掌握EUV光刻核心技术 日本憋出个大招:上马2nm[思考]

据报道,日本将与美国合作,最早在 2025 财年启动国内 2 纳米半导体制造基地,加入下一代芯片技术商业化的竞赛。

东京和华盛顿将根据双边芯片技术伙伴关系提供支持。两国私营企业将进行设计和量产研究。

台积电在开发 2 纳米芯片的量产技术方面处于领先地位。日本通过实现下一代芯片的国内生产来寻求稳定的半导体供应。 

日本和美国企业可以联合成立一家新公司,或者日本公司可以建立一个新的制造中心。日本经济产业省将部分补贴研发成本和资本支出。

联合研究最早将于今年夏天开始,2025财年至2027财年将形成一个研究和量产中心。

全球最大的代工芯片制造商台积电正在日本熊本县建设芯片工厂,但该工厂将只生产从 10nm 到 20nm 范围的不太先进的半导体。

较小的半导体可以实现设备的小型化和改进的性能。2纳米芯片将用于量子计算机、数据中心和尖端智能手机等产品。这些芯片还降低了功耗,减少了碳足迹。

5月初,日美签署了半导体合作基本原则。双方将在即将举行的“二加二”内阁经济官员会议上讨论合作框架的细节。

在 2 纳米研发方面实力雄厚的 IBM 去年开发了原型。同为美国公司的英特尔公司也在进行 2 纳米工艺的研发。

在日本,由国立先进工业科学技术研究所运营的筑波市研究实验室正在开展一项合作,以开发先进半导体生产线的制造技术,包括 2 纳米工艺的生产技术。东京电子和佳能等芯片制造设备制造商与 IBM、英特尔和台积电一起参与了这个集体。

日本拥有信越化学和 Sumco 等强大的芯片材料制造商,而美国则拥有芯片制造设备巨头应用材料公司。芯片制造商和主要供应商之间的这种合作旨在使 2 纳米芯片的量产技术触手可及。

台积电处于下一代芯片量产的前沿。该公司预计今年将在 2 纳米制造设施上破土动工,并有望在今年晚些时候开始大规模制造 3 纳米芯片。 

日本的2nm雄心

在去年五月,就有报道日本政府正在寻求吸引国外优秀的芯片制造商能赴日本建立圆晶工厂,以促进日本在半导体行业的发展。台积电后来也做了决定,虽然是28nm工艺,但也是个好的开始。

媒体在今年一月的报道也指出,台积电将与日本经济产业省成立合资公司,在东京设立先进封测厂。

而根据报导,台积电是要在日本茨城县筑波市新设技术研发中心, 研发中心包括晶圆制程及3D封装。

从过往的报道看来,日本的这个决定也是有其背后的考量的。因为晶体管微缩受限,过去多年在业界就存在一个观点,那就是借用先进封装可以继续推进芯片性能的提升。

而台积电在去年九月更是推出了其3D Fabric平台,将SoIC、CoWoS、InFO等技术家族囊入其中,能串联高频宽存储、异构整合和3D堆叠,以提升系统能耗,并缩小面积。

台积电研发副总余振华也以TSMC的SoIC技术为例,讲述他们这个平台的优势

。他指出,这个技术可将低温多层存储堆叠在逻辑芯片上,帮助延伸摩尔定律。而公司现在已成功将4层、8层与12层低温多层记忆体堆叠在逻辑芯片上,其中12层总厚度更是低于600微米,这让公司在未来可以实现堆叠更多层的可能。

虽然日本已经紧抱台积电,为未来发展先进芯片制造做好了一部分准备。但从日前的新闻看来,日本的野心并不止于此。

最新报道指出,日本经济产业省最快在本周内,会召开与日本半导体产业有关的检讨会,除了会探索瑞萨电子工厂火灾对汽车生产的影响,以及汽车业供应链不稳定的隐忧外,日本政府还计划府着眼朝着数字化发展的当前经济,让半导体供应链体质更加强韧,并从经济安全保障等观点,重新拟定中长期的政策。

日经进一步指出,日本政府将提供资金支持、协助日本企业研发2nm以后的次世代半导体制造技术。为实现这个目标,他们除了继续保持和台积电、Intel等半导体大厂进行大范围的意见交换来进行研发外,他们还将与佳能、东电、SCREEN等本土设备巨头携手,重振日本在先进研发方面的实力。

