外客户的需求公司的产能没有办法满足,现在逐步扩产出来之后,也在积极地和海外客户接触来消纳扩充的产能。

下一步还要搞一次定增,如果能够搞到40-50亿,因为对资金的总需求量未来五年会在150-180亿,我们企业自身的效益平均每年有7-8亿,银行贷款有一小部分。

Q2:对于山东项目要做哪些技术升级?

首先是一些工艺的提升,之前生产产品的性能表现达不到我们的要求,有些工艺是不符合做高端产品的,制造过程的参数都要按照我们的要求。现在已经建了一个厂房,里面有一半的厂商是有16台设备在生产的,还有一半的厂房是富裕的,我们这边分两步走,富裕的厂房新建的设备会直接根据我们总部这边的要求去建设,对于正在生产的5000吨产能的设备进行改造,导入我们的生产工艺和管理体系。山东那边新投入的产能的资本开支水平和总部这边是差不多的,固定资产大概是1.7个亿左右,因为厂房本身是建好的,员工宿舍,食堂等基础设施也是现成的,所以会省一些,主要的投入就是设备和投产之后的现金流。旁边再建的一万吨产能要7-8个亿。

Q3:山东那边会导入国产的阴极辊,设备投资上是否会减少?

会少一些,国产设备大概便宜30%。目前对于国产设备的评价是越来越好了,我们工艺上也会针对国产阴极辊做适当调整。用国产设备做6um铜箔,之前良率会差3-5%,现在基本差不多了,主要是阴极辊国产的波动会比较大,但是我们如果用到效果不太好的可以跟供应商去更换。国产的阴极辊都是没有焊缝的,日本的是有焊缝的,所以这方面还是更好的。总体国产的稳定程度一致性上还是达不到进口的,我们买的时候会多买几个,如果遇到不好的会换。

以前日本的阴极辊比国内的还便宜,最便宜的时候有买到120万一个,现在已经到250-260万了。

Q4:设备是自己定制的吗?

铜箔的设备通用的是比较多的,但是一些关键的还是我们自己定制的。

Q5:我们的能耗问题?

地方政府非常喜欢我们这种企业,我们属于高能耗,但是产的东西比较值钱,一吨耗电是8000度电,价格到10万多,折算下来是非常好的,限电对我们影响不大。

Q6:国内阴极辊的产量有多少?

主要有两家,一家是300根,两家一共一年能有600根的产量,对应大概20万吨的铜箔产能。阴极辊以前是120万一个,现在涨到了260万一个。

Q7:国内设备厂如果能够达到标准,国内的铜箔产能会不会上量非常快?

理论上是的,但是铜箔一方面是重资产,一方面是重技术,技术不是买过来设备就行的,很多工艺上的问题。

Q8:电子电路铜箔目前的价格?

现在这一块每个月是200吨产能,标薄产品,价格上和锂电铜箔差不多。

Q9:公告数据估算价格比同行低?

诺德的公告价格是包含了覆铜板的价格,所以显得更高,市场价格是很透明的。

Q10:加工费过去一年的变化节奏?未来的变化趋势?

加工费去年20年上半年受到疫情影响比较大,停滞不涨。下半年健康起来,今年和未来2-3年的趋势是往上涨的。铜的价格从4万多涨到7万多,加工费也涨。但是涨价也要理性,不能天天涨价,赚的是快钱,实业赚快钱多了必死无疑。需要有一个合理稳定的价格保证整个产业链的持续发展。价格逐步往上走依靠创新和产品结构的改变。明后两年的供需还是会偏紧张的状态,价格预计还是会上升的趋势。

Q11:不同客户的价格差异?

.........

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