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【IWAPS】自对准嵌段共聚物研究的最新进展
来自复旦大学的Weihua Li作了题为《自对准嵌段共聚物研究的最新进展》的报告
自对准嵌段共聚物技术为制备有序微纳结构提供了一个强有力的平台,并且从5至200纳米技术节点均可适用。因此,其在多个领域都具有潜在应用价值。定向自组装(DSA)光刻是这其中最具潜力的技术之一。在过去的数十年间,DSA技术有了巨大的发展。但是,绝大多数有关DSA技术的研究局限于简单的AB型,或ABA三嵌段共聚物上。在近十年间,关于大块自组装(bulk self-assembly)嵌段共聚物的研究有了很大进步,但并没有在DSA技术领域得到重视。在本次演讲中,作者将介绍大块自组装(bulk self-assembly)嵌段共聚物的最新研究进展,并聚焦于相对简单的AB型嵌段共聚物体系(例如,AB/AB二元混合物)。将这项技术结合到DSA中,将会给这一领域带来新的机遇

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