据报道,这支该获得经产省资金援助的研发团队目标在2020年代中期确立2nm以后的次世代半导体的制造技术,并设立测试产线,研发细微电路的加工、洗净等制造技术。

厚积薄发的底气

正如文章开头所说,虽然日本没有先进的晶圆厂,但他们在先进工艺的上游有很重要的布局。以现在炙手可热的EUV光刻为例,虽然大家都知道全球目前荷兰公司ASML能提供领先的EUV光刻机。

但在半导体行业观察之前的报道中,我们可以看到日本公司在这个领域多个环节的实力。

首先来看缺陷检测设备,如果作为原始电路板的光掩模中存在缺陷,则半导体的缺陷率将相应增加。最近几年需求增长尤其旺盛的是EUV光罩(半导体线路的光掩模版、掩膜版)检验设备,在这个领域,日本的Lasertec Corp.是全球唯一的测试机制造商,Lasertec公司持有全球市场100%的份额。

日本另一个占据100%市场份额的是东京电子的EUV涂覆显影设备,该设备用于将特殊的化学液体涂在硅片上作为半导体材料进行显影。

1993年东电开始销售FPD生产设备涂布机/显影机,2000年交付了1000台涂布机/显影机“ CLEAN TRACK ACT 8”。在EUV光刻胶方面,日本的市场份额更是遥遥领先。

据南大光电在今年三月发布的相关报告中披露,如下图所示,全球仅有日本厂商研发出了EUV光刻胶,由此可以看到他们在这方面的实力。而欲了解更多日本在EUV方面的实力,可以参考半导体行业观察之前的文章《不容忽视的日本EUV实力》。

国际主要厂商在半导体光刻胶产品的产业化进度(source:南大光电)在先进工艺研发方面,还有一个重要环节,那就是本节开头谈到的EUV光刻机,这也是日本在先进工艺研发上将佳能纳入其中的原因。虽然这家曾经的光刻机巨头在这个领域已经被ASML抛离,但他们在光刻方面的积累,能某种程度上给日本的先进制造提供指引。

除了上述谈到的一些技术和企业外,如上图所示,日经在昨天的报道中,也披露了日本在半导体制造的多个环节参与其中。

由此可见,对于日本来说,要想在芯片制造上搞出一些浪花,是有其深厚的底气。与此同时,日本富岳“超算”上的富士通的48核Arm芯片A64FX的超强性能表现加上索喜5nm芯片的新闻表示,日本在先进芯片上也有其实力所在。

在这些企业的配合下,相信日本复兴半导体先进芯片技术乃至建造先进工艺晶圆厂,都有潜在的可能。当然,是否真会这样做晶圆厂,又是另一个层面的讨论。

日重振半导体,政府顾问:须880亿美金

台积电赴日建厂并获得日本政府的补助,被视为日本提高自身芯片制造能力的关键,据外媒报导,日本政府半导体小组的高级顾问认为,日本做得还不够多,如果想重振半导体产业,明年就应该提供减税优惠,并订下未来十年鼓励企业投资多达10兆日圆(约880亿美元)。

东哲郎认为,日本的半导体产业已低迷数十年,如今有增加补助经费的动作,应是扭转颓势的开端,“没有政府的初期投资,私营企业不会愿意投资。”

东哲郎建议,在未来的10年内,日本政府及私营部门应投资半导体产业10兆日圆。目前,增加对半导体产业的补助,在日本政界内已形成共识,据报导,日本首相岸田文雄也曾称,将为国内半导体生产提供逾1.4兆日圆的投资。

报导提到,因为芯片短缺,各国都在扩大自身的芯片制造能力,并增加补助经费,美国已投入520亿美元(约新台币1.44兆元),并成功吸引到台积电与三星赴美设厂,而中国也有相关的动作。

报导提到,日本过去为人诟病的一点是,对半导体产业的投资不足,并使得市场份额被抢走,如今日本政府也重新重视半导体产业,并承诺将重振半导体产业列为国家项目,目标是到2030年将国内半导体公司的年收入提高约3倍至13兆日圆(约1100字美元)。

东哲郎认为,在下一步,日本政府应在常规预算中,为芯片制造编列额外资金,而非使用一次性的预算进行帮忙。他认为,人们需要看到对这个项目的长期承诺,否则不会把政府当一回事,“若没有政府的初期投资,私营企业不会愿意投资。”

至于日本政府对半导体产业的减税优惠,应涵盖哪些项目,据东哲郎认为,包括:对芯片制造业免征企业所得税的研发、削减用水及公用事业成本,这都是值得讨论的方向。#半导体#

