美国造出0.7nm芯片，EUV光刻机做不到
失效 美国造出0.7nm芯片，EUV光刻机做不到
失效分析 赵工 半导体工程师 2022-09-26 09:39 发表于北京
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本周，美国公司Zyvex使用电子束光刻技术制造了768皮米，也就是0.7nm的芯片。

综合：半导体产业纵横编辑部

Zyvex推出的光刻系统名为ZyvexLitho1，基于STM扫描隧道显微镜，使用的是EBL电子束光刻方式，制造出了0.7nm线宽的芯片，这个精度是远高于EUV光刻系统的，相当于2个硅原子的宽度，是当前制造精度最高的光刻系统。

这个光刻机制造出来的芯片主要是用于量子计算机，可以制造出高精度的固态量子器件，以及纳米器件及材料，对量子计算机来说精度非常重要。

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ZyvexLitho1不仅是精度最高的电子束光刻机，而且还是可以商用的，Zyvex公司已经可以接受其他人的订单，机器可以在6个月内出货。

2015年费曼奖得主、硅量子计算公司的首席执行官、新南威尔士大学量子计算和通信技术中心主任Michelle Simmons教授表示，“建立一个可扩展的量子计算机有许多挑战。我们坚信，要实现量子计算的全部潜力，需要高精度的制造。我们对ZyvexLitho1感到兴奋，这是第一个提供原子级精密图案的商业化工具。”

STM光刻技术的发明者、2014年费曼奖得主、伊利诺伊大学教授Joe Lyding表示：“到目前为止，Zyvex实验室的技术是最先进的，也是这种原子级精确光刻技术的唯一商业化实现。”

Zyvex是致力于生产原子级精密制造工具的纳米技术公司。这个产品是在DARPA（国防高级研究计划局）、陆军研究办公室、能源部先进制造办公室和德克萨斯大学达拉斯分校的Reza Moheimani教授的支持下完成的，他最近被国际自动控制联合会授予工业成就奖，“以支持单原子规模的量子硅设备制造的控制发展”。

图片 氢去钝化光刻(HDL)：实现更高的分辨率和精度

氢去钝化光刻(HDL)是电子束光刻(EBL)的一种形式，它通过非常简单的仪器实现原子分辨率，并使用能量非常低的电子。它使用量子物理学有效地聚焦低能电子和振动加热方法，以产生高度非线性（多电子）的曝光机制。HDL使用附着在硅表面的单层H原子作为非常薄的抗蚀剂层，并使用电子刺激解吸在抗蚀剂中创建图案。

传统EBL使用大型昂贵的电子光学系统和非常高的能量(200Kev)来实现小 https://t.cn/A6SsWchm

【QuEChERS-气相色谱串联质谱法测定莲花白中氟环唑残留量】创建一种QuEChERS结合气相色谱串联质谱法测定莲花白中氟环唑残留量，样品采用QuEChERS前处理，DB-5MS色谱柱分离，动态多反映监测(DMRM)扫描，内标法定量，在线性10~200 ng/mL范围内，相关系数值R2为0.9993，添加水平在10、20、50 μg/kg时，回收率在89.2%~109.4%之间，相对标准偏差(RSD)在0.5%~2.4%之间。该方法操作快捷，回收率高，精密度好，适用于莲花白中氟环唑残留量的测定。#毕业论文# #论文投稿咨询# #学术论文# #期刊论文# #汉斯出版社# #毕业论文# #论文写作# #论文投稿咨询#

文章引用：高庆龄, 汪丽, 董榕贵, 范秀章. QuEChERS-气相色谱串联质谱法测定莲花白中氟环唑残留量[J]. 农业科学, 2022, 12(9): 834-838. https://t.cn/A6Sg58aZ

【玩家用《马造2》自制《超级马力欧5》】

推特网友Metroid Mike 64发推表示在《超级马力欧创作家2》中创建了自己的超级世界，并称其为《超级马力欧兄弟 5》。这项工程从2015年开始，并且作者试图创造一个像任天堂自己做的马力欧游戏。

据作者介绍，游戏由8个世界40个关卡，适合喜爱2D马力欧的玩家，Metroid Mike 64称自己只是在《马造2》中做一个经典马力欧游戏，并没有恶意的关卡。并介绍了游戏的关卡数、各元素、Boss战、玩法等。

马造2关卡ID：0G9-XN4-FNF