【央媒看沈阳】经济日报:辽宁不断增强制造业核心竞争力——破解大而不优多而不精

近日,在位于沈阳市浑南区的沈阳芯源微电子设备股份有限公司新厂区高端晶圆处理设备产业化项目现场,公司副总裁顾永田正带领员工们如火如荼地开展机电设备的验证调试工作。“这一项目致力于打造东北地区顶级的半导体专用设备研发与生产基地。投入使用后,将有效解决生产空间及生产能力不足等问题,预计该项目一期工程达产后产值可达到10亿元,纳税7500万元。”顾永田说。
在工业大省辽宁,制造业是“当家优势”。如今,辽宁正不断增强制造业核心竞争力,加快发展先进制造业集群,正由“制造”逐步迈向“智造”。同时,辽宁也针对自己存在的短板——大而不优、多而不精,奋力破解对症下药的良方。
增强核心竞争力
芯源微是半导体光刻设备的领先企业。2019年芯源微在上交所科创板上市,成为“辽宁省科创板第一股”,是辽沈地区IC装备的先锋企业。受益于国内半导体产业的蓬勃发展,芯源微的订单量剧增,2021年芯源微实现产值11.84亿元,营业总收入8.29亿元,同比增长152%。
“增强制造业的核心竞争力,企业必须加大研发投入,注重人才梯队培养,持续创新提高发展质量。”沈阳芯源微电子设备股份有限公司董事长宗润福表示,公司加大研发投入力度,保证创新机制运行;强化人才培养制度,加强研发团队建设;注重产学研合作,促进创新成果转化,助力制造业高质量发展。
前不久,在位于鞍山经济开发区的迈格钠磁动力股份有限公司机械加工车间内,工人们在赶制永磁调速器的主要零部件,装配车间在进行整机动平衡测试,一派热闹场景。
这是一家专注于稀土永磁材料高端应用和研发的创新型企业。“迈格钠的快速成长就在于看准了稀土永磁的高端应用,大胆开展科技创新,让稀土永磁材料焕发活力,瞄准世界科技前沿,不断突破关键核心技术,有效提升企业核心竞争力。”迈格钠磁动力股份有限公司董事长马忠威说。
制造业企业核心竞争力的提升,离不开生态建设的优化创新。辽宁省科技厅相关负责人表示,辽宁将统筹各类创新资源的事业平台、各项政策创新的制度载体,打通科技成果到产业化的关键通道。同时,出台《关于完善科技成果评价机制的实施意见》,加快落实科技体制改革三年攻坚方案,在体制机制上进行突破。
加快培育先进集群
日前,工业互联网·辽宁沈阳中德装备园成功入选第十批国家新型工业化产业示范基地名单,这是东北地区首个工业互联网领域示范基地。
位于沈阳市铁西区的中德(沈阳)高端装备制造产业园是全国第一个以中德高端装备制造为主题的战略性平台。成立6年来,园区经济总量呈现跨越式增长,实现翻番。2021年,园区完成规模以上工业总产值946.1亿元、增长9.2%,完成全口径税收122.3亿元、增长19.7%,完成固定资产投资141.9亿元、增长16.9%。
在中德园,华晨宝马、赛轮等15个高标准智能工厂建设正加快推进。“中德园要坚持产业高端,要坚持科技创新。”沈阳市铁西区区长、中德园管委会主任郭忠孝表示,以“数字辽宁、制造强省”建设为契机,做好结构调整三篇大文章,推动先进制造业向高质量迈进。
郭忠孝介绍,具体来看,一是以智赋能激活“老字号”优势。支持培育汽车、装备制造等行业龙头,形成数十个融合应用示范模式,重点推进华晨宝马、赛轮等15个高标准智能工厂建设。智能工厂、智能车间、智能生产线达52家,企业上云突破200家,打造“双千兆”示范产业园区。二是着力培育战略性新兴产业。抢滩布局新一代信息技术、新能源汽车、生物医药、新材料等战略性新兴产业。利用宝马新工厂建设契机,加快培育和发展新能源汽车产业,目前,引进本特勒产业园、德国宝适等近40家宝马配套商落户园区,形成了一个总投资80亿欧元的汽车产业集群。引进北方生物医药谷、博泰制药、伟嘉生物医药基地等,打造千亿元级的生物医药产业集群。三是着力构建高层次产业体系。截至目前,中德园工业项目亩均投资强度达到403万元/亩,税收强度达到46万元/亩,分别高于全市控制指标均值35%和85%,土地含金量进一步提升,确保了经济高质量发展。
近日,辽宁朝阳重型机器有限公司搬迁改造生产高端冶金装备及风电关键部件项目,已完成投资约22000万元,一期办公楼和钢构厂房主体已完工,正在进行办公楼和厂房装修及配套设施建设工作。
辽宁省朝阳市相关负责人表示,目前,朝阳市围绕结构调整“三篇大文章”,结合朝阳实际,优先发展特色装备制造产业集群,规划建设3条产业链。环保装备制造产业链,以一诺环境为龙头,重点推进一诺环境二期等一批新项目。智能装备制造产业链,以优尼斯智能制造为龙头,重点推进辽西5D智能制造谷共享工业服务平台项目。机械装备制造产业链,以朝重集团为龙头,重点推进朝重搬迁改造等项目。
对症下药破解发展瓶颈
辽宁在增强制造业核心竞争力、加快发展先进制造业集群等方面取得了一定成效,但要想实现从制造到智造,还存在不少瓶颈和困难。
总体上辽宁制造业发展传统产业多、新兴产业少;低端产业多、高端产业少;劳动密集型产业多、资本科技密集型产业少。制造业产业的新增长点还未形成,内生动力不强,科技创新成果转化不强。辽宁社科院副院长梁启东认为,从深层次上看,这些瓶颈和问题是由于资源性衰退、结构性衰退、工业产出较少、技术上创新不强、民营企业少即市场主体少等因素所致。
“要想破解这些瓶颈和难题,就要抓‘新’,即应对新一轮技术革命和数字经济的考验,发展新产业、新业态、新模式,数字经济产业化,产业经济数字化,打造数字经济强省;抓‘轻’,轻工业也是制造业,用消费的思路去发展轻工业,增品种、提品质、创品牌;抓‘小’,不能只发展大企业,也要重视中小型高新技术创新型企业。”梁启东表示。
此外,梁启东还建议,要破除体制性的障碍,要培育更多市场主体,培育要素市场,培育好资本、科技、人才、劳动力、大数据市场。现在很多企业存在“技工荒”的瓶颈,培育更多懂高新技术的高端技术工人迫在眉睫。
辽宁省工信厅相关负责人表示,要提升企业技术创新能力,主要从优化科技创新生态、加快关键核心技术攻关、加快科技成果本地产业化等方面展开;推进企业技术改造,加快数字赋能增效,培育数据要素市场、推进智能制造发展、加强平台体系建设、优化产业发展生态,争取到2023年年底实现全省规模以上企业上云全覆盖;提高产业链供应链竞争力,主要从推动产业基础再造、增强产业链供应链稳定和自主可控、推动产业链间协同发展、提升头部企业本地配套能力等方面展开;培育壮大市场主体,主要从深化国资国企改革、培育壮大头部企业、梯度培育优质企业、强力推进招商引资等方面展开;推动企业创新管理,提升企业管理创新水平,加强中小企业人才培养。

超越电动 洞见未来
2022年BMW东南区新能源家族“碳”索之旅

(杭州)5月30日-31日,2022年BMW东南区新能源家族“碳”索之旅在杭州千岛绿洲之畔成功举办。BMW东南区作为践行BMW集团i品牌战略的重要区域市场,在此次活动中以青山为幕、绿洲为媒,与超过200位媒体、嘉宾一起,深入探索BMW i品牌的绿色愿景,畅享BMW新能源家族的非凡魅力。
此次BMW东南区新能源家族“碳”索之旅,集触及未来的i品牌出行品鉴、与风同行的千岛湖景观试驾、回归自然的生活方式体验于一身,打造沉浸式的绿色生活空间,解锁未来生活新范式。来宾在近距离感受创新BMW iX “超越电动”的未来豪华出行之余,进一步体会到BMW人、车、自然和谐共生的精神追求。

触及未来,品鉴豪华本味
在豪华会客厅初步了解过BMW i品牌及i车型亮点之后,来宾步入未来出行体验区。“车型装饰画展区”以光影为笔,勾勒出BMW内饰细节中流淌的豪华底蕴;“可持续皮质展区”删繁就简,还原内饰皮料最纯粹的细腻质感;“环保新风向展区”以时光为尺度,衡量豪华品牌的责任与担当。体验区的内在设计点明了返璞归真、忠于舒适的美学主张,让未来豪华触手可及。
同样,创新BMW iX以进取而简约的设计语言诠释了BMW新能源家族对未来豪华的全新理解。外观简约而不简单,寥寥几笔勾勒出进取的精气神。原石切割设计的外观线条凝练大气,首次应用于BMW中大型豪华SAV上的无边框车门与车身无缝衔接、浑然天成,前方的直列BMW双肾格栅与后方的水滴形车尾相映成趣,尽享豪华气度。内在纯粹而周致,完美契合“以驾驶者为导向”的设计哲学。不管是数量减少约50%的车内物理按键,以人为本的“Shy Tech”隐形科技,还是Bowers & Wilkins 4D钻石环绕音响系统,均化繁为简,营造了一个愈发自如的驾乘空间。宝马有史以来最大的全景可调光天幕,则将流光溢彩收归一方,让触动人心的豪华尽在掌握。

与风同行,体验纯粹驾趣
轻灵的平湖与苍劲的远山可以融于一景,毫不妥协的驾驶乐趣也可以和自然流畅的电动融为一体。驾驶创新BMW iX在江水澄澈、远山含黛的绿洲之地畅快驰骋,自然造物与机械造物相看两不厌,近乎臻于天人合一的妙境。
在电动的加持之下,创新BMW iX的驾趣回归其忠于驾驶的初衷,更添了几分自然的纯粹。智能轻量化车身与空气动力学设计将风阻系数降低至0.25 Cd,加速更加顺畅平滑,转向更加稳健精准,完美演绎了媲美跑车的动态性能。与此同时,前双叉臂后五连杆悬挂、自适应双轴空气悬架、电子控制减震器、xDrive全轮驱动、后轴主动转向等硬核底盘配置的加入,进一步锐化了创新BMW iX的运动操控性能。不管是山路、高速还是景观绿道,均在创新BMW iX娴熟的操控之下显得云淡风轻。驾驶者只需要踩下电门,如诗如画的山水便和着疏朗清风涌入眼来。
此外,创新BMW iX还搭载了BMW首款800万像素前置摄像头和监测范围可达300米的前置雷达系统。xDrive 50车型还标配了全新的自动驾驶辅助系统Pro,以全面周到的驾驶辅助系统,减缓出行压力,让每一程关于诗和远方的旅程只关风月、不问西东。

回归自然,亲近可持续未来
除了在绿洲之中驾驶创新BMW iX感受人与车的和谐共生,此次BMW东南区新能源家族“碳”索之旅还专门安排了亲近自然的环保手冲咖啡体验,寻求浑圆真意的丹道养生体验,为来宾打造了一场探索可持续发展内涵的心灵“绿洲”发现之旅。
自BMW i品牌创立之初,可持续的豪华、开创性的前瞻设计、洞见未来的出行理念就是宝马“未来出行”的母题。承载i品牌“绿色梦想”的创新BMW iX将可持续理念贯穿于整个价值链和产品的完整生命周期。从生产过程能源的100%可再生化,到采用可持续生产的FSC认证控制面板,再到大量采用再生材料的内饰选材,创新BMW iX致力于在减轻自然负担的同时,将自然的温柔触感带给驾乘者。
作为集BMW i品牌精神与创新成果之大成的电动旗舰,创新BMW iX将携手宝马新能源家族,以可持续发展为己任,定义未来豪华出行。今年,除了已经上市的创新BMW iX、创新BMW i4、BMW iX3、创新BMW i7、全新BMW i3等车型,BMW还将持续推出BMW 5系、BMW X1等系列的纯电车型。宝马集团量产及试生产纯电动车型将达15款,覆盖约90%的细分市场,进一步丰富宝马的电动化产品序列,为更多客户带来高端电动出行体验。
以BMW i品牌为可持续发展之先锋,宝马集团的可持续发展责任正在一一落实。BMW坚定支持《巴黎协定》提出的1.5度控温目标,并提出到2030年将平均单车全生命周期碳排放较2019年降低40%,减少碳排放2亿吨。未来,BMW希望将可持续发展理念传递给更多消费者,与客户共同践行社会责任,为自己和下一代创造一个可持续的美好生活。与此同时,对于宝马集团而言,中国消费者已经成为驱动全球出行行业发展的先锋。宝马集团将继续践行“家在中国”战略,秉承“中国优先”原则,沿着电动化、数字化和可持续的发展方向加速转型,与中国保持同频共进、协同发展,持续引领可持续豪华出行。
在激动人心的品牌战略之下,BMW东南区也将深耕“以客户为中心”的理念,与客户携手并进,积极应对疫情常态化与外部环境变化,走向豪华、可持续、智能化的出行未来。近期,BMW东南区还将全面展开“BMW移动服务”,以大篷车的形式将宝马4S店开到客户身边。客户只要一个电话,就能足不出户畅享高品质的维修与日常保养服务,零距离感受电动出行未来的便捷与美好。


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